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野間崎 準, 渡部 武弘, 松坂 壮太
セッションID: K42
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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本研究では，ファイバーレーザ（波長：1064nm）を用いてSUS304ステンレス鋼表面に微細な凹凸形状（マイクロテクスチャ）を形成し，その潤滑特性向上に対する影響を調査した．摩擦係数の測定は面接触で行った．その結果，溝の形状（幅・深さ）や間隔，接触子の移動方向を変化させることによって，摩擦係数を20％以上低減することに成功した．
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佐藤 郁弥, 四戸 友基, 多田 耕三, 田辺 里枝, 伊藤 義郎
セッションID: K43
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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本研究では，シリコン(Si)が赤外波長域において透明である特性を利用し，赤外レーザーによるSi基板の裏面及び背後の別基板への透過レーザー光による加工を試みた．その結果，Si基板のレーザー入射面には損傷を与えず，裏面のみを加工できた．さらに，レーザーをSi基板の背後に設置した別の基板表面に集光することで，その表面の加工，及び表面に蒸着した金薄膜の除去が行えた．
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荒渡 悠, 坂田 祥一, 鈴木 未央, 大沢 基明
セッションID: K44
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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現在レーザ加工では切断，溶接，表面処理がほとんどで表面形状の形成や改質はあまり行われてない．表面形状を創成することにより新しい機能を発現することが期待されており，微細加工によって創成された表面は「機能表面」と呼ばれ，機能表面は機械工学は元より色々な先端分野としても大きな魅力を持っている．本研究ではオーステナイト系ステンレス鋼SUS304表面に微小な凹凸を形成させる新しい微細加工法を検討した．
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岡崎 航, 吉田 善一
セッションID: K45
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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レーザ又はドリルによる加工とその後の集束イオンビーム加工の二段階で、複数のマイクロニードルを並べたマイクロニードルアレイ金型作製を目的とした。金型素材にグラッシーカーボンまたはアルミを使用し、それぞれにレーザ加工またはドリル加工を行い、目標値として直径50μm、深さ300μmの穴を200μm間隔で6×6個作製した。その後ポリウレタンとシリコンゴムでの型どりにより第一段階加工の形状を測定した。
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入熱量制御による溶接品質の向上
佐野 裕, 河田 直樹, 及川 昌志, 木村 億尋
セッションID: K46
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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現在，ステンレス鋼製鉄道車輌構体の製造には，主に電気抵抗スポット溶接が用いられているが，従来に比べ熱影響が少なく低歪なレーザ連続溶接が適用され始めている．本研究ではより高品位な溶接の為に，レーザスポット溶接を検討したが，高速度，高出力密度の状態ではスパッタ発生量が多くなる等の問題がある．そこでパルス波形を最適化して入熱量を制御することで，スパッタ発生量を抑えられる可能性を得たので報告する．
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キーホール重ね溶接における溶融挙動
浅野 哲崇, 新井 武二
セッションID: K47
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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前報は、重ね溶接における熱伝導型溶接挙動を取りあげた。熱伝導型は溶接部におけるレーザのパワー密度が比較的低い場合に起こる現象で、パワー密度の高いレーザ熱源を用いて重ね溶接を行う場合には、キーホール溶接となることが知られている。しかし、瞬時のキーホール形成過程を時系列的に扱ったものは極めて少なく明らかではない。本研究は、現状で知り得る情報に基づいて、仮定を交えてキーホール溶接の加工現象を予測する。
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ビジョンセンサによる溶接位置の自動検出の精度
福田 薫, 大藤 仁志, 金子 俊一, 松下 昭彦, 穂苅 拓也, 鎌田 英博, 池田 正幸
セッションID: K48
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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開発したビジョンセンサを用い，平面と曲面上で溶接線の検出と加工ヘッドの位置決めを自動的に行い，その精度，および溶接特性について検討した．
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阿部 信行, 舟田 義則
セッションID: K62
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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走査速度と偏光の影響
向縄 嘉律哉, 多賀 智治, 田辺 里枝, 伊藤 義郎
セッションID: K64
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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高硬度金型材料の超硬を対象として，フェムト秒レーザーによる微細貫通穴あけ加工の条件探索を行った．レーザーの走査にはガルバノスキャナを用い，空気中，表面集光において，加工形状精度と加工速度の向上，穴深さの増加を目指した．良好な高アスペクト比の貫通穴を得ることができる走査方法を見出した．このとき，加工穴側面に一様な微細周期構造が形成された．走査速度及び偏光の影響についても検討した．
