本稿では、まず簡易的な電力用可変容量コンデンサを実現した。次に、この可変容量コンデンサをLLC共振コンバータに適用し、スイッチング周波数を固定した動作を可能にした。スイッチング周波数は最も電源特性が優れたものとなるよう算出し、固定スイッチング周波数動作のLLC共振コンバータの基本特性を明らかにした。

低電圧大電流化が進むPOL電源においてディジタル制御回路を用いた場合、遅れ時間の影響で過渡特性が悪化してしまう。そこで本稿では、ピーク電流モードを用いたディジタルPOL電源において過渡特性が改善したため報告する。

本稿では、再生可能エネルギーを活用した1500V級直流給電システムのための電力変換器として、低耐圧パワー半導体デバイスを利用できる2直列入力2並列出力ハーフブリッジコンバータの電圧バランス特性について検討を行ったので報告する。

配電ダクトレールは、店舗やリビングの天井に照明機器を取り付けて電源を供給するために用いられている。今後、IoTのためのセンサーやカメラ、プロジェクターなどの機器を動かすための電力供給源としても期待されている。ただし、ダクトレールには交流電圧が供給されているので、取り付ける機器にはAC-DCコンバータが必要になる。これに対し、筆者達は、配電ダクトレールにDC48Vを配電する屋内配電システムの研究開発を進めている。本論文では、配電ダクトレールの隙間に内蔵できるDC-DCコンバータを実現するために、GaNパワーデバイスを用いた40W出力、14mm×150mm×7mmサイズのコンバータを試作し、98％の効率が得られたので報告する。

ACモータではインバータのスイッチング素子の急峻な電位変化によって、寄生容量を通してコモンモードノイズ電流が発生する。その際に発生するノイズレベルがどの程度になるのかを把握するためにしばしばシミュレーションが用いられるが、シミュレーション結果に基づいたノイズ対策を行うためにその構築はモータ内のノイズ電流経路を考慮したものが好ましい。本稿では、交流モータを巻線インピーダンスと対地インピーダンスからなる等価回路と仮定し、コモンモードノイズ電流の経路についての考察を行った。また、本稿で仮定した等価回路におけるインピーダンス算出方法についての理論検討も同様に行ったため、その結果を報告する。

近年、環境意識への高まりやIoTの発展が進んでいる。そこで注目されている技術にエネルギーハーベスティングがある。エネルギーハーベスティングとは、身の回りに存在する使われていない微小なエネルギーを集めて電力に変換する技術である。大規模な発電はできないが、センサなどの低電力で駆動できるデバイスへの応用が考えられている。本研究で着目した高周波エネルギーは多くの無線機器が空間に放出しており、あらゆる場所に伝搬している。しかしながら、このエネルギーは交流で非常に微弱である。本研究では地上デジタル放送用の電波である470~710MHz周波数帯に着目し、RF-DC変換効率が高く、出力電圧を昇圧する整流回路の開発を行った。

近年、モバイルデータトラフィックの量が劇的に増加している。第5世代（5G）以降の次世代移動通信システムは、トラフィック量の増加による通信混雑・容量の飽和等を解決する通信方式として期待されている。一方、5G 以降の複雑な変調方式を持つ通信方式では、平均信号とピーク信号の比率（PAPR）が大きく、ピーク時にはパワーアンプ（PA）の飽和領域に達してしまうため、信号の線形増幅が難しくなる。そのため、PAの高線形化・飽和領域より低い入力電力での効率（バックオフ効率）向上が重要となる。本研究では、コスト面で優れるCMOS 180nmプロセスにおいて、高Q値で低損失なインダクタを用いて、高線形性・高バックオフ効率のPAの設計を行った。

近年、パスワード管理の重要性が高まっている。本研究の目的は安全なパスワード管理のためにコアパスワードを自動生成することである。そこでカラー画像の局所的な情報と大域的な情報を反映できる3次元離散コサイン変換（3D-DCT）を用いたパスワード生成法を提案する。提案手法としては、まず、512×512pixelのカラー画像を8×8pixel のブロックに分割し、それをz方向として3次元データに変換する。次に、3D-DCTを行い低周波成分から生成する文字数に応じてDCT符号を2値信号として取り出し、6bitずつBase64で文字に変換した。その結果、画像ごとに固有の文字列が生成されることがわかった。

