エレクトロニクス実装学会誌
Online ISSN : 1884-121X
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巻頭言
特集／インテリジェント実装技術におけるAIの最新動向
研究論文
  • プラズマモニターを用いたプラズマクリーナーにおける予知保全
    白水 博, 丹正 淳文, 翁 振雄, 田村 好司, 峯 孝太郎, 小川 正太郎, 勝山 ちひろ
    原稿種別: 研究論文
    2024 年 27 巻 3 号 p. 249-258
    発行日: 2024/05/01
    公開日: 2024/05/01
    [早期公開] 公開日: 2024/01/30
    DOIhttps://doi.org/10.5104/jiep.JIEP-D-23-00019
    ジャーナル 認証あり
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    半導体製造のパッケージング工程において，ワイヤーボンディングの接合性向上，モールド封止樹脂の密着性改善などの目的で，プラズマクリーナーが使用されている。プラズマクリーナーでは，前半工程のプラズマ処理と比較して，不揮発性反応生成物がチャンバー内に多く付着し，加工対象物に悪影響を与える。予防保全の観点からは，チャンバー内の汚れ具合に合わせたメンテナンスが有効だが，その汚れ度が正確に分からないため，最適なメンテナンス時期の判断が困難であった。今回プラズマのインピーダンスを測定するプラズマモニターのデータと，既存の装置制御データを用いて，チャンバーの汚れ度を正確に推定する方法を開発したので報告する。

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