光の波長が短くなって2000Å [200nmともいう, 1Å (オングストローム) =10
-8nm=10nm (ナノメートル) ]位になると, 空気中の酸素分子に吸収され, 空気中を通りぬけることができなくなる.したがって, 約2000Å以下の波長の光を扱う場合には, 光の通路をすべて真空にしなければならない.このような理由で, 波長がおおよそ2000Å~数Åの範囲内にある光を広い意味で真空紫外線という.一般的には, 約500Åを境にして, それより長い波長の光を真空紫外線それより短い波長の光を極紫外線または軟X線とよんでいる.これは, 実験装置のちがい, 物質との相互作用のちがい, 発光方法のちがい等によって習慣的に使われている区分であって, 特に明確な定義はない.本講では狭義の真空紫外線と軟X線を放射するいろいろな光源について解説する.(真空紫外光源については波岡が, 軟X線光源については佐川が担当した).
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