画像の局所的コントラストを上げる方法として移動正規化法があるが、処理時間が長く動画や高解像度の画像処理に向いていない。本研究の目的は移動正規化法の処理を高速化することと、自然な印象を保ちながらエッジ部のコントラストを上げる方法を検討することである。提案手法では、注目画素を含む複数の局所領域を正規化した結果を重ね合わせ、その結果の重み付き平均を出力画像に出力する。その際に注目画素を全画素ではなく確率的に選択する。また、注目画素がエッジ部か平坦部かで局所領域のサイズを変化させる。その結果、自然な印象を保ちつつ局所的コントラスト上げることができた。さらに処理時間も大幅に短縮することが可能となった。

天災や人災などで避難は複雑な非線形問題であり、すべての人の行動を把握する解を出すことはほぼ不可能であると思われる。しかし、状況を単純化したモデルを用いて、そのモデルを解析することにより、経験や感だけに頼っていた従来の避難時の行動に対して理論的考察を与えることができる。その手法の一つが、セルラオートマトンの中のフロアフィールドを用いたシミュレーションモデルである。現在、実際の人間が避難するための出口までの距離と出口周辺の人口密度を考慮し、より早く外に出ようとする心理を捉えたシミュレーションモデルが開発されているが、視野が考慮されたものでないため、本研究では人間の視野を考慮に入れた動的フロアフィールドによる避難モデルを試作した。

近年宮崎県では、11種類の光るキノコが確認されている。この光るキノコは、今後宮崎県の重要な観光資源になりうる可能性が十分にあると考えられている。 本研究では、手始めに宮崎県でみられる光るキノ コ11種類の3次元コンピュータグラフィックスモデル、エナシラッシタケの一般者向け教育用プロモーションビデオ、仮想現実の臨場感ある映像等の制作を行った。また、それに伴ったアンケート調査を実施することにより、制作した映像の有用性も確かめた。

現在の情報化社会において高速かつ大容量な通信回路や通信環境は不可欠なものとなっている。光通信はこれらを支える最も重要な技術であり、データを正しく伝送するためには光通信モジュールの損失を知る必要がある。光導波路間の光結合効率がいかに与えられるかを知ることは光通信モジュールの設計上重要である。伝搬する光波を光導波路に結合させる場合、導波路の端面から直接光波を結合させることは効率が悪い。そこでプリズムカプラを用いた高効率な光波結合が提案されている。本論文では、FDTD法を用いて光波をプリズムカプラを通して３層非対称スラブ導波路に結合させる場合の結合特性を調べている。

筆者らは、対象物からの電磁散乱波を人工知能（AI）で識別することで、内部のひび割れの有無をリアルタイムに推定する研究を⾏ってきた。先行研究においては、層状媒質中に存在する空隙を検出可能なAIを検討し、工夫すれば、少ない教師データで訓練したAIを用いて、9割程度の精度で空隙を検出できることを示した。本報告では、⼆次元媒質中の空隙有無を推定するAIを検討する。教師データおよび推定精度確認⽤の試験データは共にFDTD法を⽤いた⼆次元シミュレータにより⽣成し、ニューラルネットワークを⽤いた媒質内部の空隙検出の可能性を明らかにする。

人工知能(AI)を用いて、電磁散乱波の波形から媒質の内部状況を調べる研究が注目を集めている。AIの訓練のため、電磁散乱シミュレーターを作成し教師データを集めAIに学習させる試みが報告されている。散乱波の時系列データを求める際に、筆者らはFDTD法を用いてきた。FDTD法は解析領域が広い場合、長時間シミュレーションが必要な場合、または入射波の波長が短い場合で、計算時間が長くなる。また媒質のパラメータが大きく変化する場合、境界の処理が難しい問題もある。本報告では層状媒質からの散乱問題に対して、周波数領域解析法を用いたシミュレータを作成し、FDTD法と比較してその優劣を考察する。

電磁波の逆散乱問題では、散乱波だけでなく、入射波の情報も必要となる。しかし、一般的に観測される電磁界には入射波と散乱波の情報が混在するため測定機器を使って、入射波のみを測定するのは困難となる。観測された全電磁界から入射波のみを抽出する数値解析方法が過去に提案されており、過去の報告では、一つの波源から発生する入射波について、その抽出精度を明らかにしている。本報告では、複数の波源から発生した入射波が対象物体に照射する場合でも、問題なく入射波を抽出できることを示す。

