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山崎 智史, 古城 直道, 廣岡 大祐, 山口 智実, 松田 茂敬, 岩佐 康弘, 寺内 俊太郎
セッションID: E36
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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筆者らはこれまでに，浸炭処理を施した鋼のダイヤモンド切削において，α相に析出した炭化物が工具摩耗抑制に及ぼす影響を明らかにしてきた．本報では，EDS分析を用いて調質鋼および浸炭鋼を観察し，各炭化物の詳細な分布画像を得た．また，得られた画像を解析することで各炭化物の割合，寸法，形状を定量的に分析することが可能となり，それらが工具摩耗の抑制に関係していることが明らかになったので報告する．
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杉谷 泰希, 古城 直道, 廣岡 大祐, 山口 智実
セッションID: E37
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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近年，超精密加工において加工形状の複雑化，微細化，大面積化に伴い，数日間に及ぶ長時間加工が必要となっている．そこで，本研究では超精密切削の高精度化を目標とし，長時間加工で問題となる熱変位量を静電容量型変位計を用いて測定し，補正した．その結果，1日あたり最大の熱変位量を±0.1μm以下に抑えることが可能であった．また，前加工による加工変質層深さの影響についても調査したので報告する．
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松川 和平, 諏訪部 仁, 石川 憲一
セッションID: E44
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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次世代のパワーデバイスの基板材料として期待されているSiCは固定砥粒方式のマルチワイヤソーに揺動振動を付加してウェハ状に切断加工されている．本研究では，SiCの高精度加工を目指して，ダイヤモンドスラリーと樹脂コーティングワイヤを工具とした樹脂コーティングワイヤ方式のマルチワイヤソーに揺動振動を付加して延性モードスライシング加工を行った．そして，切断条件が加工特性に与える影響について検討した結果を述べる．
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山田 大介, 諏訪部 仁, 石川 憲一
セッションID: E45
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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別報において，樹脂コーティングワイヤとダイヤモンドスラリーを用いたマルチワイヤソースライシングでシリコンをスライシングすると，その加工面は鏡面が得られることが報告されている．しかし，切断中に加工特性の変化を生じると，加工面はその影響を強く受ける．そこで，本報告ではスラリー供給方法が加工面性状へ与える影響や工作物を固定する際に用いる接着剤が加工面性状に与える影響について評価した結果を報告する．
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林 敬徳, 坂本 智, 八高 隆雄, 近藤 康雄, 山口 顕司
セッションID: E46
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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本研究ではカーフロスの大幅な低減を目指し，極細線ワイヤ工具の加工特性について検討している．本報では，タングステンワイヤを工具として用いて微小溝加工を行った．極細線ワイヤ工具に適する加工条件・切断工具としての可能性について検討した結果を報告する．
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MOHDISA MOHDAIZAT, 張 宇, 谷 泰弘
セッションID: E47
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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太陽電池の基板や半導体の素材であるシリコンインゴットをブロック状に切断するためにダイヤモンドバンドソーがよく使用されている。従来のダイヤモンドバンドソーブレードは電着法で製造されるが、製造時間が長い、製造環境も悪い、砥粒の保持力が低いという問題点がある。本研究では、高温ろう材を用いてろう付法により高速に高性能のバンドソーブレードの製造技術を開発したので、報告する。
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定速送りと定負荷送りの比較
近藤 康雄, 土井 勇輝, 足立 貴史, 坂本 智, 山口 顕司, 藤田 剛
セッションID: E48
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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CFRP材の新たな加工法として，定負荷送りによる加工法を提案する．切れ刃の入出部での接触部を線から点に変更したPoint Contact法と切れた分だけ被削材（切れ刃）を自送させて切断する定負荷送りを組み合わせることによって，剛性が小さいダイヤモンドブレードソーによっても高精度のCFRP切断が可能となる．
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花田 隆一郎, 日暮 栄治, 須賀 唯知
セッションID: E61
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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本研究ではp-Geウエハとn
