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切れ刃研磨による影響
平石 誠, 宮口 孝司, 斎藤 博, 石川 淳, 西口 隆
セッションID: H71
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
フリー
cBNはダイヤモンドに次ぐ硬さを有し、鉄系材料を高能率に切削することが可能であるが、通常の工具研削盤による切れ刃形成では切れ刃が粗くなり、精密な切削加工が困難である。鉄系材料にcBNによる超精密加工を適用するため、cBNエンドミルの切れ刃をダイヤモンドパウダーが埋め込まれた鋳鉄製研磨定盤で研磨することで切れ刃の粗さ改善を試み、同エンドミルの焼入れ鋼に対する切削実験を行った。
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今井 正敏, 新野 俊樹, 山形 豊
セッションID: H75
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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様々なMIDの加工法のなかで，樹脂成形品の金属薄膜をレーザによって選択的に除去することによって３次元回路を得る1ショットレーザ法は，高い微細性が得られる一方で，素地となる樹脂によってはダメージを生じてしまうことがある．そこで筆者らは，精密切削加工による微細回路パターンの形成を試みた．本報では，結晶性および非晶性の熱可塑性樹脂上の金属薄膜を小径エンドミルによって3条螺旋に加工した結果について報告する．
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池田 直人, 小林 義和, 白井 健二, 戸澤 幸一
セッションID: H76
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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本研究の目的は、高精度機能表面生成のための加工精度の評価にある。その基礎実験として、エンドミルで加工した金属表面の計測・評価を行った。すなわち被削材、Ｓ５０Ｃの表面をスクエアエンドミルによって平面加工し、それを走査型白色干渉計により表面の加工段差を計測した。同時にその原理を解明し、新たな補正手法を用いて加工を行なった。
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磯 峻介, 小林 義和, 白井 健二, 戸澤 幸一
セッションID: H77
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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本研究では、エンドミル加工における工具のたわみに着目し、その際に生じる加工誤差を補正することにより、表面テクスチャの精度向上を図ることを目的としている。まず、エンドミル加工時の工具たわみに起因する形状精度の変動量を予測した。それにより、工具保持具などのたわみを考慮して実際の加工に適用する方式を提案した。本報告においては、その概要と、表面テクスチャの精度を予測する手法と補正結果について述べる。
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東野 敢, 澁谷 秀雄
セッションID: H78
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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脆性材料に対する平滑度の高い表面形状を得る加工手法としては，研削・研磨が主流である．しかしながら，母性原理から精密かつ複雑な形状を作製するためには切削のように小径サイズの工具による加工が必要となる．現在ダイヤモンドバイトを用いた単結晶シリコンの切削によって，平滑度の高い表面形状が得られることが報告されている．本実験ではエンドミルによるシリコンウェハのクラックフリーな加工を実現することを目標とした．
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加工面の性状
佐藤 運海, 山崎 隆夫, 竹ノ内 敏一
セッションID: H79
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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本研究は，環境負荷が大きい切削油剤の替りに，電解還元水を使用する純チタン材の切削加工法の開発について述べる．まず，電解還元水および切削油剤（水溶性と不水溶性）を用いて，エンドミル加工を行った．つぎに，加工面のミクロ的な形状を測定し，更に，加工面の表面における化学組成について分析を行った．本研究により，表面清浄度が高く要求される純チタン材の切削加工に有効である結果を得た．
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力触覚提示への応用の試み
武村 剛志, 秋庭 啓次郎, 青柳 学, 高野 剛浩, 田村 英樹, 富川 義朗
セッションID: I06
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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積層圧電アクチュエータをV字型配置した超音波モータに，電気的に予圧力を変化できるクラッチ機能を備えた，力覚提示装置用超音波アクチュエータを用いたフォースフィードバックシステムを作製し，力触覚提示を試みた．予圧および超音波モータの出力を提示したい感触に合わせてPID制御を行った結果について報告する．硬い感触や粗い感触の提示には適しているが，柔らかい触感や反発力の提示には今後改善が必要であることがわかった．
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可変電圧における位相制御
