SOI－パワーMOSFETにおける寄生バイポーラ効果と機械的応力効果の実験的評価

抄録

本研究では，SOI－パワーMOSFETにおける寄生バイポーラ効果と機械的応力効果を実験的に評価し，それらの相互作用を明らかにすることを目的とした。機械的負荷下での電気特性変動は，4点曲げ試験により評価した。ドレイン電圧-ドレイン電流特性では，ゲート電圧が小さいほど寄生バイポーラ効果によるドレイン電流の増加が顕著に見られた。ピエゾ効果のみによる電流特性変動領域と寄生バイポーラ効果が発現する領域との比較から，寄生バイポーラ効果が機械的負荷に起因する電気特性変動を加速させることが示唆された。また，電流方向に対する負荷方向依存性の存在が示唆されたが，ゲート長さ依存性は明確にならなかった。