+-Siウエハを表面活性化接合（SAB），プラズマ活性化接合（PAB）で接合し，その接合界面の電気特性を評価した．SAB接合サンプルは抵抗値0.2 Ωのオーミック特性が得られ，PABでは他の論文にも報告されている整流特性が得られた．抵抗値0.2 ΩとCTLM 法による電極/半導体間の接触抵抗の計算値から，SAB接合サンプルの接合界面抵抗は0.004～0.016 Ωであり，SABにより電気的障壁の小さい低抵抗接合界面が得られていることが分かった．
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生津 資大, 小坂 博淳, 藤戸 稔久, 井上 敬太, 井上 尚三
セッションID: E62
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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軽金属と遷移金属をナノの厚みで積層堆積させた多層膜は，外部刺激導入により化合物生成に伴う発熱反応を生じる．成膜条件で発熱性能を制御でき，ある条件では0.1秒に1000°C昇温可能である．このような自己伝播発熱機能をナノ～マイクロサイズの微粒子に付与することができれば，アプリケーションの広がりが期待できる．本講演では，著者らがこれまで開発してきた2種類のAl/Ni発熱微粒子製造技術を紹介するとともに，作製した微粒子の発熱性能について述べる．
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藤井 達也, 小杉 幸次郎, 米谷 玲皇, 内藤 宗幸, 井上 尚三, 生津 資大
セッションID: E63
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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本研究では，NEMSを構成するナノスケール構造体の機械特性定量評価を目的として，SEM内で引張試験を実施する技術を開発した．FIB加工と高真空アニールにより作製したSiナノワイヤの引張試験を行い，FIBダメージとアニールが機械物性に及ぼす影響を評価した．また，アニール前後の試験片のTEM観察を行い，アニールによるダメージ層の再結晶化やGaナノクラスターの形成から排出に至るまでのメカニズムを考察した．
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森川 善富
セッションID: E64
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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血液の流れは心臓の拍動により時間的に変化する波の形（脈波）を示します。この脈波計測は安静時における測定を基本としているため主として指先で行われ、動きを伴う場面での計測には不向きでした。我々は、計測部位を指先から耳内へ変えて、動作を妨げないウエアラブル脈波計を開発してきました。今回、本計測器を用いて行った計測結果を報告します。
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坂田 稔
セッションID: E66
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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近年ではラップトップＰＣ、ゲーム、携帯電話、デジタルカメラ等の様々な情報端末機器に加速度センサ、ジャイロセンサ、磁気センサ、圧力センサ等、多種のＭＥＭＳセンサが大量に搭載されてきており、今後もさらに市場が拡大すると予測されている。本稿ではまずＭＥＭＳセンサの概要について述べ、その後ＳＴマイクロエレクトロニクス社での実例を元に民生市場におけるＭＥＭＳセンサ商業化のキーポイントについて述べる。
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海法 克享, 高橋 英俊, 富松 大, 小林 健, 松本 潔, 下山 勲, 伊藤 寿浩, 前田 龍太郎
セッションID: E67
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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本研究では，圧力変動によって駆動するスイッチを付与したイベントドリブン型塵埃量センサについて報告する。塵埃量変動は人の動きに大きく依存するため、人の動きに関連した圧力変化をトリガーとすることで、消費電力の大きい塵埃量センサの効率の良い駆動が可能となる。試作した塵埃量センサは平均消費電力が約0.1mW（1sec動作、1024secスリープで換算）となり、太陽電池のような自立電源での駆動が可能であることを示した。
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芹澤 弘一, 桑原 宏超, 魯 健, 張 嵐, 早瀬 仁則
セッションID: E68
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ユビキタス社会の実現のため、センサネットワークは極めて重要な技術である。センサネットワークを構築するセンサノードの微小化により、製品コストや消費電力を抑えるだけでなく、多様な情報収集やこれまで取得の難しかった情報の収集が可能となる。本研究では、センサノードのプログラミングと電源・アンテナを除いた回路図設計の観点から低消費電力の微小センサノードを開発し、評価した。
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山下 崇博, 小林 健, 伊藤 寿浩
セッションID: E69
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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現在，高度経済成長期に整備されたインフラの損傷や老朽化に伴う事故が多発している。そこで，本研究ではインフラ構造物及びその構成部材の状態を常時・継続的・網羅的に把握するセンサシートを開発する。シリコンウェハ上に大きさ1mm角，厚さ5μm程度のひずみゲージチップを作製し，スタンピング転写によりPET基材上にアレイ状に実装することで，橋梁などに貼り付け可能な大面積フレキシブルセンサシートを実現する。
