縦穴構造研磨パッドの加工条件依存性

抄録

ウェーハなどの仕上げ研磨には、縁だれを小さくできるスエードタイプ研磨パッドが利用されている。スエードタイプ研磨パッドは縦穴構造を有するため異方性があり、縁だれが抑制されると考えられる。本研究では、規則正しいピラー構造の型にウレタン樹脂やエポキシ樹脂を転写することで作製した、縦穴構造研磨パッドを用いて研磨された工作物の縁だれを調査した。また、縦穴構造研磨パッドの研磨能率等の調査も行ったので報告する。