応用物理学会学術講演会講演予稿集

第63回応用物理学会春季学術講演会

選択された号の論文の4012件中1651～1700を表示しています

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スキャン機構を用いたClF₃中性クラスター反応性エッチング

瀬木利夫, 吉野裕, 小池国彦, 青木学聡, 松尾二郎

セッションID: 20p-H137-14
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1651

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ガスクラスターイオンビームを用いた表面活性化接合の検討

佐々木智也, 豊田紀章, 山田公

セッションID: 20p-H137-15
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1652

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X線光電子分光法（HAXPESおよびGCIB-XPS）を用いたリチウムイオン二次電池正極における活物質表面および内部の分析

稲葉雅之, 三井所亜子, 早川敬済, 大園洋史, 坪田隆之

セッションID: 19a-P1-13
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1653

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超低高度宇宙環境における原子状酸素誘起材料劣化現象における窒素分子同時衝突効果の定量化

横田久美子, 北一貴, 山﨑勇希, 田川雅人

セッションID: 19a-P1-14
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1654

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超音速酸素分子線によるCu₃Pd(111)合金表面酸化過程

津田泰孝, 牧野隆正, 吉越章隆, 福山哲也, 岡田美智雄

セッションID: 19a-P1-15
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1655

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高出力レーザーを用いた非破壊固体粒子加速法の開発

守本郁, 弘中陽一郎, 重森啓介, 佐野孝好, 田川雅人, 北澤幸人, 阿藤敏行

セッションID: 19a-P1-16
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1656

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分子流入を考慮した大気吸入型イオンエンジンの中性粒子シミュレーション

安河内翼, 臼井英之, 三宅洋平, 川口伸一郎, 福田雅人, 横田久美子, 田川雅人

セッションID: 19a-P1-17
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1657

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PBII法を用いた芽胞菌の殺菌に与える包装の影響に関する基礎研究

狩野卓也, 下野和洋, 野口央照, 角川幸治, 林兼也, 齊藤海, 田中武

セッションID: 19p-P5-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1658

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マイクロ波プラズマ液体処理におけるエネルギー効率向上

滝藤奨, 伊藤美智子, 高島成剛, 野村記生, 北川富則, 豊田浩考

セッションID: 19p-P5-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1659

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DBD プラズマアクチュエータにおける電流パルス間隔の数値解析

佐藤慎太郎, 大西直文

セッションID: 19p-P5-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1660

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YAGレーザーを用いた1kW級半導体レーザー維持プラズマの着火過程

西本昂司, 松井信

セッションID: 19p-P5-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1661

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大気圧を超える高圧マイクロ波プラズマの生成と診断

井上健一, シュタウススヴェン, 金載浩, 寺嶋和夫

セッションID: 19p-P5-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1662

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マイクロ波を用いた大気圧ラインプラズマの生成(Ⅲ)

宮田弘志, 進藤春雄, 磯村雅夫, 桑畑周司

セッションID: 21a-W611-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1663

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大気圧非平衡放電プラズマによる界面活性剤水溶液の分解

湯地敏史, 岡村好美, 有井秀和, 木之下広幸, 青木慎二

セッションID: 21a-W611-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1664

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大気圧RF誘電体バリア放電におけるαとγ放電モードの比較解析

トンリチュ

セッションID: 21a-W611-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1665

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大気圧He/H₂O直流グロー放電における負イオン生成の影響

岡村航太, 白井直機, 内田諭, 杤久保文嘉

セッションID: 21a-W611-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1666

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大気圧Ne中のナノ秒パルス放電に対する数値解析―液体電極の導電率特性の調査―

元島一樹, 白井直機, 内田諭, 杤久保文嘉

セッションID: 21a-W611-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1667

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タンデム型ECRイオン源におけるXeプラズマ生成とその価数分布およびビーム制御

大塚拓郎, 長家知生, 西岡田卓也, 萩野尚吾, 佐藤文信, 加藤裕史

セッションID: 21a-W611-6
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1668

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電子サイクロトロン共鳴イオン源プラズマにおけるXモード4~6GHzマイクロ波導入実験

西岡田卓也, 大塚拓郎, 萩野尚吾, 長家知生, 佐藤文信, 加藤裕史

セッションID: 21a-W611-7
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1669

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タンデム型ECRイオン源における原子内包フラーレン気相合成基礎実験

長家知生, 西岡田卓也, 萩野尚吾, 大塚拓郎, 渡辺拓人, 内田貴司, 村松正幸, 佐藤文信, 北川敦志, 加藤裕史, ...

セッションID: 21a-W611-8
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1670

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タンデム型ECRイオン源における鉄蒸発源開発と鉄イオンビーム生成

萩野尚吾, 長家知生, 西岡田卓也, 大塚拓郎, 渡辺拓人, 村松正幸, 北川敦志, 佐藤文信, 加藤裕史

セッションID: 21a-W611-9
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1671

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円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマ生成ⅠⅠ

長谷川雄一, 小川大輔, 中村圭二, パークスーナム, 小林理, 菅井秀郎

セッションID: 21a-W611-10
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1672

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マイクロ波励起水中気泡内プラズマのパルス変調効果

北野卓也, 伊藤卓也, 鈴木宏明, 石島達夫, 田中康規, 上杉喜彦

セッションID: 21a-W611-11
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1673

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プラズマ生成反応活性種供給過程における水表面構造の振動和周波発生分光による診断