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中村 玲王奈, 桂 智毅, 藤川 周一
セッションID: K65
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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固体UVレーザを用いたシリコン基板の微細穴開け技術の開発を進めている。シリコンのレーザ加工では、デブリ付着にともなう加工品質の劣化が課題になる。今回、水溶性保護膜を使用した加工プロセスの開発によって、デブリ付着のないシリコンの高品位加工を実現した。講演では、同プロセスによる高速穴開け加工技術、高アスペクト比の微細穴形成技術について報告する。
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野原 将平, 酒川 友一, 宇野 義幸, 岡本 康寛, 原口 心
セッションID: K67
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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透明導電膜はフラットパネルディスプレイや薄膜太陽電池の製造には必要不可欠であり，その需要は年々増加している．しかし，透明導電膜にはITOやSnO2などいくつかの種類があり，また，材料の組み合わせから異なる波長のレーザを適用する必要があるなど，その組み合わせは複雑で，除去加工特性が不明な点も多い．そこで，本研究では波長やパルス幅の異なる各種レーザを用いて透明導電膜の除去加工特性を検討した．
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宮田 大助, 田辺 里枝, 伊藤 義郎, 市原 正浩, 松本 栄一
セッションID: K68
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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有機薄膜太陽電池は材料が安価で製造が容易であるが，１ユニットでの起電力は0.5Ｖと低く，十分な電圧を得るためにはモジュール構造になるよう加工する必要がある．そこで，積層構造をした有機太陽電池の各構成層に対して，フェムト秒レーザーによる選択加工を試み，加工閾値，加工特性を調べた．その結果，単一のレーザー装置で加工が可能であることがわかった．さらに，加工プロセスを可視化するため，時間分解観察を行った．
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伊東 宏季, 池野 順一, 鈴木 秀樹, 国司 洋介
セッションID: K69
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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シリコンウエハは，太陽電池用パネル用ウエハの製造工程で50%が加工屑となり，半導体ウエハにおいては90%が加工屑になってしまう．そこで本研究では，加工屑の少なくなる加工法としてレーザによるシリコンウエハの薄化技術の開発を行っている．本報ではその実験結果について報告する．
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高瀬 義明, 徳永 剛, 三須 直志, 宮崎 俊行
セッションID: K73
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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半導体レーザを集光する場合，非点収差が問題となるがコリメートレンズの直後に円形開口を設ける方法で強度分布におよぼす効果を調べた．その結果，開口数0.3相当の開口は楕円状の強度分布を光学補正素子を使用せずに集光点のビーム径を円形に近づくことを確認した．
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土田 明宏, 徳永 剛, 桑野 亮一
セッションID: K74
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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本研究では研削・研磨により製作したアクリル樹脂製の屈折型光学素子によるビームシェイピングを目的とする．3軸直交型加工装置でラスタ走査による研削・研磨加工をした．加工速度や切り込み量の変化が表面粗さに及ぼす影響および透過率を調べた結果，研磨後の数値は平均粗さ0.01μm，光透過率91%であった．この条件で光学素子を製作し，その光学的特性について調査した．
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佐山 雅信, 徳永 剛, 桑野 亮一, 宮崎 俊行
セッションID: K75
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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レーザによる3次元形状の加工では，層状に不要部分を除去するが斜面の生成はビーム走査による重なりの影響が大きい．本研究ではQスイッチYAGレーザのパルス周波数およびビームの重なりをパラメータとしてステンレス鋼に生成される斜面の特性について調べた．
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岡村 秀樹
セッションID: L01
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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堤 良介, 下所 和弘, 西山 成, 石丸 伊知郎
セッションID: L03
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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我々は，薬剤効果解析を目指した細胞の粘弾性力分離計測技術の研究を行っている．本手法は，光圧力により微粒子を加振して細胞を触診する．この場合，粒子に作用させるバネ力に微弱な光圧力を用いている為，弾性係数が極めて小さくなる．これにより，微弱な細胞の粘性係数が顕在化され、弾性係数と分離して計測が可能になる．本報告では、細胞触診による粘性力と弾性力の分離解析手法と，細胞触診の実験結果について述べる．