層状媒質の誘電率分布の推定にAIを活用した実験が報告されているが、各層の厚さを均一としたモデルで表していた。厚さが不均一な場合に対応するために、比誘電率と厚さの両方を逐次に推定する方法を提案する。まず、ターゲット層の表面からの反射パルスを抽出し、その波高を用いて比誘電率を推定する。次に、後ろの層からの反射パルスを抽出し、その遅延情報を用いて層厚を推定する。いずれも散乱波形に対して前処理を行うことで、ターゲット層より浅い層の影響を取り除き、「波高対比誘電率」と「遅延対層厚」の関係を簡明にしてからAIを訓練するため、AIの学習が容易になり、浅い層で訓練したAIが深い層の推定にも適用可能である。

測定散乱波から誘電体を再構成する逆散乱問題は，測定散乱波と計算散乱波の差に関する目的関数の最小点を探索する最適化問題に帰着させることが多い．この方法で偽解を避けるために区間解析を用いた大域的最適化の適用が考えられる．本稿では，複雑な形状の物体を再構成する問題への区間解析の適用性を検討するため，複素区間解析を用いた誘電体柱による散乱波の数値計算を検討する．

誘電体円柱による散乱波から誘電体円柱の比誘電率の存在範囲を，ニューラルネットワークを利用して特定することを目的としている．今回は、複数の周波数の電磁波を用いたとき，ニューラルネットワークによる同軸２層誘電体円柱の各層の比誘電率の分類の性能について検討している．

同期リラクタンスモータ（SynRM）におけるロータ設計は、電磁界解析を用いてさまざまなロータ形状の解析を繰り返し実施しながら、最適化を行っている。しかし、現状の手法では解析時間が膨大となり、時間短縮を図るには高機能な計算環境や解析ライセンス数の増加など初期投資が必要となる。この問題を解決する手法として、電磁界解析とニューラルネットワークを併用したロータ設計の最適化を検討した。なお、最適解探索の手法として、一般的に広く用いられている遺伝的アルゴリズム（GA)を適用し検討を行った。今回提案する手法を用いることで、汎用的な計算環境と限られたライセンス数で短期間に最適化出来る目途を得た。

誘導電動機の始動特性（始動電流、始動トルク）は規格JECに規定された対数比例法によって算定される。しかし、実測値とは乖離が見られる。設計現場では過去の実測データを元にした算定法を用いているが、さらなる精度の改善が必要である。都度実測をする方法もあるが、生産台数が多く現実的には困難である。そこで本稿ではJMAGを用いて誘導電動機の始動特性を解析し、改良評価法を検討した。

注目されるソフトアクチュエータの1つとして、誘電エラストマーアクチュエータ(DEA)がある。DEAは主に、エラストマー膜と伸縮性のある電極から構成される。後者を実現する方法として、カーボンナノチューブ(CNT)の塗布が提案されている。その中でもスプレー塗装は、作業性に優れ、広範囲あるいは複雑な形状にも対応できるなどの利点がある。スプレー塗装の欠点は、塗着効率（塗料が被塗物に付着する指標）の低さにある。加えて、CNT電極としての品質を確保する必要もある。しかし、こうした視点に関する知見が不足している。本稿では、DEAのCNT製電極をスプレー塗装により作製する工程に注目し、塗着効率の向上および塗着品質の十分な確保を目指した検証を行う。

電気自動車の駆動用モータとして利用することを目的とする可変磁束モータは大きなトルクを得るために必要な大きな磁石磁束を得つつ，高速回転時には誘起電圧小さくするために磁束を抑えることができることから，近年研究が盛んにおこなわれている．本研究では磁気飽和を活用した集中巻構成可変磁束モータを提案している．本稿では，これまでよりも高速な駆動領域での効率測定を行い，提案モータの効率特性の妥当性を実証する．

本研究では、航空機用の高効率電気推進システムの実現に向けた、超伝導変圧器の軽量化設計と交流損失の関係性を検討する。巻線の層数の増減による変圧器の横幅と高さの変化を考慮した軽量化設計をもとに、JMAGを使用した変圧器の磁界分布からREBCO超伝導線の交流損失との関係を考察する。

今回設計したモデルは超伝導電動機は出力2MWで出力は20kW/kgを想定している。常伝導では実現不可能であった形状を、超伝導を用いて電動機の体格を出力2MWに合わせて変化させて解析し、質量の変化を調べた。また、2次元解析で最も出力密度が大きくなった形状を、コイルエンド部などを考慮に入れた3次元に拡張して解析し、2次元モデルとの比較・検討を行う。