近藤崇博, 伊藤剛仁

セッションID: 20a-KD-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1674

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二波長分光画像から求めた定性的窒素分子回転温度分布の定量化

佐々本凌, 松本宇生, 折居英章, 生澤泰二, 西嶋喜代人

セッションID: 20a-KD-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1675

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電子密度測定用マイクロ波ミニプローブの開発

堀田将也, 小川大輔, 中村圭二, 菅井秀郎

セッションID: 20a-KD-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1676

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低コヒーレンス光干渉法を用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリングプロセスにおける高精度シリコン基板温度計測

服部克宏, 太田貴之, 小田昭紀, 上坂裕之

セッションID: 20a-KD-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1677

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アルゴン-塩素プラズマにおけるGaNダメージのガス比依存性

伴野良継, 小川大輔, 中野由崇, 中村圭二

セッションID: 20a-KD-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1678

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Effect of Electrode Material to Gerdien Condenser Current-Voltage Characteristics

Camille Corrales Lacdan, Motoi Wada

セッションID: 21p-P4-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1679

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質量分析法によるDLC成膜用Ar/CH₄プラズマの診断

深井駿, 小田昭紀, 上坂裕之, 太田貴之

セッションID: 21p-P4-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1680

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分光学的手法による大気圧ミストプラズマ診断

妻木正尚, 伊藤剛仁

セッションID: 21p-P4-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1681

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裏面照射型粉体PLDによる機能性薄膜の作製I

川崎仁晴, 大島多美子, 柳生義人, 猪原武士, 山内真紀子

セッションID: 19p-P6-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1682

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円筒型ターゲットを用いた高周波磁化プラズマスパッタによるAZO薄膜の低温合成

大津康徳, 住山貴史, 山口真依, 田原竜夫, 本村大成

セッションID: 19p-P6-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1683

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スロット内生成マイクロ波プラズマを用いた高速プラズマCVD

山本匡毅, 鈴木陽香, 豊田浩孝

セッションID: 19p-P6-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1684

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プルシアンブルー担持磁気ナノ微粒子の作製とその液中セシウムイオンの除去特性

高柳俊也, 永津雅章

セッションID: 19p-P6-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1685

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酸素混合プラズマを用いた熱電子発電用半導体エミッタの表面処理

渡邉孝俊, 羽田篤史, 井上健吾, 荻野明久

セッションID: 19p-P6-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1686

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大気圧プラズマジェットにより処理した熱電子発電器用Siエミッタの電子放出特性

村田健二朗, 荻野明久

セッションID: 19p-P6-6
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1687

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プラズマ支援原子層堆積法によるa-TiN_X薄膜の極低温合成（Ⅱ）

柳炳學, 関渓太, 佐藤哲也

セッションID: 19p-P6-7
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1688

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SiF₄凝縮層の低速電子線誘起反応と水素原子のトンネル反応を利用したa-SiN_xの極低温合成

坂巻直, 佐藤哲也, 中川清和

セッションID: 19p-P6-8
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1689

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ハイブリッド対向スパッタによるITO透明導電膜作製-可動棒磁石移動距離依存性-

諸橋信一, 辻田圭佑, 谷本司, 原田直幸, 村田卓也

セッションID: 22a-W611-1
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1690

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プラズマ支援反応性スパッタリングを用いたアモルファスIGZO薄膜トランジスタの低温形成

節原裕一, 中田慶太郎, 佐竹義且, 竹中弘祐, 内田儀一郎, 江部明憲

セッションID: 22a-W611-2
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1691

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VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討

巣山拓, 福井崇史, 瀬高健太, 笹井健典, 豊田浩孝

セッションID: 22a-W611-3
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1692

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イオンビームスパッタリングによるNaCl膜の形成

山野将史, 針谷達, 宮本優, 今井貴大, 須田善行, 滝川浩史, 神谷雅男, 瀧真, 長谷川裕史, 辻信広, 西内満 ...

セッションID: 22a-W611-4
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1693

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ラジカル支援有機金属化学気相成長法によるInN結晶成長

高井慎之介, 蘆翌, 岩本一希, 小田修, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 堀勝

セッションID: 22a-W611-5
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1694

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プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の吸収端近傍X線吸収微細構造における高周波電力依存性

杉浦啓嗣, 賈凌雲, 佐藤俊一, 近藤博基, 石川健治, 竹田圭吾, 関根誠, 堀勝

セッションID: 22a-W611-6
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1695

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リモート窒素プラズマの照射によるSiCの表面窒化における放電管材料の影響

嶋林正晴, 栗原一彰, 佐々木浩一

セッションID: 22a-W611-7
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1696

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大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去

高井智基, 山本雅史, 鹿間共一, 長岡史郎, 西山聖, 堀邊英夫

セッションID: 22a-W611-8
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1697

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水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性

山本雅史, 梅本宏信, 大平圭介, 鹿間共一, 西山聖, 堀邊英夫

セッションID: 22a-W611-9
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1698

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非平衡大気圧プラズマプロセスによる微細孔内の流速制御

伊藤巧, 石川健治, 小野島大介, 湯川博, 橋爪博司, 田中宏昌, 木原直人, 龍腰健太郎, 小高秀文, 竹田圭吾, ...

セッションID: 22a-W611-10
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1699

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ステンレスのクロムによる酸化層の生成におけるオゾンの影響

田口貢士, 松本将大, 安達穣, 登尾一幸

セッションID: 22a-W611-11
発行日: 2016/03/03
公開日: 2023/03/17

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1700

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