京藤 康正
セッションID: I07
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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高出力のランジュバン振動子をパルス駆動により共振点制御する方式を開発した．前報において一定駆動電圧下において電流が不安定になる現象が指摘されたが，今回はその点を明らかにし解決した．次に駆動電圧を可変にする為に専用のスイッチング電源を試作し，指令値に追随して共振状態を保ちつつ振動速度を可変にすることが出来た．
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小谷 浩之, 高崎 正也, 水野 毅
セッションID: I08
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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これまでにガラス基板と弾性表面波振動子を用いた超音波モータが提案されており，最大速度約420 mm/sで駆動できることが報告されている．しかし，駆動を観測できるものの，その詳細な現象の把握には至っていない．任意形状のステータ振動子を持つモータに拡張するためは，その現象の把握が必要となる．本報では，駆動の詳細なメカニズムについて検証した．
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久禮 庄太, 真下 智昭, 遠山 茂樹
セッションID: I09
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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単一ステータによる回転と直動が可能な圧電アクチュエータ(TRモータ)の開発を進めている。ステータは立方体に貫通穴が開いた構造であり、この単純構造は加工性、低コスト性、小型化において優位な点となる。本研究では有限要素法による解析を用い、アクチュエータの性能向上に関するパラメータの特定、駆動の様子のシミュレーションを行った後、実際のアクチュエータの駆動実験を行った。
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青柳 学, 高野 剛浩, 田村 英樹, 富川 義朗
セッションID: I13
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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結合振動子を用いた超音波アクチュエータは単相駆動が可能であり，駆動周波数や電極の切り替えによって双方向動作が可能なものもある．進行波型やモード縮退型などに比べて形状の自由度が大きく，小型化や局所配置に適している．本報告では筆者らが考案した幾つかの結合振動モードを利用した超音波アクチュエータについて構成，動作原理および試作特性について報告する．
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加賀 智之, 戸邊 哲尋, 古川 勇二
セッションID: I14
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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従来開発してきたコイル型ステータを用いた超音波マイクロモータ(φ0.95mm)の更なる小型化を図るため,導波路の短縮化及び導波路なしの構造を提案し,実際に試作してその動作原理を明らかにした．前者は,導波路長を1.0～5.0mmに短縮し駆動源である超音波振動子を直接接着した導波路短縮型モータを,後者は,導波路を取り除き駆動源とステータ部を一体化した一体型モータとし,これらを試作し,性能評価を行った．
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吉田 暁史, 真下 智昭, 遠山 茂樹
セッションID: I15
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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単一のステータを用いて，回転と直動が可能な圧電アクチュエータ（TRモータ）の研究を行っている．ステータの中心には穴が開いており，その穴に通したシャフトから，回転と直動が得られる．本研究では，回転と直動の２つの動作に対しそれぞれ高精度な位置決め制御を行うことを目的とする．そのためのTRモータの位置決め制御システムを構築し，実際に印加電圧の位相差を制御することにより，位置決め制御実験を行った．
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保科 真彦, 真下 智昭, 遠山 茂樹
セッションID: I16
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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管内検査ロボットのカメラアクチュエータに求められる特性は省スペース性と多自由度である。この2つの特性を満たす小型の球面超音波モータを開発した。また、上記の特性を妨げない姿勢検出器を開発した。これを用い球面超音波モータの制御を行った。方向の制御には位相差を、速度の制御には周波数を用いることにより、精密な動作及び、原点復帰を可能とした。
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前田 拓, 小林 昭仁, 神田 岳文, 鈴森 康一, 竹腰 清乃理, 水野 敬
セッションID: I17