本稿で検討するデュアル電流形インバータは，π/2位相差のPWMで動作する2台のインバータを並列接続して，誘導機の励磁電流とトルク電流を出力する。今回，インバータの動作モードと等価回路および状態方程式を導出し，状態空間法を用いた厳密解析を行い，実測値との比較を行った。誘導機のすべり周波数制御の特性を求め，理論値からデュアルインバータとシングルインバータを比較検討した。

三相デュアルPWM電流形インバータ駆動誘導機システムについて，誘導機電圧のV/f一定制御時の特性を先に報告した。本稿では，すべり周波数制御時の誘導機の過渡特性を検討したものであり，単一インバータ駆動時と比較して実験結果を報告する。デュアルインバータは単一インバータと同様に直流電流制御を行うが，デュアル方式ではトルク電流の演算が不要であり，過渡特性において誘導機電流の位相が変化する。実測波形から両インバータの過渡動作の差異を示す。

　単相系統電圧変動の補償システムとして，PWM電流形インバータを適用した場合について，直流インダクタの低減と波形の正弦波化を図った３レグ方式の採用を示した。本稿では，3レグPWM電流形インバータを用いた系統電圧補償システムについて，インバータの位相制御とインバータ入力直流電圧制御による系統電圧変動時のシステムの過渡動作について検討したものであり，各部実測波形からシステム動作特性を明らかにする。

誘導機のPWMインバータ駆動において，スイッチングによる電磁音を発生することがよく知られている。筆者らは先に，誘導機電圧リプル，電流リプル，および電磁音について，三相PWM電圧形インバータと電流形インバータ駆動時の比較検討した。本稿では，PWM電流形インバータのフィルタコンデンサ変化に対する電圧，電流リプルとPWM電磁音の影響を検討し，電圧形インバータとの比較を行った。

　誘導電動機(IM)のエンコーダレスベクトル制御にリプル電流低減，急峻な電位変動が抑制できる3レベルNPCインバータを適用する。しかしながら，PWM方式３レベルインバータでは変調率0近傍で電圧パルス時間幅が出力可能な最小幅より短くなり電圧パルス消滅で電圧誤差，電流歪みが生じることで，トルク制御に悪影響を及ぼす。本発表では３レベルインバータの電圧誤差補償方法として，１キャリア周期内で上下アーム双方をスイッチングすることにより出力可能な最小電圧パルス幅を確保する方式を提案する。IM駆動制御で提案方式を適用し，出力電圧誤差と電流歪みを低減することにより，トルク脈動低減する。

永久磁石同期電動機（PMSM）を用いた電動機駆動系の制御手法の１つとして，制御対象の出力を予測して適切な状態を選択するモデル予測制御(Model Predictive Control)が，着目されている．その中で,有限設定モデル予測制御(Finite Set - MPC : FS-MPC)はインバータなどのスイッチング制御へ応用され始めている．本研究では，FS-MPCを実装するために低消費電力で並列処理を実現できるFPGA(Field Programmable Gate Array)を利用し，制御部を高位合成で構築することでFS-MPCによる永久磁石同期電動機の速度制御系の実装を行った．

近年では,家電製品などの民生機器から電気自動車の駆動源, さらには医療機器などの産業用機器とあらゆる分野で電動機は用いられている.中でも, 永久磁石同期電動機(PMSM)は, 回転子に永久磁石を搭載した電動機であるため高効率で， 小型化にも適するという利点をもつため幅広い分野で使用されている.本研究ではPMSMの一種で固定子巻線を回転子内外に配置したダブルステータモータを用いて速度制御系の構築を行った．ここで，2つの固定子に与えるトルク分電流指令が最大効率となる動作点を調査している．さらに，速度センサレスとセンサ付きの場合の入出力特性を比較し, センサレス制御の有用性についても検討した.

産業界において，永久磁石同期電動機（PMSM）は高性能・高効率，また小型化に適しているなどの理由から，様々な用途で利用されている。一方，PMSMの位置制御や速度制御を行うためには，回転子の位置が必要で，センサ不具合による信頼性の低下や機器の大型化に繋がるケースも考えられ，センサレス制御が求められている。そこで本研究では回転子位置のセンサを使用しない簡易なセンサレス制御について検討する。

最小コスト区間選択問題を提案し、その計算困難性について述べる。

円弧グラフの最大彩色可能部分グラフを見つける問題について、アルゴリズムと計算複雑さについて述べる。

変更数制約付き2部グラフマッチング問題の近似アルゴリズムについて述べる

入力を出現数2の文字列に限定した場合の最長ラン部分文字列問題に対する近似アルゴリズムについて述べる.