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鈴木 健太, 尹 成圓, 廣島 洋, 高木 秀樹
セッションID: E70
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ポリイミドなどの耐熱性樹脂のナノパターンニング技術の開発は、光・バイオデバイスの分野で期待されている。本研究では感光性・可溶性ブロック共重合ポリイミド（SBC-PI）を用いたナノインプリント法によるサブミクロンパターンの成型評価を行った。SBC-PIに感光剤を25wt%含有させることにより、高精度に最小117 nm幅のパターンやアスペクト比6.5のサブミクロンパターンを形成することに成功した。
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山形 智, 青山 英樹, 佐野 記章
セッションID: F01
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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曲面加工は一般的にボールエンドミルを用いて行われるが，加工面に削り残しであるカスプが形成され，それを除去する仕上げ作業が必要となる．これは精度を低下させるとともに，多くの時間を要する．本研究では，カスプを低減させるために，5軸制御によるフラットエンドミルまたはラジアスエンドミルを用いた曲面の高能率加工方法を提案する．
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桜井 一範, 森重 功一
セッションID: F02
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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これまでの研究で，多軸制御工作機械を直感的に操作するために，仮想空間内の物体の操作が可能な力覚呈示装置と工作機械を同期させるシステムを提案してきた．本研究では，加工中に動的変化するワーク未切削部分とシャンク・ホルダの干渉および目標形状への過切削に対して，物理演算エンジンを用いて防止する機能を実装した．この機能により，作業者が干渉や過切削を意識することなく工具経路を生成できることが確認できた．
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佐々木 駿也, 森重 功一
セッションID: F03
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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これまでの研究では，多軸制御工作機械を直感的に操作するために，仮想空間内で物体の操作が可能な力覚呈示装置と工作機械を同期させ，仮想空間の工具を操作することによって工具経路を呈示するシステムを提案してきた．本研究では，手ぶれなどの作業者が意図しない動作の影響を低減することを目的とし，工具経路を直線および曲線で近似する機能を追加した．この機能により，加工性状が向上することを確認した．
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荒井 航, 田中 文基, 小野里 雅彦
セッションID: F05
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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加工シミュレーションでは，加工形状導出の際，工具掃引線の集合である工具掃引体を求める必要がある．工具姿勢が連続的に変化する同時5軸加工や誤差特性を持つ工作機械による加工では，工具掃引線が曲線となるため算出が難しく，従来は直線として扱われてきたことが多い．本研究では，幾何学的誤差を持つ5軸工作機械による加工を対象に，工具掃引条件をもとに工具掃引点列，工具掃引曲線，工具掃引体の導出を行なう．
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上野 瑛, 中本 圭一
セッションID: F06
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ミリング機能とターニング機能を合わせもつ複合加工機ではリードタイムの短縮が期待できるが，一方でそのNCデータの作成には時間と経験を要する．そこで，3次元CADで作成された製品形状と素材形状の差分領域を除去領域として抽出し，工程設計の端緒となる形状特徴を認識するアルゴリズムと，加工方法を一意に決定することなく，加工機や保有工具に合わせた工程設計を実現できる加工フィーチャを提案する．
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鈴木 尊丸, 丸山 優馬, 廣垣 俊樹, 青山 栄一, 小川 圭二
セッションID: F07
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
フリー
３軸工作機では曲面形状の成形で面品質の一定化が難しい．本研究では５軸制御工作機械の直進軸と旋回軸を同期させ切削点で送り速度ベクトルを一定にする手法を用いて加工面品質向上を目指し，その際の各軸のサーボ特性が形状に与える影響を考慮した，試行錯誤によらない更なる加工形状精度の向上方法の提案を目的とする．その結果，送り駆動系モデルより導いた各軸に最適な先行フィードフォワードをかける手法は有効だとわかった．
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実用的三次元計測方法の検討
泉 和希, 矢澤 孝哲, 大坪 樹, 山田 玲子, 前田 幸男, 藤井 啓太, 中提 俊太, 扇谷 保彦, 小島 龍広
セッションID: F08
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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レーザ変位計による形状計測では,測定面が傾くことで,スポットからの反射光に悪影響を及ぼす.著者らは,この影響を低減するために,設計値をもとに,測定物の法線方向から測定する,法線一致式測定法を提案している.しかし,直線部と曲率部を持つ形状では,理想形状に対し形状誤差がある場合,曲率部の評価長さが変化してしまう.そこで本研究では,センサ出力から実形状を算出する方法を検討,評価した結果を報告する.
