情報通信の多様化、コンピュータ処理技術の高度化などに応じて、より高い周波数のが要求されている。高周波の周波数安定度を向上させるためには、スプリアス振動を避けた設計が重要である。本研究では、有限要素法により、広い温度範囲でスプリアスを含めたの周波数応答を解析できる方法を開発し、主振動とスプリアス振動の状態を、振動子形状と温度をパラメータとして表現した。本稿では温度条件を考慮した上で、厚さ10μm、長さ1300μm～1400μmののモードチャートのシミュレーションを実施した結果について報告する。

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次世代高速ネットワークとして40Gbps/100 Gbpsイーサネットの標準化がほぼ完了し、本格的に動きだしている。それに伴い，基準クロックである電圧制御型水晶発振器(VCXO)に使われるの高周波化が求められている。オーバトーン振動子は基本波と比べてCI値増加による発振余裕度の低下、容量比が大きいなどの理由から基本波の高周波化が必要となる。
本研究では，安価なウェットエッチング技術を用いて600MHz帯の通信用の開発を目標とし，その基礎研究として基本周波数150MHzのの製作プロセスを構築した。また、振動子の形状とQの関係を評価し、最適な形状を決定した。

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最後に本振動子の主要な特徴をまとめると,
(1)超小型である.
(2)量産性に富んでおり,製造コストを低減できる.
(3)温度特性が良い.
(4)加工による水晶中のひずみが少ないため,周波数の経時変化が少なく高精度である.
(5)衝撃に対して安定である.
(6)原料が少なくてすむので省資源である.
のようになり,腕時計用振動子に求められる諸要件に十分こたえるものである.
さらに本振動子に関する技術は腕時計用に限らず,他のモードの振動子やフィルタなどへの応用が可能であり,大きな期待がもたれている.

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　野外に咲く20種類のバラの香りを，応答特性が異なる6つの型においセンサアレイにより測定した．花弁部分に捕集袋を被せることにより気体のまま捕集した香りを，純空気に対する応答パターンを基準とした変化量として測定した．濃度によらず芳香の種類で区別するための特徴量を定義し，この特徴量を主成分分析法とk－平均クラスタリング法で分析した結果，品種との関連からバラの香りを複数個に分類できる可能性を示した．また，バラの香りを大気と揮発物質の混合体（におい成分）として考えると，バラの香りの分類には，上の吸着膜の化学的な応答特性が反映されている可能性を示した．

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携帯電話に使用されている基準周波数発振器について説明する.,水晶発振器の概要,携帯電話に使われている水晶発振器の役割や周波数安定化のための温度補償方法,小型化,低電流化の開発経過と今後の方向について述べる.

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It is considered that a person grasps an object efficiently by utilizing a critical force such that the object does not slip in the hand, and that regulation of the ‘grasp force’ based on slip information is useful for grasp control. Various slip sensors have been proposed for grasp control. Because many of the slip sensors and force sensors used in robots have analogue outputs, they are prone to being affected by electrical noise. Therefore they often require amplifiers, low pass filters and A-D converters. On the other hand, a force sensor using quartz resonators is robust to electrical noise since the output in this case is a frequency shift. This type of force sensor also has quick response time, high sensitivity, high resolution and wide bandwidth. Information on the grasp force, grasp position and slip and its direction is important for grasp control. Detection of grasp force and grasp position was reported in my previous paper. In this paper, a method of detecting slip and its direction by quartz resonators is reported. A principle for detecting slip and its direction, the results of changes in frictional force under various contact forces and slip speeds, and slip direction derived from two components of a frictional force are shown. It is demonstrated that an individual slip and its direction can be detected using quartz resonators, and that quartz resonators are useful in constructing a robot sensor.

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ATカットには，主振動となる厚み滑り振動の他に，不要な振動モード(スプリアス)も同時に発生し，振動子の特性を著しく低下させることが知られている。従来のPlano(平行平板)形状では，スプリアスを回避することが難しく，Q値の低下によって高い周波数安定度が得られないことが問題となる。本研究では，高Q値の高周波の開発を目標としている。厚膜レジストの蒸気リフローとDRIEを用いて，水晶表面をConvex形状に加工する技術を開発した。更に，ウェットエッチングによって水晶ウェハを薄く加工することで，高周波数化も実現した。結果として，従来のPlanoの2.4倍のQ値が得られた。

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This paper describes an analysis of anisotropic torsional resonators with the Ritz method and its application to quartz crystal tuning fork-type resonators which are easily formed by a chemical etching process. In this paper, resonant frequency and frequency temperature behavior of the resonators are clarified using the frequency equation which is given as a function of torsional rigidity derived from the Ritz method, and miniaturized torsional resonators with a small series resistance R₁ and a high quality factor are obtained. A torsional rigidity is first derived theoretically; then, a series of analytical results are compared with the measured data, Both results show good agreement, and a miniaturized resonator is successfully obtained with a small series resistance R₁ and a high quality factor particularly in the vicinity of 500 kHz.