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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近年、医療機器や成分分析機器内などの強磁場を用いる環境下で使用可能なアクチュエータの需要が高まっている。本研究では、固体高分解能NMR分析の分析試料回転機構へ応用するために、このような強磁場環境下で高速回転が可能であり、分析に影響を与えない非磁性材料を用いた円筒型超音波モータを試作した。強磁場環境下での超音波モータの駆動特性を測定し、さらに強磁場環境下でNMRの成分分析信号の取得に成功した。
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駆動速度とプリロードの影響に関する検討
篠田 守雄, 社本 英二, 鈴木 教和, 塚本 剛, 山内 朗
セッションID: I19
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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圧電素子は高剛性、高分解能、高速応答性といった長所を持つため、位置決め装置のアクチュエータとして利用される。しかし、ヒステリシス、クリープといった非線形性を持つため位置決め性能が低下する。そこで本研究では、クリープの生じない変位と電圧の関係（非クリープ線）の発見に基づき、非線形性を補償するようにオープンループで位置決めを行う方法を開発している。本報では駆動速度、プリロードの影響について報告する。
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石切山 祐亮, 保坂 寛, 森田 剛
セッションID: I20
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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圧電アクチュエータ駆動時に，誘電率変化と圧電変位の間の線形性を利用してヒステリシス特性を補償するセルフセンシング位置制御を研究している．本研究では更なる制御精度の向上を目指し，誘電率検波用電圧の周波数を大きくすることで，検波感度及びセルフセンシング制御の位置決め精度の向上を実現した．また，本手法を適用することで圧電アクチュエータ特有の問題であるクリープ現象の解決を試みた．
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門田 洋一, 保坂 寛, 森田 剛
セッションID: I21
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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圧電アクチュエータに非対称な電圧を印加し分極反転させ，ある印加電圧の範囲において非対称な圧電歪みのヒステリシス（バタフライ曲線）を得た．この結果，圧電歪みは印加電圧0V において二つの異なる安定点を有し，製作したアクチュエータは印加電圧0V でも圧電歪みを維持する形状記憶圧電アクチュエータとして駆動できる．非対称パルス電圧での駆動を確認し，疲労特性の評価を行った．
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前田 全啓, 岩附 信行, 森川 広一
セッションID: I22
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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パイプモルフアクチュエータからなるマイクロ繊毛アクチュエータ群の同時大量生産を可能にするために，部分ニッケルめっきをほどこした純チタン細線に水熱合成法により表面にＰＺＴ圧電セラミクス薄膜を形成したマイクロ繊毛アクチュエータの静電植毛はんだ接合を試みた．部分ニッケルめっきの高密度化，はんだのぬれ性の改善およびクリームはんだスポットの作成に基づき，アクチュエータ群の試作実験を行った．
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山崎 多聞, 上野 敏幸, 樋口 俊郎
セッションID: I23
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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我々は磁歪効果を利用したマイクロアクチュエータの研究・開発に取り組んでいる．現在注目しているパーメンジュールは等方性磁歪，低電圧駆動，機械加工性といった特徴を有し，小型アクチュエータ化には魅力的な材料であると考えられる．本研究では将来的に等方性磁歪を生かし，多次元マイクロアクチュエータの開発を目標に掲げている．今回はパーメンジュールを小型リングの形状に切り出した後，磁気・磁歪特性を測定し評価した．
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２自由度ヒンジ機構を用いた動作
鳥井 昭宏, 坂野 正昭, 棚橋 智広, 植田 明照
セッションID: I31
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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本研究室では６個の圧電素子によりスチュワートプラットフォーム形状を構成する自走マイクロロボットを製作してきた。このロボットは６自由度の微動動作、３自由度の粗動自走動作が可能である。しかし、前報までに微動動作において鉛直方向の変位が低下する問題が発生し、これをロボット接合部の剛性によるものと考えてきた。本稿では２自由度ヒンジ機構を用いた動作を測定し、その有効性について検討する。
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LMS方式に基づくマイクロマニピュレーション
牧野 泰三, 古谷 克司
セッションID: I32