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吉岡 勇人
セッションID: F13
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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機械加工に対して更なる高精度化が要求され，ナノメートルオーダの加工の実現が必要となっている．しかしこのような高精度な加工を実現するためには，システムの各部において誤差要因となり得る因子について考慮する必要がある．本稿では，著者らがこれまで取り組んできた研究を例に，誤差要因の排除という観点から，超精密精密位置決めテーブルの開発，および工具―工作物間距離のモニタリングについて紹介する．
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津村 拓実, 澤野 宏, 吉岡 勇人, 新野 秀憲
セッションID: F15
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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高速回転に広く用いられる空気静圧軸受は低消費動力であるものの剛性が低く，高剛性化が求められている．本研究では，軸受すきま内に油膜を形成し絞り効果を高めることで，高い剛性が得られる気液二層潤滑静圧軸受に着目する．しかし，この軸受は未だ詳細な特性が不明であることから，実際に軸受を構築し様々な条件下での軸受特性の変化を調べた．その結果，消費動力の増加を抑えつつ軸受剛性の向上が可能であることを確認した．
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酒井 康徳, 吉岡 勇人, 朱 疆, 田中 智久, 齋藤 義夫
セッションID: F16
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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転がり案内で生じる摩擦は弾性挙動を示す．本研究では，複素ばねを用いた摩擦モデルを構築し，それを摩擦の弾性挙動の影響を考慮した転がり案内の送り方向への動特性解析に応用する．本モデルを用いれば，摩擦の弾性挙動を考慮した送り方向の周波数応答を，過渡応答を計算することなく短時間で解析できる．また，摩擦の非線形弾性挙動によって生じる送り方向の剛性および減衰を定量化し，摩擦特性と送り方向の剛性および減衰との関係を明らかにした．
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拡散性に関する基礎実験
大関 浩, 八木澤 宗利, 川崎 祐樹
セッションID: F18
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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量産加工工場では多くの加工機械が使用されている．加工機械の多くはX-Y-Zの3軸のすべり案内面を有しており，そのすべり面は潤滑油によって潤滑されている．しかし，それらのほとんどは使い捨てであるために非常の多くの潤滑油が使用されていると共に廃棄されている．加工機械で使用している潤滑油がグリースに変更されれば,給油間隔が長くなるのでその使用量は削減される．本論文では，案内面に供給したグリースの拡散性に関して，ガラス板と静止した摺動ブロックを使用して評価している．その結果，スクレーピングの条件によってグリースの拡散性を変えることができることを示した．
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摺動性に関する基礎実験
大関 浩, 川崎 祐樹, 八木澤 宗利
セッションID: F19
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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量産加工工場では多くの加工機械が使用されている．加工機械の多くはX-Y-Zの3軸のすべり案内面を有しており，そのすべり面は潤滑油によって潤滑されている．しかし，それらのほとんどは使い捨てであるために非常の多くの潤滑油が使用されていると共に廃棄されている．加工機械で使用している潤滑油がグリースに変更されれば,給油間隔が長くなるのでその使用量は削減される．本論文では，案内面に供給したグリースの付着性能に関して，ガラス板と移動可能な摺動ブロックを使用して評価している．その結果，グリースは往復摺動によって摺動面から排出されるが，排出性はkisageの深さそして接触面積の割合によって変えることができることを示した．
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佐藤 融, 宮下 朋之
セッションID: F20
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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部品間の接触部への粘弾性体の挿入はプラント配管や自動車などの輸送機器といった多くの製品に行われている．本研究ではフィルム・グリス挿入に対してそれらの最適配置の検討を目指して熱・振動特性の評価を行った．モデルとして立方モデルを扱い，接触変化状況やボルト締結による影響を実験・解析により取得し，温度が増大する条件を提示した．また，振動に関して振動応答を低減するフィルム・グリス配置を示した．
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橋本 侑典, 平山 朋子, 松岡 敬, 芝田 駿
セッションID: F21
