応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
真空技術のコツ
市村 正也
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ジャーナル 認証あり

2016 年 85 巻 1 号 p. 49-52

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抄録

真空技術とは気体を扱う技術であることを説明し,気体分子の運動について簡単に解説します.それから,代表的な真空ポンプ(油回転ポンプ,ターボ分子ポンプ,クライオポンプ)について,動作原理と使用上注意すべきことを述べます.

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© 2016 公益社団法人応用物理学会
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