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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提案しているアザラシ型機構は、伸縮機構とオン・オフ制御の摩擦機構で構成される。この機構は制御する素子が少ないが小型で広範囲に移動可能である。本報では、平面内3自由度と垂直方向1自由度を持つアザラシ型機構を組み合わせてマイクロピンセットを用いたマイクロマニピュレータを構成した。ローカル・マシニング・ステーション方式に基づくマニピュレーションの動作特性を評価した結果を述べる。
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ワーク間フルクローズドループ制御
藤田 智哉, 松原 厚
セッションID: I33
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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0.1μmオーダの形状精度と仕上げ面粗さの実現を目指す高精密加工分野では，送り系の運動誤差に起因する工具-ワーク間の相対変位の加工面への転写が問題となっている．本研究では，3軸加工機の工具近傍に変位センサを取りつけ，ワーク側測定基準との間に生じる運動誤差を測定する．測定された変位をZ軸の微動機構に指令することでXY平面での工具-ワーク間の相対変位の制御を行う．この方法を用いて，真直度は約0.4μm/90mmとなった．
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櫻田 陽, 佐藤 雄大, 森 英季, 長縄 明大, 渋谷 嗣, 大日方 五郎
セッションID: I34
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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走査プローブ顕微鏡では、高速な動作とnmレベルの位置決め精度を有しながら同一の平面内を移動する機構が要求されている。従来、四方に弾性支持機構を配置し、同一平面内に直交配置された圧電素子を動作させた場合、X-Y平面に垂直なθ軸周りの回転力が発生し、技術課題となっていた。本報告では、ステージと各軸に配置された推力機構との間に平行リンクを介することで、回転動作を抑制する新たなアクチュエータを提案する。
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鷹股 淳, 槌谷 和義, 上辻 靖智
セッションID: I36
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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著者らは，流路部とポンプ部を一体化した簡易的な構造であり小型化が可能な流動機能を有する中空管マイクロポンプを提案している．水，および血液と同様の動粘度としたグリセリン水溶液を用いて，マイクロポンプの流動性を確認しているが，その向上が課題である．本研究では，マイクロポンプにおけるアクチュエータの寸法，流路となる管材質などの条件を変化させ流動性向上のため，設計条件の探索を行った．
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坂野 正昭, 鳥井 昭宏, 植田 明照
セッションID: I37
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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圧電素子の振動により摩擦力を制御する手法が軸受けなどに多く用いられている。本研究は、接地面の振動によって摩擦力を低下させた小型スライダを、重心移動を用いて移動させることを目的とする。提案する機構では、スライダに振動部と推進力の発生源を搭載しているため、同一作業空間上で複数のスライダの同時作業が可能といった利点がある。本稿では機構の概要を示し、その動作特性について検討する。
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構想と基礎実験
小野 政貴, 古谷 克司
セッションID: I38
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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超音波浮揚とたわみ進行波を利用した非接触搬送装置は、環境をクリーンに保てる、装置構成が単純であるなどの利点がある。本報では、超音波浮揚を利用した2次元搬送装置実現のための構想、およびその基礎実験について述べる。2次元搬送の基礎となる1次元の搬送装置、およびその結果を基にした2次元搬送装置の試作機においてたわみ進行波による搬送力の発生を確認した。
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ハンドリング装置の基礎特性試験
磯部 浩已, 久曽神 煌
セッションID: I39
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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近年、平面基板や半導体ウエハの非接触搬送技術の開発が望まれている。本研究では、空気静圧力により、基板を非接触で浮上させる。同時に、基板上面にわずかなすきまを介して配置された定在波振動するステータで非接触把持力を発生させることで、非接触ハンドリングが実現される。ハンドリング状態では、基板はハンドリング装置に追従して移動する。本報では、非接触ハンドリング装置の基礎特性を測定したので報告する。
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木村 文彦
セッションID: I62
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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資源の有効利用の視点で見ると、様々な変動要因のために生産システムにはまだ多くの無駄が潜在している。生産活動に関わる資源の流れをモデル化して資源の無駄を可視化し、生産システムの環境負荷を評価することは重要である。基本的な考え方や具体的な手法を述べる。