本稿では，背景色によって復号の可否が変わる視覚復号型秘密分散法を提案する．提案法は，背景色が白のとき分散画像を重ね合わせても秘密情報を復元できず，背景色が黒のとき分散画像を重ね合わせると秘密情報を復元できる機能を持つ．本稿では，このような機能を持つ分散画像の構成方法を示し，構成した分散画像による復元の例を示す．

電気化学センサは、化学物質の種類や濃度の情報を電気信号として得るセンサである。特徴としては、(1) 安価で単純なシステム、(2) 小型化が容易、(3) リアルタイム計測や定量的解析が可能、(4)生態系に非侵襲的な測定が可能等が挙げられる。本研究の目的は、マイクロコンピュータ制御を用いて電気学測定システムを構築し、安価型の小型電気化学センサとして提案することである。これまでに電気化学基礎特性評価や物質の定性評価に活用されるサイクリックボルタンメトリ（CV）測定の機能を実装できている。今回は、物質の定量評価を行うべく、クロノアンペロメトリー（CA）測定機能を実装できたので報告する。

二つの文字列の共通部分列，かつ出現する文字に重複のないもののうち最長のもの（重複なし最長共通部分列: Repetition-Free Longest Common Subsequence）を求めるRFLCS問題について考える．塩基配列には，元となる塩基とそのコピーと見なせる部分があり，その元部分の類似度を判定したいといった動機などから，共通部分列に関連する問題群が研究されている．本稿では，RFLCS問題に対する全列挙法の一つを実装し，ランダムに作成された文字列の組に対する重複なし最長共通部分列の長さ，ならびに，それを求めるために必要な処理時間について評価を行った．

航空機などの飛行物体の空力特性を調べる際、風洞試験を行う。小型模型を支柱で固定して実験を行うが、支柱が空気の流れを阻害し実験結果に影響を与えてしまう。そこで、磁気力を用い模型を非接触で浮上させることにより支柱を取り除くことができると考えられる。磁気浮上風洞試験装置の浮上ギャップを確保するため、超電導コイルを用いることで、大きな磁気力を省エネルギーで発生させることができると考えられる。先行研究ではギャップ100mmでの浮上に成功している。本研究では、直径280mmの超電導コイルを用い300mmギャップでの浮上実験を目指し、1軸制御装置の検討、評価を行う。

今真空中でウェハーを作る時ほとんどロボットで搬送します、でもロボットで搬送すると振動が発生しますから、超電導を使って、ピン止め効果で磁気浮上すると、振動が多く抑えることができます。自分の研究としては極高真空でも使える構造で、超電導バルクと超電導コイルを用いた新たな構造で搬送装置として振動特性を測定しました。そしてバルクとコイルの位置を変えて、水平方向と垂直方向の減衰と剛性を実験でまとめました。そして水平方向でより強い減衰や剛性などの構造を試して検討します、そして減衰と剛性が強い構造を決めて搬送装置を提案します。

懸垂型磁気浮上の応用として、省エネルギー型磁気浮上搬送装置を開発している。これまでの研究で本装置のレールに設置された電磁石を励磁させ浮上体を推進させるめどが立っている。今回はホールICを用いて複数の電磁石の位置に合わせて制御し、断続走行または連続走行の実験を行い検討した結果を報告する。

永久磁石レスで自励式かつ可変界磁である半波整流自励方式可変界磁リニア同期モータを用いたリニアドライブシステムのシミュレーションモデルを作成する。リニア同期モータ本体，インバータシステム，制御システムからなるリニアドライブシステムのうち，今回はリニア同期モータ本体のモデル化について検討した。リニア同期モータ本体は電圧方程式に基づいてモデル化されるが，インダクタンスが可動子位置および電流によって変化することから，新たにインダクタンスを可動子位置と電流の関数とした数式モデルで表す。今回新たに作成したシミュレーションモデルの有用性を確認し，本リニアドライブシステムの運転特性を算出する。

