-
洞出 光洋, 奥村 龍成, 村上 修一, 才木 常正
p.
286-287
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究はマイクロ流体デバイスを用いた成分分離に関する研究です.マイクロ流体デバイスの設計は非常にシンプルで,アレイ状のチャンバと,チャンバ同士をつなぐ流路のみで構成されています.今回は粒子の挙動確認のために,押し込み量が制御できるシリンジポンプと, 高速度カメラを用いて様々な条件下での粒子挙動を解析しました.その結果,粒子径の小さい粒子を速く抽出し,粒子径の大きい粒子を遅く抽出することができました.
抄録全体を表示
-
清水 一希, 齋藤 亮吾, 飯田 玲史, 夏原 大悟, 岡本 俊哉, 永井 萌土, 柴田 隆行
p.
288-289
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では、複数種類の標的遺伝子(ウイルス感染症や食物アレルギー物質など)を迅速かつ簡便に検査するためのマルチプレックス遺伝子診断デバイスの開発を行っている。本報では、遠心力による送液操作と受動バルブによる流体制御技術とを組み合わせることで、複数の反応容器への自律的な分注を可能とする流路デザインを検討した。その結果、反応容器からの液体の逆流防止バルブ構造を考案し、ポンプレスでの分注操作を実現した。
抄録全体を表示
-
遺伝子増幅試薬の固相化技術の検討
佛生 智哉, 宮島 輝, 騎馬 由香, 夏原 大悟, 岡本 俊哉, 永井 萌土, 北村 雅史, 柴田 隆行
p.
290-291
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では、複数項目の遺伝子検査を1回の作業工程で同時に行えるマルチプレックス遺伝子診断デバイスの開発を行っている。本報では、ポイント・オブ・ケア検査への適応を目的とし、診断デバイス内に遺伝子増幅試薬を固相化して、室温で長期間安定に保存できる方法を検討した。特に、酵素の触媒機能の失活を抑制するために、糖類の添加効果を調査した。さらに、違法植物(大麻草)の検査に適用し、その有効性を検証した。
抄録全体を表示
-
林 家佑, 瀧 利和, 日下 翼
p.
292-293
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
人が日常点検で目視確認していたメータの値を、画像処理によって取得することにより、点検作業を効率化する取り組みの紹介である。老朽化した製造設備やインフラ設備は、ネットワークに接続することが難しい。人の目視による点検作業を効率化するため、カメラで撮像したメータ画像を画像処理によって読み取る取り組みを進めており、その運用例について紹介する。
抄録全体を表示
-
塚田 哲朗, 三谷 将也, 中田 憲征, 竹田 大亮, 原田 遼之祐, 笹木 亮, 寺林 賢司, 桐 昭弘, 野原 徳博, 村田 保, 鈴木 ...
p.
294-295
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
大規模構造物におけるボルト締結状態の確認は,ナットにマーキングを行い,締結前後のマーキングの位置変化を目視で判別している.しかし,この従来手法では作業時間やコスト,判断のばらつきが生じる場合がある.そこで本研究では画像処理を用いて締結状態を判別することで確認作業の自動化を行い,将来的にはマーキングを省略した点検手法の構築を目指す.本報では差分法を用いた判別手法の検討を行った結果について述べる.
抄録全体を表示
-
神田 真之介, 藪田 義人
p.
296-297
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
近年様々な環境で使用され始めているシングルボードコンピュータを用いたステレオビジョンシステムの開発を行っている.フレーム間差分を使用した動体の検出法をステレオビジョンに組み込むことで動体の距離測定を行っている.本研究では,並列化技術を組み込むことで処理速度の向上と効率化を図り実験的にその有用性を示す.
抄録全体を表示
-
佐々木 渉, 顔 世荀, パトハック サーサク, 梅田 和昇
p.
298-299
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では,マルチスリットレーザを用いた距離画像センサによるリアルタイム距離計測を実現する.本センサは,アクティブステレオ法による三角測量の原理を基本とする.先行研究において,距離計測に視差とぼけを用いることで対応点問題を回避した計測手法が実現された.しかし,オフライン計測の実現に留まっていた.そこで,リアルタイム計測を実現することでセンサの利用対象を拡大する.