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機上計測を応用したツールパスの決定方法
小川 圭二, 廣垣 俊樹, 青山 栄一, 谷口 允昭, 小川 幸子
セッションID: I63
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では環境対応型材料として注目されている竹に着目し，その応用の一助とすべく，エンドミル加工による高品質な竹繊維の抽出を試みている．本報では天然材料であるがゆえに素材形状が不定の竹筒から高品質な竹繊維を高能率に抽出する手法を提案する．機上計測データをもとにエンドミル加工条件および加工パスを適正化することで，従来手法よりも形状精度の良い竹繊維を短時間に抽出できることを示す．
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外池 恵大, 井上 洋一郎, 福重 真一, 梅田 靖
セッションID: I64
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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製品のモジュール化はライフサイクル設計のための重要な要素設計技術である。本研究では、設計者が対象製品のライフサイクル・シナリオを記述し、そのシナリオと幾何情報を用いてモジュール構造を導出する手法を提案する。本手法は、モジュール構造の導出に加えて、導出したモジュール構造を資源効率の観点から評価し、製品構造の改善個所を提示することで、設計者のモジュール設計を支援する。
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LOW BI HONG, 木下 裕介, 福重 真一, 梅田 靖, 鈴木 敦, 川邊 隆男
セッションID: I65
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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製造業界ではチェックリストを用いた環境配慮設計が普及し始めているが、チェックリストの最大の問題点の一つは各項目が重み付けされていない点である。本研究は、チェックリストの各項目の重要度を合理的に導出することによって、設計対象となる製品の環境配慮設計の達成度を評価する手法を提案する。また、この手法をツールとして実装することにより、環境配慮設計の達成度を算出するための支援を行う。
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部品リユースを促進する要因
田中 淳, 平岡 弘之
セッションID: I67
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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本研究は，ネットワークエージェントの技術を用いて，製品のライフサイクル全般にわたって部品個々を管理する部品エージェントシステムの開発を目的としている．部品エージェントは部品個々に関する適切な保全行動をユーザに提案することでリユースを促進する．本報告では，部品エージェントの管理下での個々の部品の行動を見ることのできるライフサイクルシミュレータを開発したので，それについて述べる．
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ネットワークエージェントとRFIDを用いた実装の評価
須貝 利嗣, 平岡 弘之
セッションID: I68
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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持続可能な社会を構築するために，ネットワークエージェントとRFIDにより部品の再使用を促進する部品エージェントシステムを開発している．既往の研究では，ライフサイクルシミュレータの情報を利用した部品エージェントの試験環境を構築した．本報では，試験環境にRFID機能を追加し，RFIDタグの読み取りを行いながらシステムの運用試験を行った．その結果から，システムの開発課題について述べる．
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巽 智亮, 若松 栄史, 森永 英二, 妻屋 彰, 荒井 栄司
セッションID: I69
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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従来、住宅のメンテナンスは定期点検によって行われている。しかし、立地条件や居住者のライフスタイルが多様であることを考えると、画一的な定期点検では十分とは言えない。そこで本研究では，個別の住宅に対応したメンテナンス手法を提案する。住宅のトラブルは、事象の連鎖によって引き起こされるので、各住宅個別の因果関係を生成し、各種センサによって事象を検知し、トラブルを未然に防止するシステムを構築する。
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シナリオの基底を用いた論理構造の分析
木下 裕介, 山崎 泰寛, 水野 有智, 福重 真一, 梅田 靖
セッションID: I73
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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持続可能社会シナリオを合理的に理解するためには，その論理構造を明確にする必要がある．本報では，前報までで提案した手法に基づくシナリオの構造化によって，シナリオ文章における因果関係，参照関係などを明示化する．特に本報では，「シナリオの基底」を定義することにより，シナリオの結論を支持する根拠を明確化する．ケーススタディの結果，シナリオの結論の多くは因果関係よりも参照関係により導出されることがわかった．