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堤 章洋, 水谷 康弘, 岩田 哲郎, 大谷 幸利
セッションID: L04
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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近年，細胞のような反磁性物質の非接触駆動法が必要とされている．本研究では，永久磁石によりパッシブに磁気浮上させた反磁性物質を非接触光駆動させる．装置は，永久磁石と感温磁性体からなる簡易な構成とした．感温磁性体の温度を光により変化させることで，磁束分布が変化し反磁性物質が移動する．光駆動モデルを構築し駆動原理を数値解析および実験より確認したので報告する．
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田中 政之介, 大谷 幸利, 中島 吉則, 雨宮 秀行, 若山 俊隆
セッションID: L06
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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旋光計測は糖類やアミノ酸などの光学活性物質の濃度計測に利用され、また近年では医薬品の純度検定や麻薬検出、血糖測定などに応用される．一般に旋光計は回転検光子法やファラデーセル法など機械駆動や高電圧を要する手法が用いられているが、大型で素子の取り扱いが困難であるという問題がある。本研究では，液晶偏光変調器によって低電圧で高速に測定できる旋光計を提案している。今回計測システムの構築を行ったので報告する。
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ミュラー行列再構成による偏光特性の評価
Yusoff Yamin, 水谷 康弘, 岩田 哲郎, 大西 康司, 相沢 隆, 小池 崇文
セッションID: L07
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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光学系の光学特性を向上させるためにアダプティブオプティクスが用いられている．ここで使用可能な結晶として強誘電性物質であるPLZTがあげられる．しかし，PLZTに電圧を印加した時に誘電率が長時間安定しないという問題点がある．そこで本報告では，PLZTの光学特性の電圧応答特性を評価する．全偏光特性を表すことのできるミュラー行列を測定し，再構成することで各偏光特性の印加電圧依存性を同時に評価した．
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工藤 重樹, 三井 隆久, 大槻 真左文, 村田 浩之, 金澤 昌廣, 佐藤 良三
セッションID: L08
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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液晶パネルの製造工程で製品に高い残留応力があると、後工程で割れや欠けに繋がる。我々は、ガラスを貼り合わせた後でも、表面と裏面の各ガラスの応力分布が測定できる技術を開発した。共焦点方式により複数のガラス界面で反射する微弱な複屈折を分離検出し、応力値に換算している。本装置は、液晶パネルの製造工程のほか、ＭＥＭＳの製造工程にも広い用途がある。
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軸対称1/4波長板の二色性の除去
若山 俊隆, 大谷 幸利, 吉澤 徹
セッションID: L09
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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偏光計測法の多くは、偏光状態が均一なプローブ光を使用している。我々のグループは、偏光の特異点を有したビームの生成を行い、これを偏光計測法に利用する手法を提案している。現在までに２つの軸対称1/４波長板を用いたトポロジカルなミュラー行列偏光計を提案してきた。今回は軸対称1/4波長板自身のもつ二色性の影響を考慮し、測定性能の向上を行った。また、旋光性と複屈折性を併せもつ楕円複屈折の影響をポアンカレ球上で評価した。
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田中 政之介, 中條 充, 大谷 幸利, 中島 吉則, 雨宮 秀行
セッションID: L10
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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旋光計測は糖類やアミノ酸などの濃度計測に利用され、また医薬品の純度検定や麻薬検出などに応用される．一般に旋光計測は、光学活性物質に入射した直線偏光の偏光面の回転角を計測する。しかし検出光には光学活性物質中のひずみや結晶の光軸の誤差に依存した複屈折成分が含まれる。本研究では、光学活性物質から出射されるストークスパラメータを解析することによって複屈折成分を分離し、純粋な旋光度を計測する手法を提案する。
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銘苅 春隆, 高橋 正春, 福島 絵理
セッションID: L13
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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スライド式ローラーインプリント法によって、中空チューブの円筒表面に最小線幅5umの微細パターンの転写に成功した。チューブの材質はテフロンPFAで、断面は外径1/16inch、内径0.02inchのドーナッツ形状である。中空チューブは平板型電鋳Niモールドと緩衝材シートの間に挟まれ、モールドを水平方向に動かすことで、適度な押込量でモールドパターンに中空チューブの表面が連続的に接触するように工夫した。
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銘苅 春隆, 奥山 千枝子, 上野 昭久, 高橋 正春
セッションID: L14
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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グラッシーカーボン（GC）モールドの作製にMEMS製造技術を応用した。ドライエッチング時間を制御することによって、深さの異なる4種類のGCモールドを作製した。これらを用い、最小5um幅のパターンを幅200umの角型石英ガラスファイバー上に1350℃で熱インプリントした。成形パターンの高さを測定し、モールドパターンのアスペクト比との関係を調査したところ、両者には反比例の関係が存在することが判明した。