抄録全体を表示
-
橘川 拓実, Moro Alessandro, Pathak Sarthak, 原田 佳周, 西川 英雄, 野口 稔, 濱谷 章史, 梅田 ...
p.
300-301
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では工場での製品の組立作業の可視化を目的とし、深層学習を用いた進捗判定手法を提案する。まず設置された定点カメラから取得した画像に対し、深層学習を用いた物体検出手法で対象の組立製品を検出する。その部分の切り出し画像に対してDeep Metric Learning(深層距離学習)を用いたクラス分類手法を用いることで、製品の組立作業の進捗状況を大まかな進捗ステップとして判定する。
抄録全体を表示
-
濱田 拓海, Pathak Sarthak, 梅田 和昇
p.
302-303
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では、3台の全天球カメラを用いた空間の3次元復元手法における画像の勾配情報および色情報を幾何学的に考慮した精度向上手法を提案する。エピポーラ線方向における精度低下に対し重み付けおよび再投影誤差の最適化により精度向上をしているが、オプティカルフローによる視差を計算する際に発生する誤差に対応していない。よって、3次元情報に加え画像の勾配情報と色情報を考慮した最適化を用いることで精度向上を行った。
抄録全体を表示
-
新関 嵩, 吉越 孝樹
p.
304-305
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
マイクロレンズアレイ(MLA)や回折光学素子(DOE)などに代表される光学デバイス、あるいは多段形状ないし傾斜構造が必要なマイクロ流路のようなバイオデバイスでは、微細な3次元構造が要求されることがある。本発表では、レーザー露光およびEB露光といったマスクレスの露光を活用して、3次元の微細金型形状を作製する技術について紹介する。
抄録全体を表示
-
田村 圭都, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
p.
306-307
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
カメラを使用した建造物の構造ヘルスモニタリング手法を検討する。従来は、加速度センサによって、地震時の建造物の各階の振動計測を行っているが、センサ間の配線や時刻同期を行うコストが高いのが課題だった。そこで、画像処理による層間変位の直接計測と加速度センサの両方を活用することで、時刻同期が不要で、層間変位をより精密に計測することが可能なモニタリング手法を提案する。
抄録全体を表示
-
尹 成圓, 鈴木 健太, 廣島 洋, 戸田 駿一, 永井 佐利
p.
308-309
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
携帯端末機器、自動車等の各種分野において、ナノパターン形成による表面の高機能化および高付加価値化が重要な課題になっている。そこで、ナノ加飾、セキュリティー、等への応用展開を目的に、大面積に対して、複雑な写真のような構造色のナノ加飾を付与できるナノ加工技術の研究開発を推進している。本研究では、所望のメタマテリアル構造に対して、カラーマップ作成に必要になる基礎データ(構造色のパターン形状・寸法依存性、等)の構築や、高速加工と多色性を同時に確保できる手法について検討した。また、構造色パターン変換用プログラムを試作し、ナノ構造色絵の作製を実証した。
抄録全体を表示
-
清水 康貴, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
p.
310-311
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
現在牛のルーメン環境モニタリングに広く用いられているセンサには、通信用電波が胃内容物などによって減衰されてしまい短距離でしか通信が行えないという問題がある。本研究では様々な環境下でのセンサの電波強度を測定し、主な電波の減衰原因を推定することを目的とした実験を行った。
抄録全体を表示
-
水谷 綾奈, 小林 健, 高松 誠一, 伊藤 寿浩, Zymelka Maria
p.
312-313
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
厚さ5μm で高感度の Si 極薄ひずみセンサを用いて,30%引張に耐えうるグローブ型ウェアラブルデバイスの作製を目指した.基板の伸縮変形により,センサと配線の境界に破断を生じる.そのため,デバイスに用いる基板と配線を含む実装構造を検討し,応力緩和層を有する配線実装構造を提案する.本提案実装構造を用いることで,従来の3.9%から67%程度までのひずみに耐えることが分かった.
抄録全体を表示
-
飯田 隆介, 山本 道貴, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
p.
