エポキシ変性ポリイミド系接着剤の引きはがし強度に及ぼす窒化アルミニウム基板の表面形状の影響

抄録

樹脂・窒化アルミニウム (AlN) 複合パッケージでは, AlN基板と樹脂部品との接着が重要な要素技術である。本研究ではエポキシ変性ポリイミド系接着剤に対しAlN基板の表面形状が引きはがし強度に及ぼす影響について報告した。引きはがし強度は表面粗さが粗いほうが接着強度は向上したが, 表面加工方法により向上度は異なった。また, AlNが酸素と結びついて極性基との反応性が向上するような化学的状態に変化することで接着性が向上した。さらに, 基板表面の非極性炭化水素の割合が低下することも接着性の向上に寄与すると思われる。