表面化学分析に関する国際標準化活動は，ISO/TC 201 (International Organization for Standardization/Technical Committee 201)にて推進されている．本稿では，このISO/TC 201における活動と，その国内対応委員会である一般社団法人表面化学分析技術国際標準化委員会 (JSCA: Japan National Committee for Standardization of Surface Chemical Analysis) における活動について，著者が最も関わっている電子分光関連を中心に概説する．また，現在，表面化学分析が直面しているreproducibility issueとmaterials informatics による材料開発の観点から，今後の標準化についての考えを述べる．

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Experimental Auger electron spectra (AES) of 2nd period elements and valence X-ray photoelectron spectra (VXPS) of four solid substances [LiF, graphite, GaN, SiO₂] are analyzed by density-functional theory (DFT) calculations using the model molecules of the unit cell. For the calculations, we use Gaussian09 program at B3LYP/6-31G (d, p) level to estimate VXPS, core-electron binding energies, and (Li ~ F)-KVV AES of the solid substances. In the AES simulations, we evaluate theoretical kinetic energies of the AES with our modified calculation method. The modified kinetic energies correspond to the final-state holes at the ground state in DFT calculations. Simulated KVV AES of the (Li ~ O) atoms with the maximum kinetic energies of the atoms agree considerably well to the experimental AES results. Calculated VXPS of the four substances are also in good accordance with the experimental ones. The kinetic energy formula of AES at the ground state appears to work better, despite its great simplicity.

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次世代電池として注目されている全固体電池は，固体電解質と正極界面で形成される内部抵抗の低減が実用化に向けて大きな課題となっている．本研究では，走査型オージェ電子分光分析装置（SAM: Scanning Auger Microprobe）が搭載されたマルチテクニックXPS装置を用いて，固体電解質/正極断面の観察を試みた．一般に固体電解質材料は電子線によるダメージが顕著である．そこでまず，LiPON表面への電子線ダメージを定量的に評価し，AES化学状態マッピングのための励起電子線の条件を最適化した．さらに，最適化した条件を用いる事で，LiPON/LiCoO₂断面のLi化学状態マッピングの評価も可能である事を示した．

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近年の集束イオンビーム技術の向上と高感度・表面敏感である特徴を活かして，鉄鋼分野においても飛行時間型二次イオン質量分析法が積極的に利用されている．応用例として，他の分析手法では検出が難しい微量Bを添加した鋼を分析し，結晶粒界に沿ってBが分布している様子を捉えた結果や，摺動試験後の試験片表面で摺動部から摺動皮膜を検出した結果を中心に報告する．

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