2層の自発分極差で界面に高移動度2次元電子ガスが形成される Mg
xZn
1-xO/ZnO ヘテロ接合の構造を明らかにするために放射光X線結晶トランケーションロッド散乱実験を行った。Mg 濃度
x = 0.015、0.064、0.189 の3種類の試料に対して 000
L 方向の散乱プロファイルを測定し、Mg 濃度の異なる Mg
xZn
1-xO 層の構造を解析した。3種類の試料に対して、格子定数
c は精密に求めることができた。また、散乱プロファイルに見られる振動の周期は Mg
xZn
1-xO の膜厚をよく説明できたが、振動振幅について一致しない点が見られ、構造モデルのより詳細な検討が必要であることがわかった。
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