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後藤 敬典
セッションID: 2Bp05
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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標準電子分光器の開発と活用(データーベースなど)
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田中 信夫
セッションID: 2Bp06
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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筒井 慎吾, 二木 敬一
セッションID: 2Ca01
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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本村 大成
セッションID: 2Ca02
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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吉田 肇
セッションID: 2Ca03
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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清水 徹英, Villamayor Michelle, Keraudy Julien, Lundin Daniel, Helmersson ...
セッションID: 2Cp01
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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反応性スパッタリングにおける遷移領域制御を行うため、HiPIMSプロセスにおけるパルスのピーク電流値をオンタイムで制御を行い、化学量論比を有する安定した窒化物・酸化物膜の形成を行った。
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清水 博康
セッションID: 2Cp02
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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高出力インパルス・スパッタリング(HIPIMS)技術がここ数年スパッタリング膜の膜質改善、密着力向上などの特長で脚光を浴び始めて来ましたがその成膜速度の遅さから工業展開に足踏みがかかっていました。今回Zpulser社のMPP方式高出力パルス電源を使用して特に成膜レートの遅い酸化膜や窒化膜を工業応用する技術について紹介する
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黒岩 雅英, 岡野 忠之, 中谷 達行
セッションID: 2Cp03
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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医療用インプラントは体内に埋入され、長期間の使用に耐えうるため、生体適合性及び耐久性が要求される。その為には炭素膜であり髙硬度、髙密着性、高いトライボ特性を持ったDLCコーティングが最適とされている。本研究ではさらにDLCの特性を高め、医療用インプラントの最適化を図るために、低duty比で大電力を生成する高性能のパルス電源を用いたHiPIMS法により電力とイオン化率、プラズマ密度が如何に膜性能に影響を与えるかを実証する。
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成田 智基, 谷口 日向, 大家 渓, 中野 武雄, 長尾 昌善, 大崎 壽
セッションID: 2Cp04
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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スピント型エミッタは円錐型の微小電子放出源であり、Si上にSiO
2、Moを成膜し、リソグラフィによってキャビティを形成した基板上にエミッタ材料としたい金属を成膜することで作製できる。外部電源によってプラズマ電位を制御できる構成とした3極型大電力パルススパッタ装置を用いて成膜を行うことで鋭く尖ったエミッタを作製することができた。講演では外部電源電圧、成膜圧力に対するエミッタ形状の依存性を報告する。
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後藤 康仁, 藤原 裕史, 辻 博司
セッションID: 2Cp05
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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高周波マグネトロンスパッタ成膜において基板位置の違いにより薄膜の配向性が異なる原因を調べるために、基板に入射する高速粒子の角度やエネルギーを変えたときの薄膜の配向性の違いをエックス線回折により調べた。
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沖村 邦雄, ヌルーハニス アズハン, モハメッド シュルズ ミヤ, 佐藤 賢太, 譲原 一樹
セッションID: 2Cp06
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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反応性スパッタ法による酸化物薄膜堆積において、絶縁性基板へ高周波バイアス電圧を印加して成膜を行った。高周波バイアス印加に伴う-50~-300Vの自己バイアス電圧発生によって、高エネルギーイオンの基板入射を促進できる。本発表では、高エネルギーイオン入射と結晶成長、膜表面モフォロジーとの関連について報告する。金属―絶縁体転移を示す酸化バナジウム薄膜及び酸化亜鉛薄膜への適用結果を示す。
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加藤 和広