314-315
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では、液体窒素雰囲気中で引張試験を行える測定系を用い、低温環境下での極薄Si歪みセンサの特性について評価した。引張試験機を用いた実験結果から、液体窒素雰囲気中でのゲージ率は常温雰囲気中に比べ低くなることが分かった。しかし、低温下においても依然として一般的な金属ひずみゲージより高いゲージ率が得られたため、今回使用した歪みゲージは低温設備のモニタリング等に活用できると考えられる。
抄録全体を表示
-
千田 優大, 山本 道貴, 竹下 俊弘, 小林 健, 高松 誠一, 伊藤 寿浩
p.
316-317
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
身体深部の温度と相関の高い鼓膜温度を普段からモニタリングすることは重要である.従身体深部の温度と相関の高い鼓膜温度を普段からモニタリングすることは重要である.従来の赤外線温度センサのサイズおよび感度では困難な安全性と精度の両立のため,本研究では赤外線センサの中でも高感度な焦電センサにチョッピングのための圧電カンチレバーを組み込んだ新構造を提案した.提案構造の拡大モデルにて,圧電センサの実装方法の検討および,試作カンチレバー駆動時の動作評価を行い,構造の有効性を示した.
抄録全体を表示
-
比江島 拓己, 野上 大史, 小野 礼, 伴 和幸, D. S. V. Bandara, 荒田 純平
p.
318-319
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
現在,動物園では動物福祉向上のために,飼育動物のストレス状態を非侵襲的に計測できる技術が求められている.ストレス指標の1つとして心拍数変化が知られているが,動物の非侵襲心拍計測では体動ノイズが課題となる.本研究では,当研究室で開発された体動ノイズ低減アルゴリズムを搭載したレーザドップラ血流計と荷重センサを組み合わせた非侵襲心拍計測システムの開発を行っている.
抄録全体を表示
-
石橋 大作, 篠﨑 烈, 明石 剛二
p.
320
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
機械加工において穴あけ作業は欠かすことのできない加工方法である.ツイストドリルを使用して穴あけ加工を行う場合に穴が曲がりにくい,位置がずれないようにするためにセンタードリルで加工を行う必要があり,穴あけ作業を安定させるために下穴の加工を行う場合がある.その下穴のサイズに対して穴あけ作業や穴精度にどのような影響を与えているのか検討したことを報告する.
抄録全体を表示
-
高林 伸年
p.
321
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
深穴加工の問題点と加工のポイント,ドリルの切れ刃形状と表面状態の違いでの切りくず形状について報告する。
抄録全体を表示
-
藤木 宏行, 明石 剛二, 石橋 大作, 河野 晋
p.
322-323
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
切削加工においても,環境保全対策のための切削油剤の使用量低減が求められている.その一対策として,極微少量の切削剤を霧状にして切れ刃部へ供給するニアドライ加工法が注目されているが,現状では切れ刃部への効率的な供給が難しい.そこで,特に深穴加工において,切れ刃部への新たな効率的供給法の開発を目指した基礎実験に関して報告する.
抄録全体を表示
-
赤間 知, 中川 清隆
p.
324-325
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
様々な業界で部品の小型化・高性能化に伴う高精度・高品位な微細加工ニーズに対して,従来のレーザ加工では市場のニーズに応えることが困難になっている.そこで当社では短パルスレーザを採用しレーザヘッドや制御機構など独自技術の融合により,微細レーザ加工機ABLASERを開発し高精度,高品位な微細加工を実現した.また,金属材料、セラミックスなどに対してもレーザによる微細加工が可能であることを明らかにした.
抄録全体を表示
-
小口 裕司, 中山 司郎, 小口 京吾, 榊 和彦, 中山 昇
p.
326-327
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
2004年に旋盤型微細穴加工機を開発したが,現在でもスラスト力とトルクを同時かつ常時検出しながら,加工を行うことを実用化している加工機は,他には見当たらない.その後,XYテーブルを搭載した多穴加工が可能な横型微細穴加工機を開発し,トルクセンサーの分解能の向上を図った.シンプルな構造で信頼性が高く,温度ドリフトの無いトルク計測システムが開発できた.
抄録全体を表示
-
山﨑 大志, 淺田 隆文
p.
328-329
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
産業機器の軸受、内燃機関、小径精密部品等において複雑で高精度な加工が行われているが、これを非破壊・非接触且つ高精度・高速に測定する測定機は現存しないに等しい.φ1.1~の小径穴においても高精度測定が可能な非接触光干渉式内周面測定機を開発し、測定再現性、直線性を評価したので測定事例を交えながら報告する.