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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潤滑油の更なる高機能化のために，境界潤滑膜の構造変化メカニズムを把握することが求められている．そこで本研究は独自に設計・開発したミクロンすきまで作動する平板対向型レオメータを用いて，境界潤滑膜のレオロジー特性評価を目的とした．開発したレオメータで油性剤から成る境界潤滑層のレオロジー特性を評価したところ，特に高速度域で基油のみの場合よりも高い粘性を発現することが分かった．
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透明な樹脂材料同士の接触面の直接観察による接触面内変形分布の可視化
前川 覚, 糸魚川 文広, 中村 隆
セッションID: F23
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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接触面の接触剛性は，システムの支持剛性や位置決め精度に大きく影響することから，機械部品の性能を決定する重要な因子のひとつである．本研究では，透明な樹脂材料同士の接触面をモデル接触面として用いて，接線力を加えた場合の接触面内変形分布の可視化を行った．さらに，得られた変形分布から接触面内応力分布を算出するとともに，粗さを有する接触面の接線方向接触剛性をもとめた．
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河野 大輔, 松原 厚
セッションID: F24
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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工作機械において，加工反力に対する主軸－テーブル間相対変位の動的応答（工作機械のコンプライアンス）は加工能率に大きく影響する．本研究では，工作機械のコンプライアンスを３次元的に評価する方法を研究する．本報告では，直交３軸の送りを持つ実験機において，作業領域内の位置や加振方向の違いによって，工作機械のコンプライアンスがどのように変化するかを調査した．
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長谷川 裕亮, 河野 大輔, 山路 伊和夫, 松原 厚
セッションID: F25
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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本研究では金属とコンクリート間の接触部の減衰係数を評価した．減衰係数は，著者らが開発した測定装置を用いて得られる接触部の変位と力の関係から求めた．まず，接触部に負荷する平行方向の動荷重の周波数を変化させ減衰係数の周波数依存性を調べた．次に，接触部に垂直方向に負荷する予圧を変化させ，減衰係数の予圧依存性を調べた．
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斉藤 明, 社本 英二
セッションID: F31
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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本研究では，突出しの長い不等ピッチエンドミルを送り方向に支持し，深溝加工時のびびり振動を抑制する新たな手法を提案する．薄く高いリブを持った部品の大量生産には，狭く深い溝を持った金型が必要となるが，その加工では再生型とモードカップリング型のびびり振動が問題となる．本稿では，不等ピッチ工具による再生型の抑制とエンドミルの支持によるモードカップリング型の抑制の組合せの有用性を解析及び実験的に検証する．
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切削条件・加工パスに基づく切削除去量推定手法とびびり判別手法の検討
西岡 健人, 是澤 宏之, 楢原 弘之
セッションID: F32
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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近年，製造における納期の短期化などによる切削加工の高速化が原因で，びびりが発生しやすくなるという問題がある．びびりの発生は加工精度低下の大きな要因となっている．本研究の最終目的は，MTシステムに基づくびびりを予測・抑制する手法の検討を行い，NC加工の高精度化を図ることである．本稿では，RT法に基づくびびり判別手法の検討と，切削条件・加工パスから切削除去量を推定する手法の検討を行った．
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山下 竜弥, 芝田 亮介, 岸本 昌大, 廣垣 俊樹, 青山 栄一, 小川 圭二
セッションID: F33
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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近年，ITの発展により電子機器の軽薄短小化，多機能化が進められ，その主要部品であるプリント基板の小型化，回路の高密度化が要求されている．その実現のためには，加工穴の小径化，高密度化が必要である．そこで本報では，高速かつ精密な加工を行うため，制振機構を有する工作機械のボールねじZ軸のモデル化を行い，シミュレーション結果と実測結果の比較から工作機械における振動特性を調査し，最適な加工条件の探索を行った．
