名古屋工業大学
2016 年 85 巻 1 号 p. 49-52
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真空技術とは気体を扱う技術であることを説明し，気体分子の運動について簡単に解説します．それから，代表的な真空ポンプ（油回転ポンプ，ターボ分子ポンプ，クライオポンプ）について，動作原理と使用上注意すべきことを述べます．
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