抄録全体を表示
-
光学系に起因する誤差を配慮した曲がり検出法
甲木 昭雄, 佐島 隆生, 村上 洋, 大西 修, 明石 剛二
p.
330-331
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
直径17~21,L/D比500の深穴の形状精度を,測機のレーザ光のみで穴の曲がりおよび真円度が測定できる高機能測定システムを製作し,測定精度を調べてきた.これにより、真円度測定誤差が生じる原因が明らかになった.本研究では,光学系に起因する穴の曲がり検出誤差に関して吟味する.
抄録全体を表示
-
超音波振動併用の効果
佐藤 運海, 川久保 英樹
p.
332-333
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
超音波を照射しながら,NaCl電解酸化水への浸漬による無酸素銅材研磨面の粗化処理について実験検討を行った.その結果,浸漬のみの場合と比べ,超音波振動を併用すると,NaCl電解酸化水は粗化作用が強く,無酸素銅材の研磨面を均一に粗化できる.また,浸漬時間による処理後の試料片表面粗さの制御が可能である.さらに,超音波振動を併用すると,研磨材の残留や塩素汚染が画期的に少なくなる.
抄録全体を表示
-
Au-Pd-Pt多層触媒導入に向けた燃料流路形成条件の検討
高岸 瑞生, 中島 萌美, 早瀬 仁則
p.
334-335
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
Si基板上に燃料流路と触媒層を一体成型した薄型燃料電池の開発を進めている.白金使用量削減と高CO耐性が期待されるAu多孔質をベースとしたAu-Pd-Pt多層触媒の導入を目指している.しかし,エッチングによる流路作製の際に,Au多孔質はプラズマエッチングされやすくストップ層にならず,触媒層が損傷する.そこで,フルオロカーボン保護膜を用いた触媒層の保護方法を検討し,損傷を防止できる条件を見出した.
抄録全体を表示
-
Lu Junhui, Chi Wenju, 田村 明男, Yeh Yee Cheng, Long Mengxia
p.
336-337
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
3D printing has been rapidly developed and well accepted in researches and different industries. However, obvious drawbacks of current technologies still inhibit further application and hence commercialization of 3D printing. Among them, resolution is one of the most mentioned concerns. PµSL technology, with ground-breaking top resolution, has been increasingly applied in both scientific researches and new product development. This report describes the principle and advantages of PµSL, then provides some case studies of its applications in scientific researches related to microscale fabrication.
抄録全体を表示
-
岩岡 友希, 堀内 敏行, 小林 宏史
p.
338-339
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
スペックル光を利用し、ウエハ上のレジストにランダムな点状パターンを形成する光リソグラフィ技術において、パターンの微細化を検討した。自作の露光装置を用い、拡散板に当てるレーザ光の照射径をビームエキスパンダーによりφ4mmからφ17mmに拡大し、拡散板とウエハ間の距離を1mmと短くして露光した結果、10×10mmに制限した露光領域の概ね全域に最小1µm以下のランダムパターンを形成できた。
抄録全体を表示
-
新谷 賢司, 服部 将太郎, 小林 賢治, 堀内 敏行, 小林 宏史
p.
340-341
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
円筒形状試料の内面円周方向に一括でリソグラフィによりパターンを形成する技術を検討した。試料の内側に円錐状のミラーを配置する投影露光装置を自作し、線幅300μmと100μmの環状パターンを描いたレチクルを用い、ネガ型レジストを塗布した内径14mmの透明な円筒試料の内面に露光を行なった。300μmライン&スペースパターンを全周に、100μmパターンを部分的に形成できた。
抄録全体を表示
-
水中加工法の提案
大澤 真悠子, 増田 秀征, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
p.
342-343
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
高圧ジェット内を加工レーザが全反射しながら伝搬するウォータガイドレーザ(WGL)加工では、レーザが様々な伝搬経路をとり複雑な強度分布を形成するため、加工表面が三次元的な微細構造を成す。本研究では、この点に着目した新たな機能表面創製法の確立を目指す。本報では、試料を水中に設置することで通常のWGLとは異なる表面形状を得る水中加工法を提案する。通常加工と水中加工の加工形状を比較し提案手法の基礎的検証を行なった。
抄録全体を表示
-
耐熱合金による検討
清水 淳, 山本 武幸, 石井 佑磨, 金子 和暉, 周 立波, 小貫 哲平, 尾嶌 裕隆
p.
