表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
61 巻 , 10 号
SPM特集号「プローブ顕微鏡によるナノサイエンスの最前線」
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巻頭言
SPM特集号「プローブ顕微鏡によるナノサイエンスの最前線」
論文
  • 板倉 明子, 土佐 正弘, 矢ヶ部 太郎, 宮内 直弥, 笠原 章, 宮田 敏光, 進藤 豊彦
    原稿種別: 論文
    2018 年 61 巻 10 号 p. 675-680
    発行日: 2018/10/10
    公開日: 2018/10/10
    ジャーナル 認証あり

    We have developed chromium oxide layer segregated on electrolytic polished stainless steel (SS316L) surface as inner coat of the ultra-high vacuum chamber. In order to investigate the superiority of the surface of chromium oxide on electrolytic polished surface compared with the only electrolytic polished surface, the thermal desorption characteristics and the initial exhaust characteristics after the air exposure were investigated. We found that the initial evacuation such as mass number m/z=14 (mixture of N and CH2) and 18 (H2O) as well as reduction of hydrogen release amount in temperature raising desorption is faster than electrolytic polished surface. It was found to be suitable for surface treatment when quick exhaust of high vacuum region such as a load lock chamber is desired.

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