昨今、CO2排出量削減や大気汚染防止など環境問題が注目されており、自動車業界はPHEV、BEV及びFCVといった電動化システムへの転換が求められている。さらに走行時CO2以外に生産工程を含んだWell to Wheelと呼ばれるCO2排出削減も求められている。工場内では多くの部品や車両を移動させることが多くあり、この工程を電動化することはカーボンニュートラルの実現の観点から有益と考えられる。そこで我々は、工場内で使用する搬送車に対する電動化に取り組みとこの搬送車向けに開発しているアキシャルギャップ型インホイールモータを紹介する。

近年、IoTを活用した環境モニタリングがさまざまな場所で行われており海上でもGPS・温度センサー・ソナーを搭載した小型ボートなどが用いられている。これらのボートの主な目的は水上でのデータ収集であるが、我々は、リモートカメラを搭載することによってデータ収集だけでなく、周囲の状況を見ることができる。これを利用すればリアルタイムで映像を見ながら遠隔操作できるため全世界どこでもインターネットが繋がる限り、まるでその場所にいるような体験をすることができる。そこで本研究ではGPS・センサーに加え前方用カメラと水中用カメラを搭載したボートを製作し、実際に遠隔地でも正常に動作するか実験を行った。

今後、車の消費電力は自動運転用センサー類やコンピュータの搭載によって益々増えると予想されているが、電装品は現在でも3kWを消費しており、ワイヤーハーネスの重量は一般的な車で約20～50kgに達している。一方で、近年、48Vをモーター駆動に用いるマイルドハイブリッド車が欧州を中心に普及し始めており、この48Vを従来の12V車載補器電源の代わりに用いる検討が進められているが、電装品の大半は12V規格対応である。そこで、本研究では48Vから12Vに変換するコネクタを実現するためにカップルドインダクタ方式の電流共振形ZVSコンバータを開発し、効率97.9%、0.03W/mm3を実現したので報告する。

近年，電子デバイスへの新たな機能を付与する目的とした，「薄手永久磁石」のMEMS応用を鑑みて，Siやガラス基板へのNd-Fe-B系薄膜・厚膜磁石が創製されてきた。我々は，PLD法で作製したNd-Fe-B系厚膜磁石に対し，Si-MEMSへの応用を鑑みた「膜厚増加」や「微細着磁」を同時に達成する方法として，「厚膜磁石とSi基板の界面にガラス下地層の挿入」を検討してきた。Si基板上の75 μｍ厚Nd-Fe-B系磁石膜に対しマイクロ着磁が実現できる事を報告している。本研究では，ガラス下地層を挿入した試料の磁気特性や角形性に及ぼす熱処理条件や膜厚比の影響を検討したので報告する。

　本研究室ではこれまで、希土類系磁石膜の硬磁気特性を獲得するために，赤外線加熱炉や抵抗加熱炉を用いて500 ℃以上の高温での熱処理を行ってきた。本研究では，産業・環境・医療分野と幅広い応用が期待されているMEMS技術への磁石膜の利用を促進する目的で、磁石膜を作製する際に，有機材料をはじめとする低融点の材料を基板や下地層として用いる事を考慮した。本実験では，ガラス基板上に成膜し、熱処理を施した磁石膜にガラス基板側よりレーザーを照射する事で室温の基板上に結晶構造を保持したまま磁石膜を堆積できることを確認した。その際の硬磁気特性の劣化や他の手法への展開も含め，学会では報告する。

デバイス応用に向けた数10μm厚のNd-Fe-B系磁石膜がスパッタリング法等のいくつかの手法で報告されている。本研究室では、真空アーク蒸着法を用い、10 μm厚以上のNd-Fe-B系磁石膜を組成分布：±0.4 at. %，膜厚分布：±16 %の範囲で成膜面積を20 mm角まで増加できることを報告した。一方、試料の端部の減磁曲線が中心部に比べ二段化に伴う磁気特性の劣化が生じる事も確認された。本研究では、Nd-Fe-B系磁石膜にNb添加を施す事により、試料端部の磁気特性の改善を検討したので報告する。

我々は，小型モータやMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術への応用を見据え，数十 ～ 数百 µm厚のNd-Fe-BやPr-Fe-Bといった希土類厚膜磁石をPLD (Pulsed Laser Deposition)法にて作製している。PLD法の成膜速度は，ターゲットに照射するレーザパワーに依存しており，数十 µmを超える厚膜磁石作製の際に，大きなレーザパワーを利用し短時間で作製することが考えられる。本研究では，PLD法のレーザパワーが異方性Nd-Fe-B系磁石膜の微細構造や磁気特性に与える影響を検討したので報告する。