セッションID: 2Cp07
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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現代の産業において、スパッタリング法などの無機薄膜形成技術は欠かせない基盤技術となっており、その応用製品は多岐に渡る。これらに用いられる薄膜は、結晶の質を向上させることでより優れた特性を示すので、薄膜形成過程における結晶成長のコントロールが重要となる。本講演では特に、強磁場カソードを用いたAg膜の高品質化と、下地ZnO膜を用いた様々なセラミック膜の膜質制御について述べる。
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高橋 明久
セッションID: 2Cp08
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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映像を表示する画面に直接触れることが好まれないと考えられていたことや、特に日本国内では、漢字、ひらがな、カタカナなど、様々な表記が用いられることから、市場に受け入れられないと予測されいたタッチパネルだが、iPhoneの登場により身近なポインティングデバイスとなっている。スマートフォンやタブレットを中心としたモバイル機器においては、薄型化、軽量化のため、様々なタッチパネルの電極構造が採用されている。 本報告では、タッチパネル電極構造と、電極の成膜に用いられるスパッタリング技術を紹介する。
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松永 大輝, 草野 英二
セッションID: 2Cp09
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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MgF
2薄膜のスパッタリング堆積における負イオンによるダメージを抑制し,薄膜物性を改善することを目的とし,負イオン阻止電極をもちいた高周波スパッタリング法によりMgF
2薄膜を堆積した.陰極自己バイアスよりも高い阻止電圧を電極に印加することにより薄膜の堆積速度が高くなり,光吸収が抑えられた.負イオンの基板への入射を抑制することにより薄膜のエッチングおよび欠陥形成が抑制された結果であると考えられる.
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井上 泰志, 仲尾 昌浩, 高井 治
セッションID: 2Cp10
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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反応性スパッタリング法により,ガラス基板上に窒化スズ薄膜を作製し,その機械的特性を評価した.成膜には高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いた.ナノインデンテーション法による機械的特性評価の結果,硬度9~12GPa,弾性定数190~220GPaであることがわかった.
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中野 武雄
セッションID: 2Cp11
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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ターゲットから放出されたスパッタ原子は数 eV 程度の大きな運動エネルギーを持つが、雰囲気のガスと衝突しながら減速し、やがてガスの温度と同程度となる(熱化)。このプロセスは、スパッタ原子の輸送過程や得られる膜の構造に大きく影響することが知られている。スパッタ粒子のガス中の運動をモンテカルロ法によって取り扱い、この熱化の目安となる圧力×距離積(熱化距離)を評価する手法を開発したので報告する。
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山方 啓
セッションID: 2Dp01
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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光触媒の活性を向上させるためには,光励起キャリアーの動きやエネルギー状態を理解することが必要である.我々は可視から中赤外域の過渡吸収測定をフェムト秒から秒の時間領域で行うことで電子や正孔の動きとエネルギー状態を独立に調べる手法を確立した.講演では、この手法を用いて,PtやCoO
x微粒子を担持したTiO
2やSrTiO
3,LaTiO
2N光触媒粒子の中における電子と正孔の挙動を明らかにした.
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Vequizo Junie Jhon, Matsunaga Hironori, Okamura Shou, Ohno Teruhisa, Y ...
セッションID: 2Dp02Y
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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The behavior of photocarriers in anatase, rutile, and brookite TiO
2 was studied by using transient absorption and FT-IR spectroscopy. In anatase, free electrons survive > 1 ms. In contrast, most of the electrons in rutile are deeply trapped at the defects. In brookite, some of the electrons are deeply trapped, but some also survive in the conduction band. FT-IR results revealed that the rate of charge accumulation is faster in anatase but slower in rutile and brookite.