344
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
高温で利用される高機能部品の微細修理に対する放電堆積加工の可能性を追求するため,耐熱合金製の細電極を用いた堆積構造の創成実験を試みた.堆積可能な放電条件について検討した.
抄録全体を表示
-
nmオーダ送りにおけるスクラッチ異方性
三枝 剣悟, 林 王票, 矢野 直彦, 清水 淳, 金子 和暉, 周 立波, 小貫 哲平, 尾嶌 裕隆, 山本 武幸
p.
345-346
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
単結晶C面サファイア基板は,単結晶GaNのエピタキシャル成長基板としての用途から,被削性をnmレベルで理解することが重要である.本研究では,nmオーダの送りによるC面サファイア基板のナノスクラッチによる被削性を調査した際のおもに異方性について報告する.
抄録全体を表示
-
向川 祐貴, 高野 登, 白鳥 智美
p.
347-348
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
近年,SDGsの観点から切削加工の分野においても工具の長寿命化が望まれる.中でも切削工具の表面に微細なテクスチャを付与し,切削抵抗,凝着,摩耗等を低減させ,工具の長寿命化を図る研究が多くなされている.本研究では多結晶ダイヤモンドの工具すくい面に,形状を変化させた微細テクスチャを付与し,その工具を用いてアルミニウム合金に対して長距離旋削を行い,工具寿命の観点から被削性の評価を行った.
抄録全体を表示
-
田中 弥生, 江龍 修
p.
349-350
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
我々はCMP固定砥石により超硬素材から刃具形成を実現した。形状整形時にダイヤモンド砥石を用いると、深い研削痕が生じ、市販工具に見られる刃具刃先の潜傷が大きく、刃具を効率的に仕上げるのが課題であった。そこで本研究では、WC棒から工具刃具の形状を整形し、刃具の鋭利化を試みた。形状整形時にダイヤモンド砥石による潜傷導入を抑え込みことにより、工具刃具の鋭利化を実現し、微細構造形成を実現した。
抄録全体を表示
-
小林 香穂, 青山 英樹
p.
351-352
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
アパレル産業では、製造工程におけるデザイナ・パタンナの負担を軽減し、時間とコストを削減して最終的な商品の状態を把握するために、布の種類や素材の違いを反映した動的着装シミュレーションが必要とされている。本研究では、織物の機械特性を現場に導入可能な小型で簡易な測定方法で測定し、その測定値に基づいて主にスカートのリアルな動的着装シミュレーションを実現した。また、結果の定性的・定量的評価を行った。
抄録全体を表示
-
骨盤ランドマーク位置の推定と骨盤の個人適合
五月女 絢音, 金井 理, 伊達 宏昭, 遠藤 維
p.
353-354
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
身体運動の力学解析に耐えうる個人別人体モデルを,CT計測からその都度生成することは時間的・コスト的に困難である.よって本研究では,標準人体FEMメッシュモデルに対する自由形状変形によって,三次元ボディスキャナから得られた個人別表皮メッシュ形状にこれを適合させることで,個人適合人体FEMメッシュを高速かつ一定精度で自動生成可能な手法の開発を目的とする.本報では,骨盤形状の個人適合で必要な骨盤上ランドマーク位置の表皮形状からの高精度な推定手法と,それによる統計的骨盤形状モデルの個人適合を行った結果を報告する.
抄録全体を表示
-
渡辺 龍之介, 北澤 弘幸, 關根 惟敏, 臼杵 深, 三浦 憲二郎
p.
355-356
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
近年,3Dプリンタの普及により個人でも比較的簡単にものをつくることができるようになった.そのため,容易に用件を満足するものが設計できるような,CAE(Computer Aided Engineering: 設計支援システム)の研究開発が求められている.そこで,本研究では物体の内部形状をモデリングすることにより,3次元モデルの見た目を変えずに強度を制御する手法を考案した.その結果,応力値に応じた密度でメッシュを生成することが可能となった.