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シミュレータのアーカイブを用いた動的シナリオの作成
山崎 泰寛, 水野 有智, 木下 祐介, 福重 真一, 梅田 靖
セッションID: I74
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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持続可能社会へ向けたシナリオの多くは，将来を予測するためにシミュレータが用いられているが，これらは一般的に再利用可能でない．本報では，既存のシミュレータをアーカイブ化し，シナリオとシミュレータの関係を記述することで，シナリオで設定された前提とシミュレーション結果の動的な変化を可能とする． その結果，既存シナリオを元に感度分析シナリオなどを新たに作成することが可能となった．
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増井 慶次郎, 尊田 孝史, 三島 望, 山中 敏正
セッションID: I75
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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本研究は、地球環境の持続可能性を分析する手法の開発を目的に、持続可能性に係わる事象が新聞記事等で共起している頻度を指標として関連性を定義している。本報では、この共起頻度を求める期間を変化させることで、持続可能性事象の関連性の時間的な推移を観察する方法について報告する。具体的には、予め抽出した事象に関して新聞記事データベース上で二項目検索を行い、期間ごとの共起頻度すなわち事象の関連性を調査した。
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伊藤 隆広, 平岡 弘之
セッションID: I76
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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本研究は，製品のライフサイクル全般にわたって部品個々を管理する部品エージェントシステムを開発している．部品エージェントは部品個々に関する適切な保全行動をユーザに提案することでリユースを促進する．本報告では，試作中のライフサイクルシミュレータのための部品個々の挙動を可視化するツールを開発したので，それについて述べる．
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佐藤 運海, 竹ノ内 敏一, 山崎 隆夫
セッションID: J01
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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本講演論文は，工業用純鉄材の表面に及ぼす希薄NaCl電解水の影響について述べる．浸漬エッチング実験により，純鉄に対する電解酸化水のエッチング作用が強く，電解還元水にはエッチング作用がないこと，電解酸化水のORP/pH値が大きくなるにつれ，エッチング速度が大きくなること明らかにした．試料片表面の分析により，電解水が純鉄表面の化学組成に悪影響を与えないことは明らかとなった．
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宮本 晋也, 柳 和久, 山口 晋均, 明田川 正人, 宮口 孝司, 吉田 一朗
セッションID: J02
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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近年では微細領域を観察できる顕微鏡が測定機として用いられ，これらの面領域表面性状測定機の特性を検証するため，面領域粗さ標準の必要性が議論されている．本研究では超精密加工機と電子線描画装置で製作された標準面をマスター標準面として，電鋳技術とナノインプリント技術を用いて複製し、測定標準面を製作した．また，電鋳とナノインプリントの条件の違いによる転写精度の比較検討も行った．
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金井 政樹, 平田 敦
セッションID: J03
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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イオン液体を添加した高分子材料の摺動特性について検討した．液体状のエポキシ樹脂やポリスチレンにイオン液体を混合，攪拌した後に硬化して作製した高分子材料は空気中，真空中ともに母材の高分子材料より低い摩擦係数を示すことを明らかにした．そして，このイオン液体添加高分子材料の構造を調べ，摺動特性との関係について考察した．
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相澤 孝一, 平田 敦
セッションID: J04
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
会議録・要旨集
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パルス状の電圧を与えることにより無コバルト炭化タングステン焼結体ターゲットを蒸発させるパルス真空アーク蒸着法により炭化タングステン膜を合成し，その機械的特性を評価した．R.F.マグネトロンスパッタ膜と比較した結果，硬度・摩耗率はそれぞれ，28GPa，2.7×10
-5mm
3/(N・m)と15GPa，4.6×10
-5mm