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スティクション防止膜の表面粗さが付着力および接触抵抗に及ぼす影響
山下 崇博, 伊藤 寿浩, 須賀 唯知
セッションID: L15
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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著者らはこれまでに，原子間力顕微鏡を用いた湿度環境下での付着力測定，および導電性カンチレバーを用いた低荷重領域における接触抵抗測定を行い，π電子共役系分子の自己組織化単分子膜(SAM)がMEMSスイッチのスティクション防止膜として有効であることを示した．本報では，膜厚の異なる金薄膜上にそれらSAMを成膜することで表面粗さの異なる試料を作製し，表面粗さが付着力および接触抵抗に及ぼす影響を調査する．
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高岸 れおな, 赤池 正剛, 須賀 唯知
セッションID: L16
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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エレクトロニクス機器における高密度実装や3D実装において加熱を用いない表面活性化常温接合が注目されており、特に抵抗値の低い銅が配線および接続材料として注目されている。しかし銅の表面活性化接合のメカニズムは現在よくわかっておらず、その解明はより条件のよい接合に重要である。本研究では銅単結晶および多結晶試料の結晶方位、純度、変形の観点から接合実験を行い知見を得たので報告する。
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吉田 充宏, 加藤 宗彦, エリック ブラジウス, 浮田 芳昭, 満渕 邦彦, 内海 裕一
セッションID: L18
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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神経再生型電極は、切断された末梢神経系の軸索が再生する時に、その両端間に介入させた電極孔を軸索が通ることにより信号の入出力が可能となるデバイスであり、マイクロニューログラム法を応用した神経線維と機械側の信号ラインが結合した神経インターフェイスデバイスである。我々はSU-8を用いて、フレキシブルで多チャンネルに神経線維の活動電位を計測できる電極を作製した。
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松岡 史生, 堤 可奈子, 宗 知紀, 野上 大史, 岩崎 渉, 木村 義則, 尾上 篤, 伊藤 寿浩, 日暮 栄治, 澤田 廉士
セッションID: L19
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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鳥インフルエンザに感染した鶏はむくみや充血といった症状を示し、血管などの循環器系に障害があると考えられる。体温での発見が難しい鳥インフルエンザにとって血流測定が重要であると考えられる。そこで、MEMS技術を用いて市販の血流センサの400分の１の消費電力の超小型血流センサを開発した。この血流センサと加速度センサを鶏に装着し、血流量を長時間に渡って測定することに成功した。
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岩崎 渉, 野上 大史, 伊藤 宏記, 木村 義則, 尾上 篤, 日暮 栄治, 澤田 廉士
セッションID: L20
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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世界一小型で低消費電力の血流量センサの開発に成功した．その血流量センサを用いて飲酒時の耳朶血流の測定を行い，飲酒と耳朶血流の相関を調べた．また，従来のノイズに弱い光ファイバ式の装置では不可能だった挙手実験により，飲酒と挙手時指先血流との相関を調べた．その結果耳朶血流は酒に弱い被験者に関して良い相関が得られ，挙手実験に関しては酒に弱い被験者も強い被験者も良い相関が得られた．
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野上 大史, 岩崎 渉, 松岡 史生, 木村 義則, 尾上 篤, 竹内 聡, 城戸 真希子, 古江 増隆, 日暮 栄治, 澤田 廉士
セッションID: L21
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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持ち運び可能で，動きながらの測定も可能なレーザドップラ血流量センサを開発し，これを用いて脱水の検出を試みた．20代男性9人を対象に，脱水前の状態と脱水状態（およそ体重2%の水分損失）において，上肢挙手試験時の指尖血流変化を測定した．試験時のパラメータの平均血流値，脈波の振幅，血流の回復の勾配は脱水状態において，統計的に有意に低下した．この血流量センサが脱水を予防・早期発見できる可能性を示した．
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吉澤 徹
セッションID: L30
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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（第2報）オンマシン装置の試作と加工実験による評価
鈴木 伸哉, 神谷 和秀, 前田 幸男, 野村 俊
セッションID: L32
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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マイクロエンドミルの刃先と被削材の位置測定には，取り扱いが容易で安価な接触式が多く用いられているが，測定力により刃先の欠損が起こる場合がある．本研究では，インコヒーレント光による非接触測定方式により，それらを非接触で高精度に測定する方法を提案している．本報では，オンマシン測定装置を試作し，加工サンプルの作成を行い，±０．５μｍ以下の正確さで工具位置検出がされていることを確認した．
