精密工学会学術講演会講演論文集
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2003年度精密工学会春季大会
選択された号の論文の662件中351～400を表示しています
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多軸制御加工計測（2）
精密マイクロ機械加工技術（1）
精密マイクロ機械加工技術（2）
精密マイクロ機械加工技術（3）
精密マイクロ機械加工技術（4）
精密マイクロ機械加工技術（5）
ユーザビリティとヒューマンインタフェース（1）
ユーザビリティとヒューマンインタフェース（2）
レーザ加工技術（1）
レーザ加工技術（2）
レーザ加工技術（3）
  • フェムト秒レーザーによるガラス表面への溝加工
    黒井 和典, 伊藤 義郎
    セッションID: I66
    発行日: 2003/03/26
    公開日: 2005/03/01
    DOIhttps://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.490.0
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    　フェムト秒レーザーを用いた透明ガラス試料の微細加工についての検討を行った。フェムト秒レーザーは微細加工において非常に注目されている。今回、XYZステージを用いることで、穴あけ加工に加えてより複雑な形状の加工についても検討した。各条件における加工の様子を今までの研究結果と比較して報告する。
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  • フェムト秒レーザによる微細周期構造の特性
    沢田 博司, 川原 公介, 二宮 孝文, 黒澤 宏, 横谷 篤至
    セッションID: I67
    発行日: 2003/03/26
    公開日: 2005/03/01
    DOIhttps://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.491.0
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    加工しきい値近傍のフルエンスでフェムト秒レーザを各種材料に照射し，入射光と表面散乱光を干渉させることで，偏光方向に直交した波長オーダーの周期構造を形成した．この周期構造形成面と研磨面に直径20ミクロンのガラス粉体を付着させ振動を加えたところ，ガラス粉体は研磨面にのみ残留した．この結果から周期構造は粉体の付着力低減に有効であることがわかった．
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  • 非ガラス基板を用いた微結晶Si/非晶質Siハイブリッド構造集積型太陽電池の開発
    篠原 亘, 邑田 健治, 田中 誠
    セッションID: I68
    発行日: 2003/03/26
    公開日: 2005/03/01
    DOIhttps://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.492.0
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    薄膜シリコン系の太陽電池は、結晶系のそれと比べ、(1)シリコンの使用量が少ない，(2)低コストである，(3)大面積基板に一括形成が可能である等の有利な特徴を有している。特に高価で重量の重いガラス基板を用いない非ガラス基板タイプの薄膜系太陽電池では、[1]軽量である，[2]フレキシブル化が可能等の特徴に加え、集積化することにより[3]単一基板上で複数の素子を直列接続し、高電圧化が可能(インバーターによる直流←交流変換時に有利)等の付加価値をもたせることが可能である。しかしながら課題も多く存在する。第1の課題は、変換効率、特に安定化後1)の変換効率の向上であり、第2は集積構造と集積化技術(加工技術)の開発である。前者の安定化後の変換効率の向上に対しては、薄膜微結晶(μc-Si)と非晶質Si(a-Si)をヘテロ接合した発電層を用いることで、変換効率の向上と共に、光劣化率を大幅に低減出来ることが知られているが2)、これを用いた非ガラス基板タイプの集積型太陽電池においては、発電層の能力を十分に引き出し得る集積型太陽電池はまだ得られていない。本報告では、上記の薄膜微結晶Si/非晶質Siハイブリッド構造の太陽電池における集積化技術の開発を行ったので報告する。
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  • LD励起QスイッチYAGレーザによる超微粒超硬合金の微細穴加工
    加工穴の評価
    岡本 康寛, 宇野 義幸, 湯浅 英司, 窪田 真一郎
    セッションID: I69
    発行日: 2003/03/26
    公開日: 2005/03/01
    DOIhttps://doi.org/10.11522/pscjspe.2003S.0.493.0
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    LD励起QスイッチYAGレーザによる超微粒超硬合金に対する微細穴加工を行ったところ，加工条件によって加工穴形状に大きな違いが生ずることを確認した．焦点位置の違いにより加工穴断面に膨らみが生し，その膨らみは焦点が加工試料表面から集光レンズ側に離れるにしたがって多くなる傾向にあった．しかし平均出力を低く，パルス繰返し数を増大させることにより穴内部に生じる膨らみを減少することができることを確認した．
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レーザ加工技術（4）
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