3/(N・m)を示し，パルス真空アーク蒸着法で合成した膜の方が硬く，耐摩耗性に優れていることを明らかにした．
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森嶋 昭文, 槌谷 和義, 上辻 靖智
セッションID: J06
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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著者らが提案している医療用バルブレスマイクロポンプは駆動源に円筒型バルクPZTを用いている．本ポンプの液送機能については液送実験で確認済みであるが，小型化および高効率化にはPZTの薄膜化および圧電特性の向上が課題として挙げられる．本研究ではAuが被覆された円筒基材上に，RFマグネトロンスパッタ法でPZT薄膜を形成し，結晶性，組成比，圧電性の評価を行った．
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佐藤 健大, 槌谷 和義
セッションID: J07
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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血液採取用マイクロポンプ・アクチュエータ用TiNi-SMA薄膜の創製を目的とし，バッファ層を用いることにより，良好な形状回復歪を示す，TiNi(110)単結晶薄膜の創製を行う．Nbをバッファ層とし，基板加熱にて成膜を行った場合，TiNi膜中へのNbの拡散が確認された．そこで今回，新たに，化学的に安定であるPtをバッファ層とし採用し，TiNi-SMA薄膜の創製を行い，結晶性・結合状態の評価を行った．
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中本 直希, 澤田 直樹, 堀 晃輔, 生津 資大, 井上 尚三
セッションID: J08
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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形状記憶合金薄膜アクチュエータは一般に通電加熱によって駆動する。しかし、通電加熱による形状記憶挙動の評価方法は標準化されていない。本研究では、一定引張応力負荷下で試料に通電加熱した際に生じる試料のひずみ変化を計測できる装置を開発し、スパッタ法によって作製したTi-Ni系形状記憶合金薄膜を評価した。その結果、Ms温度が高い試料や変態温度ヒステリシスの狭い試料ほど、応答性がよくなることが確認できた。
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山本 博之, 槌谷 和義, 上辻 靖智
セッションID: J09
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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著者らは，新規生体適合圧電候補材料MgSiO
3薄膜の圧電性向上を目的とし，薄膜結晶成長配向予測手法の提案を行い，優先配向面方位のみ成長予測が確認可能となった．本研究では，第一原理計算による計算条件を変更しMgSiO
3の安定状態の格子定数を再検討し，その結果からバッファ層によって歪みを与えられたMgSiO
3薄膜の各配向結晶のエネルギと実際の薄膜のX線ピーク強度と比較し，この手法の精度向上を検討した．
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膜構造の安定性評価
田渕 圭太, 尾内 健太郎, 大参 宏昌, 垣内 弘章, 安武 潔
セッションID: J13
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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我々は大気圧プラズマCVD法による微結晶Si（μc-Si）薄膜の低温・高速形成技術を開発している。ガス透過性の高い多孔質カーボン電極を用いることで、基板上に均一なプラズマを発生させることができるとともに、一様な膜厚の成膜が可能である。今回は、デバイスへの応用を念頭におき、種々の成膜パラメータと膜構造の安定性との相関について検討した。
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大西 崇之, 桐畑 豊, 大参 宏昌, 垣内 弘章, 安武 潔
セッションID: J14
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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低温でのSi選択エピタキシャル成長技術は、優れた電気特性を持つ新構造デバイスの開発やデバイスプロセスの自由度の拡大といった点から重要視されている。本研究では、大気圧プラズマCVD法において、原子状水素をエッチャントとして用いることにより、低温（300～500℃）でのSi選択エピタキシャル成長を実現したので報告する。
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朝倉 俊和, 神崎 昌郎
セッションID: J15
発行日: 2009年
公開日: 2009/08/25
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非晶質炭素膜を人工股関節に応用するためには，摩擦特性を維持したまま密着力の向上が必要である．密着力向上には非晶質炭素膜への金属添加が有効であると考え，添加材として生体親和性に優れ，活性なTiを用い，真空加熱処理を行った．Ti添加による非晶質炭素膜の機械的特性の向上は見られなかったが，真空加熱処理を施したTi添加非晶質炭素膜の密着力はTi含有量の増加により向上し，最大130％上昇した．
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