エレクトロニクス実装学会誌
Online ISSN : 1884-121X
Print ISSN : 1343-9677
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講座「ちょっとMEMS」第14回
ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作（1）
熱インプリントとダマシン法を併用したパリレン薄膜への銅配線形成
尹 成圓, 高橋 正春
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2009 年 12 巻 3 号 p. 248-251

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© 2009 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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