ジアリルアミン系化合物を用いた銅穴埋めめっきの検討

抄録

本研究ではジアリルアミン系化合物を単独で添加した場合における穴埋め性可能性を検討した。側鎖を変化させて異なる塩基性を持たせた4種類のジアリルアミン系化合物をそれぞれ単独で添加した銅めっき液について，穴埋めめっき後の断面観察，電気化学測定，QCM測定を行なった。さらにジアリルアミン系化合物の電極吸着モデルを検討した。