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本研究は乳癌を有効に検出し、早期発見のための匂いセンサの開発を目指している。匂いセンサの原理は、の共振周波数が水晶基板の上に作製した匂い吸着膜から、匂い分子を吸着するため、質量の増加によるの周波数変化から検出する。は、水晶MEMS技術を用いて製作する。本報告では、センサの特性を評価するため匂い物質としてアンモニアガスを、匂い吸着膜に二酸化チタンとポリアクリ酸から構成される膜を使用する。独自に開発した匂い評価装置で、チャンバ内の圧力とガス流量を設定して、アンモニアガスの濃度を変えて行った匂い感度実験結果について報告する。

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We calculated the resonant frequencies and the Vibration Mode of rectangular AT-cut Quartz Plates using C. LANCZOS Method. The calculated value agrees with the experimental value by NAKAZAWA. Further, we calculated the Displacement of Electroded 20MHz AT-cut Quartz Plates. We make it clear that the Three Dimensional FEM is accurate enough for practical usage in the range of high frequency.

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固形せっけんの主成分であるオレイン酸ナトリウム, 更には市販の固形せっけんが完全電極分離型水晶発振子の上に付着する. また, 液体洗剤の主成分であるドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム (DBS) 及び市販の液体洗剤は上には付着しないがコラーゲン膜上に付着し, 水を流しても溶離せず残っていることが, 水晶発振子の振動数変化より分かった. これは, 実生活において, せっけんを使用してすすぐときに, 水で簡単にすすいだだけではせっけん成分が食器や皮膚上に残留しているかもしれないことを示唆している. そこで, 及びコラーゲン上へのオレイン酸ナトリウム及びDBSの付着と溶離について詳細に検討した結果, オレイン酸ナトリウムとDBSは上には付着しないが, 温度が高いほど又は酸性媒質中では付着しやすくなり, アルカリ性溶液中では付着しないことが分かった.

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金属ナノ接点は、コンダクタンスの量子化をはじめ、バルクとは異なる性質を示す。本研究では、

を力センサーとした周波数変調原子間力顕微鏡を透過型電子顕微鏡の試料ホルダーに組み込んだ。端と対向電極の間に金ナノ接点を形成し、その構造と相互作用力を同時解析することで、両者の関係を明らかにする。

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プラノ-コンベックス型のは高いQ値を得られることから，古くから多くの研究がなされている。近年，のより一層の小型化が進み，精度良く凸レンズ状に研磨するが非常に困難となっている。そこで，水晶表面の凹凸パターンによりプラノ-コンベックス型の振動変位分布を再現できる擬似コンベックス形状を提案した。本論文では，擬似コンベックス形状を有するの製作プロセスを開発し、水晶表面の凸部の高さや間隔を変化させて共振特性を評価した。その結果，10万以上の高いQ値を実現した。しかし，シミュレーションと実験結果では形状変化とQ値の関係に異なる傾向が見られたため，その原因を検討した。

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ATカットは，高いQ値と温度特性の良さから幅広い応用がなされている。近年，電子機器の進歩に伴い，より高い性能が要求されている。の高性能化において，水晶をプラノ-コンベックス形状に成型する方法が効果的であるが，数ミリの水晶片を均一なコンベックス形状に研磨加工することは難しい。そこで，新たな方法として，水晶表面に幅が連続的に変化する高さ数ミクロンの突起を複数配置することで，等価的なコンベックスが再現できることを提案し，FEMシミュレーションにより実証した。また，突起物の形状を最適化することでQ値の改善ができることも確認した。現在，実物で評価するためにこのを試作している。

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The method for detecting odor samples using mono-channel QCM LB film sensor is described. The sensing film deposited on the QCM electrode was DOABr combined by PVSK as an under layer. The odor sensor was able to detect the usual frequency shift and more the viscosity of odor samples by measuring resistance shift of QCM. Single odor samples, such as benzene, hexane and chloroform can be detected by these parameters. Mixed odor samples could be also detected by adding the response time measurement.

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