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松永 大典, Vequizo Junie Jhon, 山方 啓
セッションID: 2Dp03
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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時間分解分光装置を用いて、酸化チタンのアナターゼとルチルの粉末と単結晶における光励起キャリアーの挙動を調べた。アナターゼの場合、粉末の自由電子は単結晶の自由電子より長い寿命を有していた。一方、ルチルの場合、粉末の自由電子は単結晶の自由電子より寿命が短いことがわかった。ルチル粉末では、数ピコ秒以内に自由電子が深くトラップされるため、自由電子の寿命が極端に短いことがわかった。
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渡邊 佳英
セッションID: 2Dp04
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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原子数制御Ptクラスタの生成・堆積方法、原子レベル構造解析、光電子分光による電子状態計測、閉鎖循環系・昇温反応による触媒反応特性評価などの結果を紹介し、それらの相関関係とPtクラスタと基板表面の相互作用に関する考察などこれまでの研究成果を紹介する。
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吉田 真明, 光富 耀介, 長坂 将成, 湯沢 勇人, 小杉 信博, 近藤 寛
セッションID: 2Dp05Y
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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太陽光エネルギーを水素として貯蔵する水分解システムの高効率化のため、酸素生成触媒の研究・開発が進められている。本研究では、高効率なコバルト触媒の活性の起源を明らかにするため、反応中における触媒内の酸素の軟X線吸収分光測定を行った。その結果、触媒反応中に生成されるCoO
2が活性種であることが示唆された。
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大西 翔, 吉田 真明, 長坂 将成, 湯沢 勇人, 小杉 信博, 近藤 寛
セッションID: 2Dp06
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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水の電気分解による水素製造法において酸素生成触媒の効率が悪いため、高効率な触媒の開発が活発に行われている。演者らはこれまでリン酸ニッケル酸素生成触媒にアミノ酸のような二座配位子を添加すると活性が顕著に向上することを見出した。そこで本研究では、種々の二座配位子を用いた活性試験及び電気化学XAFS測定を行い、触媒をニッケル・配位子双方から捉えることで電気化学活性向上の要因を調べた。
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樋口 佳佑, 杉山 裕美, 中西 巳奈子, 久保田 純
セッションID: 2Dp07S
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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固体酸化物形燃料電池(SOFC)の低温化は汎用性、長寿命化のためには重要な場合も多いが、低温化にともないカソード触媒の活性が不足するので、カソードの酸化還元反応の高活性化は鍵である。そこで、本研究では、低温化で期待されているLa
1-xSr
xCoO
3材料の表面吸着点の状態を、カソードの反応分子であるO
2分子をプローブとした昇温脱離法(TPD)によって明らかにした。
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大山 順也, 薩摩 篤
セッションID: 2Dp08
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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担持Au触媒の構造効果について球面収差補正走査透過型電子顕微鏡観察を用いて原子スケールで検討してきた。本発表では、Al2O3担持Au触媒を用いたアルデヒドおよびニトロ化合物の水素化反応におけるAuナノ粒子のサイズ効果、TiO2担持Au触媒を用いたCO酸化反応におけるAuナノ粒子の双晶構造の効果を中心に議論する。
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佃 達哉
セッションID: 2Dp09
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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本講演では、これまでに合成された配位子保護金クラスターの幾何・電子構造を、「超原子」の観点から捉えることで、通常の原子との類似性と特異性を浮き彫りにする。また、複数の金超原子が部分的に融合してできた様々な「超原子分子」の化学合成および構造評価について、我々の最近の取り組みを中心に紹介する。超原子の開発による周期表の3次元化、および超原子分子の化学結合論の構築に向けた現状と展望を議論する。
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吹留 博一
セッションID: 2Ep01
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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本発表においては、東北大学・東京大学SRRO・物性研究所・SPring-8・物質材料研究機構・東京理科大学と住友電工との産学連携による二次元電子系デバイスのオペランド顕微X線分光及びそのデバイス開発へのフィードバックに関して発表する。