抄録全体を表示
-
三浦 憲二郎, R.U. Gobithaasan, 乾 正知, 關根 惟敏, 臼杵 深
p.
357-358
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
本研究では,5軸加工機の工具姿勢制御や3Dプリンタのノズル姿勢制御を目的としてκ-曲線を3次元空間の単位球面上で定義(球面κ-曲線)し,測地的曲率の極大点を指定することで曲線を生成することで,力学的に優れた姿勢制御を可能にする.測地的曲率が極大となる点は姿勢制御において機構の加速度が極大となる点に対応し,その位置を制御できれば姿勢変化の大きな点をコントールでき,さらには5 軸加工機であれば高品質な加工面を創生することに寄与するとともに加工に要する時間を短縮できる.また,3Dプリンタであれば形状生成に要する時間を短縮できるとともにより滑らかにノズルの姿勢をコントロールできるので創生する形状の精度を高めることに寄与できる.
抄録全体を表示
-
安原 佑, 古城 直道, 山口 智実, 廣岡 大祐
p.
359-360
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
著者らは窒化された鋼の組織と被削性の関係を明らかにしてきた.本報では,窒化前の各種ステンレス鋼材にショットピーニング処理を行い,プラズマ窒化後の窒化層のミクロ組織及び工具摩耗抑制効果,工具形状転写性に及ぼす影響を調査した.その結果,切削可能な窒化層の領域は従来と比べて増加しなかった一方,窒化によるダイヤモンド工具の摩耗抑制効果,形状転写性に関しても,従来と同程度の結果が得られた.
抄録全体を表示
-
PCVMにおける加工温度と表面粗さの相関
須場 健太, 山本 有悟, 孫 栄硯, 川合 健太郎, 有馬 健太, 丸山 龍治, 林田 洋寿, 曽山 和彦, 山村 和也
p.
361-362
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
近年、中性子を用いたイメージング技術が注目されている。大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたPCVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)は、サブミクロンオーダの形状創成を可能とし、中性子線の強度不足を補うための反射光学デバイス加工への応用が期待される。本報では、PCVMにおける加工温度と加工後表面粗さの相関に関して報告を行う。
抄録全体を表示
-
大野 威徳, 丁 禹元, 潘 襄豪
p.
363-364
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
AZ31の二次元切削において切削工具刃先先端の断面形状が仕上げ面下部の結晶組織に及ぼす影響について述べている。切削試験では単結晶ダイヤモンド平バイトの刃先に対しArイオンビームを特定の角度から照射し、すくい面となる先端に新生面を実際のすくい面から-30°、-60°の角度で成形し直し超精密旋盤により準二次元切削を行った。発表では、各工具で生成した仕上げ面下部の組織変化について、それぞれの観察結果を示す。
抄録全体を表示
-
田口 恭輔, 原 圭祐, 吉原 信人, 水野 雅裕
p.
365-366
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
ドリル加工時において超音波振動の援用によるバリ抑制効果は広く知られているものの,バリの抑制効果を十分に得るためには,加工効率が低下してしまうという問題があった.そこで本研究では,ドリル加工時において加工深度に応じて加工速度を変える多段速度加工法を用いることで,バリの抑制を維持したまま加工効率の低下を抑える加工方法の検討を行った.
抄録全体を表示
-
高島 孝太, 亀ヶ谷 尚志, 櫻田 陽, 原 圭祐, 河野 大輔, 田浦 裕生, 辻 尚史, 磯部 浩已
p.
367-368
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
これまでに超音波振動切削により表面テクスチャを創成し,その摩擦特性を評価した結果,テクスチャによって摩擦係数が安定することを明らかにした.本報ではこのメカニズムを明らかにするために,光弾性法を用いてテクスチャと相手材の真実接触部の応力分布を可視化して,接触状態を考察する.その結果,送り方向のピッチ間隔を大きくすると,大きな接触応力が生じることが分かった.
抄録全体を表示
-
西村 星哉, 牛田 晃臣, 辻 尚史, 原 圭祐, 磯部 浩已
p.
