マイクロ流体デバイスおよびシステムの実装技術

抄録

マイクロ流体デバイスはバイオ, 化学分析と合成等への応用が期待され, 関連する研究が現在盛んに行われている。
新しい材料の採用や, マイクロポンプ等各機能デバイスの性能向上が進み, システム化や商品化の段階に達している。実装技術は全体のシステム化にとって各デバイスの設計, 製造および計測技術と同等以上に重要であるが, 技術的な困難さの割に学術色が薄いためか, 報告例が少ない。本稿ではマイクロ流体システムにおける実装技術の重要性と技術的課題についてまとめ, 個別の要素技術やデバイス単体, モジュール, 試験用およびシステムレベルのいくつかの事例を紹介する。さらに, これらの実装研究開発が今後進むべき方向についても述べる。