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朝倉 大輔
セッションID: 2Ep02
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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リチウムイオン電池等の二次電池の高性能化のために、軟X線分光を用いた遷移金属元素や軽元素の電子状態解析が重要となっている。本研究で開発した軟X線領域での充放電オペランド測定について紹介し、電池内部で生じる酸化還元反応等について議論する。非常に複雑な系である電池においては、様々な部位での表面・界面反応を明らかにすることが重要であり、そのような観点からの本手法の展開についても述べる。
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奥田 浩司, 櫻井 伸一, 清水 伸隆, 五十嵐 教之
セッションID: 2Ep03
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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表面からサブミクロン程度以内での相分離などの自発的に形成されるナノ組織の評価に有効なGISAXS法による解析例について、特にここ数年で適用例の増えてきた軟X線(TenderX線)領域を利用した深さ分解能の向上を利用した結果を中心に報告する。
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松井 文彦
セッションID: 2Ep04
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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光電子放出の際に角運動量は保存され、光電子の角運動量は始状態の軌道磁気量子数と偏光の和となる。光電子回折模様を解析すると励起された軌道の磁気量子数の情報が得られる。円偏光励起価電子帯光電子回折に各バンドの軌道磁気量子数が反映されることを見出した。円偏光励起共鳴オージェ電子回折を用いると元素選択的に価電子帯の情報が得られる。磁性や触媒表面の局所電子状態について調べる手段としてこの現象を研究している。
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堀場 弘司
セッションID: 2Ep05
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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角度分解光電子分光による固体表面の電子状態研究において、放射光の特長を生かすことにより、エネルギー走査による垂直分散測定、高エネルギー軟X線を利用したバルクバンド分散測定、偏光依存性による軌道選択測定など、実験室光源による測定では得られない様々な情報を得ることが可能となる。講演では最近の放射光利用ARPESによる研究成果と、次世代光源で可能となる新たな研究展開について紹介する。
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松田 巌
セッションID: 2Ep06
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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放射光科学の発展には光源開発が不可欠である。これまでAPPLE-II が一般的な放射光ビームラインに利用されてきたが、最近ではSegmented Cross UndulatorやKnot-APPLEなど新型アンジュレータが高輝度放射光施設にて建設・利用が進められている。本講演では演者が建設・運用に成功した新しい挿入光源などを紹介しながら、今後期待される先端利用実験について議論する。
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原田 健太郎
セッションID: 2Ep07
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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ESRFで開発されたHMBA型ラティスの登場で、極低エミッタンスと広いダイナミックアパーチャを両立する蓄積リング型光源が可能になった。自然エミッタンス約100pmrad、1~10keV領域における最高輝度が10の22乗に達する光源が世界各地で建設、計画されている。ここでは、HMBAとその進化形であるDTBA、DQBA(KEK-LSで採用)など最先端光源のラティスと光源性能について発表を行う。
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中嶋 健, 伊藤 万喜子, 藤波 想
セッションID: 2Fp01
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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単一接触点を想定した系において、原子間力顕微鏡ナノ触診技法で得られる材料自身の変形効果および凝着力の効果と、摩擦力顕微鏡の結果を関連付けて考察することで、ナノコンタクト摩擦に関する研究を行った。特に凝着の無視できないソフトマテリアルにおいては、Bowden-Taborの関係が崩れているかもしれないという結果を導いた。
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新田 高洋
セッションID: 2Fp02
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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滑り摩擦を理解するためには,摩擦界面での固体同士の接触状態を知る必要がある.本発表では,ゴムとガラスの摩擦界面における真実接触領域の直接観察から得られた知見について議論する.また摩擦界面に加わる接触応力の可視化方法についても議論する.