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佐藤 航, 藤本 雄奨, 廣垣 俊樹, 青山 栄一, 小川 圭二
セッションID: F34
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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製造業において環境を配慮した設計，製造が重要視されており，製品製造時と運用時のエネルギ消費を削減することが効果的であると言われている．本工作機械はサーボオフにすることが可能なアイドリングストップ機能が付属している．しかし，この機能は消費電力を削減可能にするが振動現象が生じる欠点がある．振動現象のメカニズムの解明を目的とし研究を行った結果，ボールねじの剛性値に関与していると考えられる．
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高口 順一, 柳沢 将人, 松田 洋栄, 高桑 俊也
セッションID: F36
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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加工軌跡に本来の形状には存在しない蛇行や折れなどのガタつきが含まれていると，加工品質が悪くなり，また，曲面形状の加工プログラムに不要に過剰な指令点が含まれていると，加工時間が長くなる．CAMで作成したプログラムをそのまま実行するのではなく，プログラム指令点に対して円滑化および間隔適正化を予め実行することでこれらの課題を解決し，加工時間を短縮し，加工品質を向上させる工作機械について報告する．
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北 進之介, 森本 喜隆, 高杉 敬吾
セッションID: F37
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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複雑な形状を持つ機械系部品が多く存在し，高精度に加工することが困難な形状のものが多くみられる．現状の機械加工後の部品形状には3DCAD・CAMによるモデルデータ作成には誤差が含まれている．本研究では軸対称で複雑な曲面形状を高精度に加工することを目的とし，3DCAD・CAMによる補間機能により発生した誤差やCAD・CAM間のデータ受け渡しにより誤差を回避し，高精度な曲面生成と3DCADの解析機能を用いた加工点算出方法の確立を行う．
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第2報：切削力の予測結果に基づく適応制御
長谷川 輝人, 佐藤 隆太, 白瀬 敬一
セッションID: F38
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
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加工形状の変化が複雑で切れ刃と被削材の接触状況が非一様になっても切削力が推定できるように、被削材をボクセルモデルで表現して実切込み厚さを離散的に計算する切削力シミュレータを開発した。この切削力シミュレータを加工中に工具経路を生成することができる仮想倣い加工システムに組み込み、切削力の予測結果に基づく適応制御手法を考案した。加工中の切削力を推定しながら、切削力に応じて切削条件を修正することができる。
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摩擦パラメータの感度解析
藤田 智哉
セッションID: F43
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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NC工作機械の運動精度向上のためには、送り系の摩擦低減が必要である。本研究では、モデルを用いて送り系の摩擦補正を行う。第３報では、実用的なコントローラで摩擦補正を行うため、モデルの簡略化とパラメータの決定方式について検討を行った。運動方向反転時に摩擦特性に与える影響が大きい2つの状態量（反転位置からの変位量・テーブル速度）を考慮した簡易な摩擦モデルを用いた場合の補正の効果について報告する。
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成松 昌洋, 稲垣 浩, 石原 洋成
セッションID: F44
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ミーリング工具による難削材加工では、加工コスト低減のためにインサート形の工具を使用するが、工具本体や切れ刃加工精度の影響で刃振れが生じる。このため、チッピングが生じて工具寿命が短くなるといった問題があった。この対策として、加工進行方向と逆方向に刃振れ量だけ送り軸を制御することでその影響を抑制するといった制御方法を開発した。本制御方法の効果を紹介する。
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山本 通
セッションID: F45
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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５軸マシニングセンタの実加工試験として広く使われている円錐台加工は専用の治具が必要である．また加工精度が悪かった場合，何がその原因なのか分析することが難しい．そこで，本研究では，工作機械ユーザが特別な治具を製作しなくても容易に行え，かつ不具合原因の特定が比較的容易な実加工試験を提案する．また提案した実加工試験の結果も紹介し，その有効性を示す．