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花山 良平, 石井 勝弘
セッションID: L33
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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位相シフトシアリング干渉計による微小径レンズの測定における測定精度の評価について報告する。シアリング干渉法は外乱に対し頑強であり、また、原器が不要であるなどの特徴から実用的干渉計である。前報までにレンズからの反射光と透過光を同軸上で計測することが可能なレンズ評価装置の開発を行った。本報ではこの干渉計の測定精度の評価を行う。更に、測定誤差を補正し精度向上を図る試みについても報告する。
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投影パターン変調の導入
吉澤 徹, 若山 俊隆
セッションID: L34
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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現在までに，格子パターン投影法を用いた三次元形状測定法は高精度に三次元形状を測定できることから注目されている．しかしながら，残された課題の一つとして，装置の小型化が挙げられている．このような背景から，我々のグループは，半導体レーザとMEMSミラーおよびCCDカメラから構成された小型３Dカメラの開発を行っている．装置本体はデジタルカメラとほぼ同じサイズになった．今回は，投影されるパターンを高速に変調し，測定性能の向上を行った．
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金丸 晶浩, 三輪 基敦, 吉野 和芳, 金井 徳兼
セッションID: L36
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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プリント基板などのスルーホールの内壁にはミクロンサイズの凹凸ができて基板の精度に大きく影響することがあり，それらを簡易でインライン的に検査することが望まれている．物体にレーザ光が入射したときに陰影領域に生じる回折像は物体の3次元的な微細形状情報を含んでいることを実験的に見出した．本研究ではスルーホールの内壁に存在するミクロンサイズの凹凸部を検出する手法の精密化を進めその特徴と有効性を報告する．
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第7報 多連セル測定装置の検討
江並 和宏, 久米 達哉, 東 保男, 上野 健治
セッションID: L37
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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KEKで開発中の電子・陽電子加速管は，くびれを複数有する管状構造をもつ．その内部の大局的・局所的な三次元形状が性能に影響を及ぼすため，その測定が必要である．そこで，管内に挿入して直接内部の三次元形状測定をおこなう装置を開発する．前報まで，１セル加速空洞の内部三次元形状測定をおこなった．本報では，多連セル横型測定装置の検討をおこなう．
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位相シフト法の導入
若山 俊隆, 吉澤 徹
セッションID: L38
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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我々のグループはコーンミラーと半導体レーザからなるリングビーム素子を用いた内面形状測定法を研究している．本装置を用いれば円筒形試料の内面形状を非接触にかつ短時間のうちに測定することができる．第２報まではプローブ光となるリングビームには特別な変調を施さなかった．本講演では，位相シフト法を導入することで，測定性能の向上を行った．また，光沢面における感度の調査も行ったので，報告する．
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新井 泰彦, 要石 翔, 柏本 拓也, 横関 俊介
セッションID: L39
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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SEMを用いることによる三次元微小構造物の三次元形状計測の高精度化を目指した取り組みを報告する.現在までに，測定原理および一次元の計測結果を報告してきた．本報告では，二次元に拡張した計測技術を報告する．
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北川 克一, 坪井 辰彦, 鈴木 一嘉, 大槻 真左文
セッションID: L40
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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インクジェット方式による液晶カラーフィルタ製造工程において、各画素の膜厚は重要な管理項目である。我々は、既に報告した３波長ワンショット干渉法を改良して測定レンジを拡大し、カラーフィルタ基板の自動膜厚測定装置を開発した。キャリア縞を導入した１枚のカラー干渉画像から、数μmレンジの表面形状を一括測定する。そのため、振動の影響が少なく、高速・高精度な測定が可能になった。
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乾 明日香, 斉 威, 矢野川 果奈, 河尻 武士, 浦木 智央, 詫間 崇史, 藪下 真司, 原田 伯城, 石丸 伊知郎
セッションID: L44
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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我々は，計測面を合焦面に深さを限定して分光イメージングが可能である結像型２次元フーリエ分光法を提案している．しかし，計測対象が焦点深度よりも深い面粗さを有する粗面の場合，深さを限定しているが故に全面での分光イメージングができなかった．そこで本報告では，回折格子像を投影する変形照明法により，焦点深度よりも深い範囲で計測が可能であり，かつ，回折角に応じて計測深さを任意に決定できる手法を提案する．