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平井 悠司
セッションID: 2Fp03
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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近年、生物の機能表面を模倣し優れた機能性材料を創成するバイオミメティクスという研究分野が注目されている。特に生物表面の微細構造に由来する機能に着目した研究が数多く進められている。しかしながら水分を多く含んでいる生物表面の微細構造を電顕で観察するには、煩雑かつ多段階の前処理が必要であり、また乾燥に伴い変形してしまう可能性がある。そこで含水状態で電顕観察が可能なナノスーツ法が開発されたので紹介する。
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森田 裕史
セッションID: 2Fp04
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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ソフトマテリアルに分類される高分子材料における摩擦を考える際には、高分子材料の表面・界面における高分子の構造とダイナミクスの理解がどうしても必要になると考えられる。本講演では、我々の行ってきた表面・界面の粗視化モデルを用いたシミュレーションによる研究事例について紹介し、界面における高分子の構造とダイナミクスについて、議論する。
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山口 哲生
セッションID: 2Fp05
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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本講演では,ゴムや高分子ゲルなどの粘弾性体のすべり摩擦や,摩擦に起因して発生する破壊のメカニズムに関する報告を行う.摩擦界面のその場観察を通して,変形・応力・接触状態・き裂生成・進展など,粘弾性体がすべるときに引き起こされるさまざまな物理過程の時空間発展を追跡することで,メソスケールとマクロスケールとを動力学的に関係付ける.
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三宅 晃司
セッションID: 2Fp06
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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アルキル置換フタロシアニン誘導体をモデルとして用い、AFM及び自作の摩擦特性評価装置を用いてナノとマクロでの摩擦特性評価を行うことにより、実効的な粘性変化と摩擦特性について評価することを試みた。その結果、ナノとマクロでの粘性のとらえ方を考慮して、軸受パラメータとして、実効的な粘度を取り入れることにより、潤滑特性を統一的に理解できる可能性が示された。
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浅井 泰尊, 熊谷 成輝, 村田 英一, 六田 英治
セッションID: 2PA01S
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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3つの{211}ファセット側面と単原子の先端を持つ原子スケールのピラミッドをW針後方からの貴金属原子の表面拡散を利用してW針先端に成長させることができる。我々のグループは、Pdに加え、Pt とAuでもこの方法によりナノピラミッドを成長させることができることを見出した。成長に必要な時間は、それぞれの金属の表面拡散の活性化エネルギーの差を反映し、異なることが明らかになった。
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望月 出海, 深谷 有喜, 和田 健, 一宮 彪彦, 兵頭 俊夫
セッションID: 2PA02
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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全反射高速陽電子回折法は、入射陽電子ビームの視射角(θ)が臨界角(θc)より小さいと、ビームは全反射して物質内部に進入しない。そこで、θをθc以下に保ちつつ、ビーム方位角を変化させつつ測定した「方位角プロット」を解析すれば、最表面だけ構造解析できる。また、θをθcを超えて徐々に大きくすれば、徐々に直下層の情報も含むようになり、上から順々に表面構造を決定できる。今回、この手法による構造解析を試みた。
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和也 齊藤, 秀久 鰐渕, 在虎 金, 晋 米沢
セッションID: 2PA03S
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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ガラス材料は、透過性・耐薬品性に優れ、表面も滑らかであり、身の回りの様々な製品に使用されている。しかし、ガラスは不導体材料であるため、その応用分野が制限されている。そこで、ガラス表面に金属膜を成形させ、ガラス材料に金属材料の性質を付加する研究が行われている。ガラス材料に金属のめっきをするにあたって、表面に凹凸の作製が必須となり、本研究ではフッ素ガスを用いてガラス材料の表面改質を試みた。
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田中 裕行, 谷口 正輝
セッションID: 2PA04
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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CVDグラフェンの構造と物性は、成長用支持基板である金属の表面構造に大きく依存する。格子ミスマッチが比較的小さいNi(111)では皺等が少ないが、そもそもNi(111)の清浄表面を容易に得られない問題があった。今回、原子レベルで平坦なNi(111)をマイカ基板上に簡便に成膜することに成功した。表面構造及び結晶構造解析の結果、得られたNi(111)は様々な研究に応用できることが分かった。
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勇輝 飯塚, 在虎 金, 晋 米沢
セッションID: 2PA05S
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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めっき層の密着性を高めるためには、表面に微細な凹凸を成型させることが非常に重要である。本研究では、新しい表面改質の方法として、フッ素を用いた表面処理を行っている。粒子状のサンプルに対してフッ素を用いた表面処理を行って凹凸を作製し、密着性に優れためっき皮膜の作製を試みた。粒子状からめっきを行い成型することによって新しい組織の成型体ができることが期待できるのではないかと考えられる。
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山﨑 涼, 二村 真史, 堀尾 吉已
セッションID: 2PA06
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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Ⅲ‐Ⅴ族化合物半導体であるInP(111)表面は極性を有しており、特にB面の表面構造は十分理解されていないと思われる。本研究では主として加熱温度変化に対するInP(111)B面の表面構造および組成についての変化をRHEED、MEED、AES、AFMなどを用いて観察したので報告する。特にMEEDについてはエネルギー分析機能も最近備えたので、プラズモン損失ピークの変化についても報告する。
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兵頭 俊夫, 望月 出海, 一宮 彪彦, 設楽 哲夫, 深谷 有喜, 圓谷 志郎, 境 誠司, 社本 真一, 和田 健, 前川 雅樹, 河裾 ...