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田中 浩, 川瀬 惠嗣, 久住 孝幸, 赤上 陽一
セッションID: F62
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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著者らは，これまでスローアウエイ工具の刃先を電界砥粒制御研磨により仕上げると，刃先の摩耗量が減少し，工具寿命を延ばせることを示してきた．現在は，電界砥粒制御により研磨した刃先と通常の研磨刃先刃先との特性の違いを明確化中である．今回，ＣＢＮ工具を用いた時の研磨後の刃先状態を比較検討した．
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河口 健太郎, 樋口 祐次, 尾澤 伸樹, 久保 百司
セッションID: F63
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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活性種としてOHラジカルを用いたSiO
2砥粒によるGaN基板研磨プロセスについて、計算化学手法を用いた解析を行った。その結果、OHラジカルとGaN基板との化学反応により吸着O原子が生成し、摩擦面でO原子が基板内へと押し込まれることでGa-N結合を解離するメカニズムを明らかにした。さらに、摩擦面において基板表面Ga原子と砥粒表面Si原子間でGa-O-Si結合を生成し、砥粒の移動によりGa原子が削り取られる研磨メカニズムを明らかにした。
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山田 英明
セッションID: F64
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ダイヤモンドはSiやSiC、GaNと比べて物性値が優れており、次世代のパワー半導体のみならず、様々な機械的・熱的・光学的用途に期待されている。これまでの合成技術開発の結果、インチサイズのウェハが入手可能となってきた。加工技術については、未だ機械的研磨が一般的に用いられるが、近年、光・プラズマ支援研磨による平坦化・精密研磨が実証されている。講演では、ダイヤモンド合成技術開発の背景から現状の課題までを紹介する。
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久住 孝幸, 赤上 陽一, 松下 大作, 佐々木 健二, 照井 伸太朗
セッションID: F67
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ガラスの研磨において必要不可欠な酸化セリウム砥粒は、研磨屑であるSi水和物の付着によって研磨能力が劣化する。このSi水和物を除去する新たな再生技術について検討し、それを実現する装置を開発した。再生した酸化セリウム砥粒を用いた研磨実験を実施した結果、傷の発生を抑え、研磨効率をもとの砥粒の97％まで回復させることに成功した。
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尾澤 伸樹, 周 康, 河口 健太郎, 樋口 祐次, 久保 百司
セッションID: F68
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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ガラス研磨後に劣化したセリア砥粒の研磨性能は、研磨スラリーを撹拌することで再生することが実験的にわかっている。そこで、研磨性能の再生メカニズムを明らかにするため、分子動力学法を用いて、Si水和物が付着したCeO
2砥粒表面の衝突シミュレーションを行った。その結果、水との化学反応によりSi水和物と砥粒間のCe-O結合が解離することで、Si水和物が砥粒から脱離するプロセスを明らかにした。
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須田 聖一, 杉本 拓, 増田 敦
セッションID: F69
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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酸化セリウム系研磨材では，研磨過程において生じるCe4+/Ce3+の酸化還元反応が，ガラス表面を軟化させることが知られている。しかし，スラリーを介してどのように電子が移動しているのかなどが分かっていない。そこで，研磨過程における研磨材とガラスとの界面について，界面抵抗を評価することによって検討した。その結果，研磨の過程で界面抵抗が変化し，イオンを通じて電荷移動が進んでいることが示唆された。
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川原 浩一, 鈴木 俊正, 須田 聖一
セッションID: F70
発行日: 2015/03/01
公開日: 2015/09/01
会議録・要旨集
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サファイアの最終研磨には、一般にコロイダルシリカスラリーによるCMPが用いられている。本研究では、コロイダルシリカスラリーを用いてサファイアCMPを行った場合の、研磨特性に及ぼす温度の影響について検討した。その結果、検討を行った温度範囲においては、表面性状には大きな差違は認められない一方で、研磨速度は温度が高くなるほど高い値を示すことが分かった。この結果は、コロイダルシリカスラリーによるサファイアCMPにおいて、温度が高くなるほど化学作用性が活性化されていることを示唆している。
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