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斉 威, 原田 伯城, 浦木 智央, 河尻 武士, 矢野川 果奈, 詫間 崇史, 藪下 真司, 乾 明日香, 石丸 伊知郎
セッションID: L45
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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我々は，提案する結像型２次元フーリエ分光法による小型分光イメージング装置の開発を目指している．提案手法は共通光路型であるため機械的振動にロバストであり，小型分光計であることから可搬性に優れている．そこで，非整備環境下での２次元分光イメージングへの適用を目指した，物体光束の波面揺らぎへのロバスト性の評価を行った．本報告では，波面揺らぎを時間的・空間的波面揺らぎに分類して評価した結果について述べる．
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溶存酸素に基づいた面内硬化形状制御
長野 敏宗, 滝川 淳平, 高橋 哲, 高増 潔
セッションID: L46
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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前報では面内硬化形状の制御に関して，急峻な局在領域に有するエバネッセント光用いた場合，溶存酸素が大きな影響を及ぼすことが分かった．本報ではその溶存酸素を制御することで面内硬化形状制御を行った．その結果，硬化時間の短縮や微小物の硬化といった現象が見られたので報告する．
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滝澤 光, 遠藤 達郎, 柳田 保子, 初澤 毅
セッションID: L47
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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本研究では、金を成膜したチップ上へ電子線描画によってレジストのナノ周期構造を形成し、その上に金を蒸着することでプラズモニッククリスタルを製作している。特定の微細パターンに起因する光の吸収が観察され、パターンサイズによってスペクトルのピーク位置が異なることを確認した。さらに、電界シミュレーションを用いることでセンサとして最適なパターン形状およびサイズを推定し、チップの評価を行った。
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インプロセス観察に基づく創製特性の実験的検討
松田 恵介, 吉越 久倫, 高橋 哲, 高増 潔
セッションID: L48
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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本研究は，3次元微細構造を金属で創製することを試みるものである．光触媒ナノ粒子と金属イオンを含む水溶液との混合液中において，レーザスポットを走査することにより，スポットの軌跡上に光触媒ナノ粒子と還元析出した金属粒子からなる構造物が創製される．加工ビーム特性を制御し，創製過程をインプロセス観察することで，創製特性についての実験的な検討を行ったので報告する．
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三浦 浩一, 安井 正樹, 山田 高三, 李 和樹
セッションID: L61
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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本研究は，微小領域における砥石の工作物除去機構を明確化させるために，砥粒一粒のみを突出させた砥石を用いて加工を行った．そして，切込み量を変化させた場合の研削抵抗を測定し，微小切込み領域における除去機構について検討した． その結果，切りくずの除去量と，法線抵抗と接線抵抗の比である研削二分力比には相関関係があり，研削二分力比は，切りくずを生成しない場合と比較して生成する際には低いことを明らかにした．
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嶋田 慶太, 立石 匠, 吉原 信人, 閻 紀旺, 厨川 常元
セッションID: L62
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
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超音波援用マイクロ研削による研削面創成のメカニズムについて統計的手法を用いて検討を行う．本報では超音波援用マイクロ研削を単純化した加工モデルを用い，統計的手法による研削面粗さの理論の提案と実験による検証を行った．その結果，提案した理論が砥石の条件に対する最適な加工パラメータを決定する指針となることが示された．
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藤井 秀幸, 大橋 一仁, 吉川 満雄, 窪田 真一郎, 塚本 真也
セッションID: L63
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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CFRPは優れた材料特性を有し，近年航空部材として急速に需要が高まっている．しかし，CFRPの研削に関する報告は少なくその加工機構は十分に解明されてはいない．そこで本研究は，CFRP平板の端面を平面研削する場合の研削雰囲気，砥石切込み量，加工面に対する炭素繊維の方向などの研削条件が，表面粗さ，研削抵抗，研削点温度，加工面性状などに及ぼす影響を検討することで，その加工機構の解明を試みる．
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八尾 泰弘, 不破 洋平, 笹原 弘之
セッションID: L65
発行日: 2010年
公開日: 2010/09/01
会議録・要旨集
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研削加工では一般的に研削液を加工点に供給しているが，3次元形状の工作物を加工しようとする際にノズルの制御が困難である．そこで本研究ではスピンドルスルーを用いて砥石内部から研削液を供給する機構を考案した．そしてNi基耐熱合金インコネルを研削し，赤外線放射温度計により加工点付近最高温度を測定しその有効性を示す．さらに，加工面性状および砥石表面を観察した結果を示す．
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