本研究ではエンドミル輪郭形状測定装置の開発を行った．この測定装置は測定子にワイヤを用い，電気的接触検知法により回転中のエンドミル切れ刃位置をとらえ，マシニングセンタの制御軸位置決め精度に基づいてエンドミルの輪郭形状をオンマシン測定するのもである．本実験ではボールエンドミル先端の半径値，真円度偏差ならびに中心座標値を使用速度で回転する工具から実測定するとともに転写法と比較した．この結果，本測定方法は転写法によるものと同等の精度で測定し得ることを確認した．本報告では測定装置の詳細とその測定性能について述べる．

抄録全体を表示

次世代携帯電話など製品の高機能化に伴い，水晶部品は小型化，薄片化，鏡面化が要求されている．チップに切り出してから研磨を行う従来工程では，扱いが難しく，長時間を要するため，ウエハのまま短時間で鏡面研削が実現できれば有益である．そこで本研究では，メカノケミカル反応による鏡面創成を目的としたシリカEPD砥石とアルミナEPD砥石を試作し，研削性能を調査した．その結果，3インチ水晶ウエハに対して，シリカEPD砥石では約10分で10nmRz以下の鏡面が創成可能であった．またアルミナEPD砥石でも12nmRzの鏡面が創成できた．メカニズムを検証した結果，アルミナ砥石では水晶との反応生成物と思われる研削くずが検出され，メカノケミカル反応による除去が示唆された．

抄録全体を表示

ELID研削における仕上げ性の向上を目的として開発した導電性ラバーボンド材のELIDメカニズムの解明を行った．実験は電解条件を変えて電解ドレッシングを行い，ボンド材表面の観察および摩擦摩耗試験を行った結果，適切な電解条件を設定することで，ボンド材表面の比摩耗量が小さくなる変質層が形成されることがわかった．また，変質層の分析を行った結果，電解ドレッシングに伴う水の電気分解反応で発生した酸素が，ゴム分子の酸化架橋反応を起こし砥石面を硬化させると同時に砥石の導電性を確保しているカーボンブラックの減少をもたらし，砥石表面を不導体化させることがわかった．これらの結果を基に導電性ラバーボンドのELIDサイクルの提案を行った．また，加工実験を行いELIDサイクルが機能していることを確認した．

抄録全体を表示