真空

27 巻, 5 号

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励起中性粒子検出法を用いた小型指向性真空計の試作

荒川一郎, 金文沢, 辻泰

1984 年27 巻5 号 p. 327-329
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.327

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新しいイオン源を用いた交流検出式四重極質量分析計

渡辺文夫, 石丸肇

1984 年27 巻5 号 p. 330-334
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.330

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電子衝撃脱離イオンによる誤差の生じない全圧測定 (10^-8 Pa以下の活性残留ガス中で)

渡辺文夫, 平松成範, 石丸肇

1984 年27 巻5 号 p. 335-338
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.335

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大型真空容器のリーク探知に関する考え方

小原建治郎, 中村和幸, 広木成治, 阿部哲也, 村上義夫

1984 年27 巻5 号 p. 339-342
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.339

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チタンのN₂, O₂吸収の中速電子分光 (MEES)

小栗多計夫, 石岡久道

1984 年27 巻5 号 p. 343-346
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.343

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金属表面での中速電子の散乱の角度分布

石岡久道, 小栗多計夫

1984 年27 巻5 号 p. 347-350
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.347

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清浄多結晶銀表面上でのC₂H₄O, およびCOの吸着-XPS, UPSによる研究-

三浦裕幸, 菖蒲明己, 加納久雄, 宮原孝四郎, 豊嶋勇

1984 年27 巻5 号 p. 351-354
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.351

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Si (111) √3-Au構造の角度分解電子エネルギー損失分光

李成泰, 岩崎裕, 長谷川繁彦, 溝川悠介, 中村勝吾

1984 年27 巻5 号 p. 355-358
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.355

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オージェスペクトルの合成法に関する一提案

測定におけるエネルギー誤差についての考察

田中彰博, 本間禎一, 松永正久

1984 年27 巻5 号 p. 359-361
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.359

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カソードルミネッセンス分光装置とセラミック摩擦損傷面の観察と分析

榎本祐嗣, 佐藤正幸, 斎藤慶子

1984 年27 巻5 号 p. 362-365
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.362

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中間排気二重鏡平面シールゲート弁

石丸肇, 久保富夫, 渡部広美, 百瀬丘

1984 年27 巻5 号 p. 366-368
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.366

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超高速クイックバルブの試作とその性能限界

堀越源一, 山口博司

1984 年27 巻5 号 p. 369-372
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.369

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自己修復性被覆法の超高真空容器用材料への適用

吉原一紘, 新居和嘉

1984 年27 巻5 号 p. 373-375
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.373

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JIPPT-IIUのECR放電洗浄実験

石部行雄, 石井成行, 岡崎清比古, 大山等, 坂本雄一, 矢野勝喜, 野崎正, 荒谷美智, 林茂樹, 矢野倉実, 河野 ...

1984 年27 巻5 号 p. 376-379
発行日: 1984/05/20
公開日: 2010/01/28

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.376

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TEXTOR装置のECR放電洗浄II

坂本雄一, 石井成行, 岡崎清比古, 矢野勝喜, 野田信明, Robert E. CLAUSING

1984 年27 巻5 号 p. 380-382
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.380

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水素プラズマとTiCの相互作用

坂本雄一, 大山等

1984 年27 巻5 号 p. 383-385
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.383

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JT-60その場コーティング技術の検討 (III)

小型コーティング機構の試作

広木成治, 阿部哲也, 稲川幸之助, 小原建治郎, 中村和幸, 村上義夫

1984 年27 巻5 号 p. 386-388
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.386

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JT-60その場コーティング技術の検討 (IV)

チタン蒸発源の試作

稲川幸之助, 阿部哲也, 広木成治, 小原建治郎, 中村和幸, 村上義夫

1984 年27 巻5 号 p. 389-393
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.389

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TiCを被覆したJT-60用第一壁材料の開発 (I)

技術開発の目標と経過

阿部哲也, 村上義夫, 小原建治郎, 広木成治, 中村和幸, 伊藤裕, 溝口忠憲, 梶浦宗次, 佐川準基

1984 年27 巻5 号 p. 394-397
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.394

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TiCを被覆したJT-60第一壁材料の開発 [II]

TP-CVD法によるモリブデン基材へのコーティング

阿部哲也, 村上義夫, 伊藤裕, 溝口忠憲, 梶浦宗次, 佐川準基, 土居陽, 藤森直治, 吉岡剛, 矢敷哲男

1984 年27 巻5 号 p. 398-401
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.398

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TiCを被覆したJT-60用第一壁材料の開発 (III)

HCD-ARE法によるインコネル基材へのコーティング

阿部哲也, 村上義夫, 伊藤裕, 溝口忠憲, 梶浦宗次, 佐川準基, 稲川幸之助, 渡辺一弘, 田中一郎, 伊藤昭夫

1984 年27 巻5 号 p. 402-405
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.402