セッションID: 2PA07
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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表面の原子配置に超敏感な全反射高速陽電子回折(TRHEPD)の特徴と、KEK物構研低速陽電子実験施設のTRHEPDステーションの最近の成果、特にルチル型TiO2(110)(1×2)の表面構造決定、およびCu(111)面上とCo(0001)面上のグラフェンの構造(バックリングの有無と、基板との距離)の決定について報告する。
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一宮 彪彦
セッションID: 2PA08
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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ポジトロニウムによる結晶表面構造解析の可能性が出てきている。ここではポジトロニウム回折の動力学的理論を定式化し、回折の特徴について述べる。今回は、ポジトロニウム散乱によって、結晶状態およびポジトロニウムの状態が変化しない断熱近似の結果について発表する。
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大村 剛之, 吉村 雅満
セッションID: 2PA09
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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CNTフォレスト表面は、微小でランダムな凹凸を有するため、高い撥水性を示す。すなわち、表面積が大きくなり接触角は大きくなる。本研究では、炭素源にエタノールを用いたアルコールCVD法を用いてCNTフォレストを合成し、ボックスカウント法を用いてSEM像の断面図よりフラクタル次元を解析し、合成条件及び解析条件別に接触角との関係性について調査した。
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杉浦 諒一, 堀場 圭人, 柚原 淳司, 山田 智明
セッションID: 2PA10
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
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Ba-Ti-O系準結晶薄膜を、パルスレーザー堆積法を用いてPt(111)表面上にBaTiO
3を成膜した後、試料加熱とTi蒸着を行うことで作製した。高分解能STM像とLEEDパターンから、基板上の準結晶構造を確認した。準結晶作製時の組成比をAESスペクトルから算出した。XPSスペクトルとRBSスペクトルの対応関係の校正曲線を作成し、準結晶薄膜の各元素の定量評価を行った。
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佐野 巨樹, 丸田 茜, 門脇 良, 虻川 匡司
セッションID: 2PA11
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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ワイゼンベルグRHEEDは、表面構造を解析する有力な手法であるが、試料を回転する必要があるために、微小領域や局所構造の解析は困難であった。今回は、試料の任意の位置を軸にして高精度で回転可能なマニピュレータを作成することで、ナノ電子ビームを用いて微小領域の構造解析が行える装置を開発した。今回開発した装置を使用した試験結果を報告する。
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高橋 主人
セッションID: 2PA12
発行日: 2016年
公開日: 2016/11/29
会議録・要旨集
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部品表面に付着した微粒子を除去する技術の開発を行っている.表面にガラス球を付着させたシリコン試料にフィルムをかぶせて押圧すると,フィルムにガラス球が付着して除去される.フィルムの押圧方法として,家庭用の真空パック器を用いた.試料を除去用のポリエチレンフィルムで被い,真空パックに入れて真空排気すると,大気圧が負荷される.この方法により,0.2~1.5µmのガラス球を除去することができた.
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