369-370
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
超音波振動を援用した研削加工において、工具の目づまり抑制や研削抵抗の低減効果が報告されている。また、ウルトラファインバブル水は加工液として使用すると工具摩耗の低減や冷却効果が期待されている。そこで、本研究では超音波振動援用研削加工にウルトラファインバブル水を加工液として適用し、その加工特性を直交表実験から評価した。
抄録全体を表示
-
傾斜面への表面テクスチャ創成と理論評価
吉田 敦寛, 原 圭祐, 辻 尚史, 高島 孝太, 磯部 浩已
p.
371-372
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
3次元曲面へのテクスチャリングにより,摩擦摺動面の潤滑特性を向上できることが報告されている.しかし,3次元曲面へのテクスチャリングと,その理論評価をした報告例はない.本研究では,生産性を落とすことなくテクスチャリングできる超音波ミーリングに着目した.本報では,3次元曲面に創成する前段階として,傾斜面へのテクスチャリングを行い,理論検証と実加工によって,創成原理を明らかにした.
抄録全体を表示
-
超音波振動切削中の切削力ベクトル変動の可視化
佐藤 勝矢, 池原 巧, 辻 尚史, 原 圭祐, 磯部 浩已
p.
373-374
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
超音波振動切削における切削現象を観察する手法として,パルスレーザを撮影光源とした偏光高速度カメラによる被削材内部応力分布の可視化がある.この手法では,工具動力計では計測できない超音波振動1周期中の応力分布の変動が取得できる.本研究では,Pythonを用いて被削材内部応力分布より切削力ベクトルを算出し,動画上に表示するシステムの開発を行った.分析結果は,工具動力計の測定値と比較して妥当性を検証した.
抄録全体を表示
-
切削力ベクトルの時間変化に基づく切削現象の究明
池原 巧, 原 圭祐, 辻 尚史, 高島 孝太, 磯部 浩已
p.
375-376
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
二次元切削において超音波振動する切れ刃が発生させる,超音波振動1周期中における切削力ベクトルの時間変化について観察した.その手法として,パルスレーザを撮影光源とした偏光高速度カメラによる切削中の被削材内部応力分布の可視化を適用した.各種加工条件に対する切削力ベクトルの時間変化より,振動1周期中に変動するせん断角,および摩擦角を算出し,振動切削現象について考察した.
抄録全体を表示
-
増谷 浩一, 大渕 真志, 高東 智佳子, 宇野 恵, 濵田 聡美, 倉下 将光, 福永 明, 三上 益弘
p.
377
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
CMP後洗浄で半導体基板表面から除去すべき汚染物の一つに残留酸化セリウム砥粒がある。酸化セリウム砥粒の基板への吸着強さは基板表面の材料や結晶面、酸化セリウムの還元状態によって変化する可能性があるが、それらがどのように影響するかはよくわかっていない。そこで本研究では基板と酸化セリウムの間の吸着エネルギーを様々な条件に対して第一原理計算で求め、どのような場合に吸着が強くなるのかを考察した。
抄録全体を表示
-
岡野 廉, 天谷 賢児, 矢野 絢子, 辻村 学, 檜山 浩國, 福永 明, 和田 雄高, 今井 正芳, 濱田 聡美, 半田 直廉, 西 智 ...
p.
378-379
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
半導体製造工程における洗浄部分の高効率化,高精度化を目的とした研究である.これまでウェーハの裏面は回路を書き込む表面と違いあまり重要視されてこなかった.近年裏面洗浄が不十分なことによる次工程への影響や裏面液置換時間の長さが及ぼす製造効率への影響が大きな問題となっている.これを解決するために,現状の裏面洗浄時の液体流動を可視化し,洗浄時液置換作業の高効率・高精度化の検討を行った.
抄録全体を表示
-
杉本 健太郎, 孫 栄硯, 川合 健太郎, 有馬 健太, 山村 和也
p.
380-381
発行日: 2022/08/25
公開日: 2023/02/25
会議録・要旨集
フリー
近年,ダイヤモンド基板の研磨において機械研磨法の代替手法の開発が進んでおり,我々はプラズマを援用した研磨法を開発している.また,半導体デバイスの放熱材料として多結晶ダイヤモンドが注目されている.本報では多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨において,加工条件としてプラズマのガス組成および研磨プレートの表面粗さに着目し,研磨レートおよび研磨後の表面性状におよぼす影響について調査したことを報告する.
抄録全体を表示