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TiCを被覆したJT-60用第一壁材料の開発 (IV)

コーティングした第一壁の材料特性

阿部哲也, 村上義夫, 田中三男, 伊藤裕, 溝口忠憲, 梶原浦宗次, 佐川準基

1984 年27 巻5 号 p. 406-409
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.406

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TiCを被覆したJT-60用第一壁材料の開発 (V)

ガス放出特性

中村和幸, 阿部哲也, 村上義夫

1984 年27 巻5 号 p. 410-413
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.410

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JT-60計測装置の真空系

及川永, 坂倉良男, 大里幸男, 北原勝美, 閨谷譲, 山下修, 志甫諒, 前田彦祐, 鈴木康夫

1984 年27 巻5 号 p. 414-418
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.414

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ターボ分子ポンプの受ける磁場の影響

西出昭彦, 橋本祥一, 井口昌司, 金戸成, 及川永, 山下修, 閨谷譲, 北原勝美, 大島尊幸, 島本進

1984 年27 巻5 号 p. 419-421
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.419

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新型分子ポンプの開発 (I)

井口昌司, 永久保雅夫, 橋本祥一, 金戸成, 及川永

1984 年27 巻5 号 p. 422-424
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.422

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新型分子ポンプの開発 (II)

金戸成, 永久保雅夫, 井口昌司, 池上達治, 及川永

1984 年27 巻5 号 p. 425-428
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.425

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大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ

金戸成, 橋本祥一, 西出昭彦, 井口昌司, 及川永

1984 年27 巻5 号 p. 429-432
発行日: 1984/05/20
公開日: 2010/01/28

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.429

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TRISTAN入射蓄積リングの全アルミ合金真空系

石丸肇, 百瀬丘, 成島勝也, 水野元, 金沢健一, 久保富夫, 渡部広美, 山口博司, 小林正典, 堀越源一

1984 年27 巻5 号 p. 433-435
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.433

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Si上のCdS膜のエピタキシーに及ぼす基板表面の影響

島岡五朗, 鈴木佳子

1984 年27 巻5 号 p. 436-440
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.436

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Si上のCu/ZnS複合膜の熱処理による構造変化

中西洋一郎, 村上弘三, 島岡五朗

1984 年27 巻5 号 p. 441-444
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.441

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Bi₂O₃蒸着膜の酸化過程

籠田和徳

1984 年27 巻5 号 p. 445-447
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.445

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金属蒸着膜の付着力測定 (III)

菊地章, 馬場茂, 金原粲

1984 年27 巻5 号 p. 448-451
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.448

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シンクロトロン射放光照射によるアルミ合金のガス放出

百瀬丘, Ozwald GRÖBNER, 堀越源一, 石丸肇, 金沢健一, 小林正典, 水野元, 成島勝也, 渡部 ...

1984 年27 巻5 号 p. 452-456
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.452

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アルミ合金真空チェンバーのガス放出 (III)

成島勝也, 石丸肇

1984 年27 巻5 号 p. 457-460
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.457

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大電力高周波投入時における導波管系のガス放出

斉藤芳男, 穴見昌三, 福田茂樹, 設楽哲夫, 本間博幸, 中尾克己, 花木博文

1984 年27 巻5 号 p. 461-465
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.461

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導管内圧力3点測定による高真空ポンプ排気速度測定法

平野治男, 吉村長光, 小原健二

1984 年27 巻5 号 p. 465-467
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.465

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高真空システムの機能を表わす真空回路

吉村長光

1984 年27 巻5 号 p. 468-470
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.468

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真空回路に基づく圧力分布解析

吉村長光, 平野治男

1984 年27 巻5 号 p. 471-473
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.471

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二陰極スパッタリング装置の放電電流の制御

宇佐美興一, 後藤俊成, 山中惣之助

1984 年27 巻5 号 p. 474-476
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.474

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プラズマ重合多層レジストのドライエッチング

玉野順次, 市川正見, 森田慎三, 服部秀三

1984 年27 巻5 号 p. 477-479
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.477

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高温イオン化反応法によるSi-carbide膜

林英雄, 佐藤義幸, 田畑三郎

1984 年27 巻5 号 p. 480-484
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.480

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回転型アフターグロー反応槽による多層レジストの成膜

玉野順次, 加藤哲夫, 服部秀三

1984 年27 巻5 号 p. 485-488
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.485

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イオンプレーティングの応用

川下安司, 中曽根正美, 寺山暢之

1984 年27 巻5 号 p. 489-492
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.489

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アブストラクト

美馬宏司, 久保圭司, 八木邦夫, 兼松太, 平田正紘, 国分清秀, 村上寛, 戸田義継, 小野雅敏, 村上義夫, 下村 ...

1984 年27 巻5 号 p. 493-504
発行日: 1984/05/20
公開日: 2009/09/29

DOIhttps://doi.org/10.3131/jvsj.27.493

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