砥粒加工学会誌

ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究

第４報：加工用AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工

高野登, 園部修也, 山田茂, 森田昇

2014 年 58 巻 8 号 p. 509-514
発行日: 2014/08/01
公開日: 2014/12/23

DOIhttps://doi.org/10.11420/jsat.58.509

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本研究では，原子間力顕微鏡（AFM）機構と加工用AFMカンチレバーを用いて，高能率な微細加工を行うことを目的としている．本報では，1本のカンチレバーに複数の多結晶ダイヤモンド切れ刃を具備した多刃カンチレバーと，剛性の異なるカンチレバーを複数本有するマルチカンチレバーの2種類の加工用AFMカンチレバーを作製し，Ni-P合金めっきと単結晶シリコン(100)に対して加工実験を行い，高能率微細加工用工具としての評価を行った．その結果，多刃カンチレバーは，複数の切れ刃による同形状の同時加工が可能であった．また，マルチカンチレバーはたわみ剛性に応じた同時加工が可能であった．

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近赤外分光器を用いた反射分光方式の薄シリコンウェハ厚さ計

小貫哲平, 小野竜典, 尾嶌裕隆, 清水淳, 周立波

2014 年 58 巻 8 号 p. 515-519
発行日: 2014/08/01
公開日: 2014/12/23

DOIhttps://doi.org/10.11420/jsat.58.515

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裏面研削によるシリコンウェハ薄化工程で用いる厚さ計として反射分光式厚さ測定法が有望である．本方式の計測特性を決める最も重要な装置構成要素は分光器の計測特性である．本研究ではシリコンウェハの光学特性に対応した分光計測条件を計測原理に基づく考察から求め，本条件に基づいて入手可能な分光器の中から最適なものを選定した．選定した分光器を用いて厚さ50μm～5μm，寸法公差0.1μm以下のウェハ加工での使用のための厚さ計試作機を構築し，測定可能範囲のさまざまな厚さの薄ウェハ片を用いた実測実験により本構成条件の有用性を確認した．

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ダイヤモンド焼結体エンドミルの製作および超硬合金金型の精密切削法に関する研究

渡辺健志, 後藤隆司, 神雅彦

2014 年 58 巻 8 号 p. 520-524
発行日: 2014/08/01
公開日: 2014/12/23

DOIhttps://doi.org/10.11420/jsat.58.520

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本研究では，超硬合金金型の効率的で高精度な加工法に関して検討し，その一つの方法として，ダイヤモンド焼結体エンドミルによる切削加工法を検討した．具体的には，はじめにダイヤモンド焼結体を切れ刃とするエンドミルの製作法，および工具形状について検討を行い，超硬合金金型を精密切削することが可能な同エンドミルの開発を行った．次に製作したエンドミルを用いて，超硬合金の基礎的切削性能の評価を行った．その結果，溝加工実験においては，溝底面の表面粗さが0.5nmRaと非常に平滑な切削面を得ることができ，高い切削性能を有していることがわかった．また，金型形状加工実験を行った結果，十分な加工精度，能率および工具耐久性を有していることがわかり，製作したエンドミルは，超硬合金金型切削用工具として十分な性能を有していることがわかった．

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