抄録
はんだフリップチップ実装技術を応用し, 光スイッチ等に利用される静電駆動マイクロミラーの開発を行った。はんだバンプを介してマイクロミラーをフリップチップ実装することにより, 従来のミラーと比較して大きな静電駆動空間を持っシステムを実現できた。はんだバンプの利用によって静電電極間距離の設計自由度が向上すると同時に, はんだのセルフアライメント機能による簡便かっ高精度のアセンブリが期待できる。また, ミラーのエッチング製造およびリリース工程では電熱熔解式のミラー保持機構を採用してクリーンかっ低コストの工程を実現した。ミラー試作においては表面応答法による最適設計手法を適用してミラー構造の最適化を行い, 駆動電圧を約1/3に低減した。
