テレビジョン学会技術報告
Online ISSN : 2433-0914
Print ISSN : 0386-4227
20 巻, 17 号
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  • 原稿種別: 表紙
    1996 年 20 巻 17 号 p. Cover1-
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
  • 原稿種別: 目次
    1996 年 20 巻 17 号 p. Toc1-
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
  • 森迫 昭光, 劉 小晰, 和田 史央, 武井 重人, 松本 光功, 直江 正彦
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 1-6
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
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    本研究では対向ターゲット式スパッタリング装置(FTS)を用いて成膜したバリウムフェライト薄膜に熱処理を施し、成膜時の基板温度が熱処理後の結晶構造と磁気特性に与える影響について研究した。この結果、熱処理によって薄膜は結晶化し、これら結晶構造は成膜時の基板温度によって変化するとがわかった。さらに室温で成膜した薄膜の保磁力は500℃で成膜した薄膜の保磁力とほぼ等しく、約3kOeであった。また基板温度300℃で成膜した薄膜の保磁力は1.5kOe以下であった。成膜時の基板温度は熱処理後の結晶性ならびに磁気特性に影響を及ぼしており、室温で成膜した薄膜は高密度磁気記録媒体としてより優れた磁気特性をもつ可能性があることがわかった。
  • 久保田 祐司, 星 陽一
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 7-14
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    高密度磁気記録用BaM薄膜媒体を実現するために不可欠な結晶粒径の微細化について検討を行った。熱酸化シリコン基板上に直接BaMを堆積した場合、膜厚を薄くするにつれ単調に減少し、膜厚30nm以下では結晶粒径は30nm以下の膜が得られた。しかし、これらの膜の保磁力は膜厚が30nm以下になると急激に減少しスーパーパラ磁性粒子の増加を示唆していた。一方、ZnO下地層の上にBaM薄膜を堆積する場合、ZnO下地層の結晶粒径の減少は、その上に堆積する、BaM薄膜の結晶粒径の微細化にが結びつかず、小さな結晶粒径の膜を実現するためにはBaM層の厚さを減少させる必要があった。
  • 飯村 誠, 久保田 隆, 平野 広, 小川 容一, 水村 哲夫
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 15-20
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    成膜時の残留ガスによりCo-O斜め蒸着膜の磁気特性が劣化する機構について調べた.この結果, 残留ガスの主成分である水蒸気が保磁力と角形比を低下させることがわかった.水分圧が高いほど磁化容易軸が膜面内から立ち上がるとともに異方性磁界が減少する.これらの原因はCo蒸気が水分子により散乱を受け, 指向性が変化したためと考えられる.また, 酸素ガス導入によるCo蒸着膜の酸化も水分圧が高いほど抑制される.これは, 膜表面への水分子の吸着によるものと考える.
  • 河村 紀一, 佐藤 龍二, 徳丸 春樹
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 21-28
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    磁気力顕微鏡技術を応用した点接触記録で直径0.15μm以下のビットを形成することができた。書き込みは、電界研磨したSiNにCoPtを蒸着したヘッドを用いて、Cr自然酸化膜上に点接触で行った。微小ビット形成機構およびMFM探針による超高密度記録の実現性について、探針および媒体の磁気特性とそれらの間の磁気的相互作用という視点から議論する。
  • 新谷 俊通, 保坂 純男, 寺尾 元康, 廣常 朱美, 宮本 光秀, 中村 公夫, 井村 亮
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 29-33
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    光の回折限界を超えた分解能を有する近接場光学顕微鏡を用いて相変化マークを書き込み、かつそれを読み出すことを試みた。媒体にはアモルファス状態であるGeSbTeのアズ : デポ膜を用いた。プローブ内にパルスレーザ光入射して媒体を局所加熱することにより、最小約80nmの結晶マークを書き込むことができた。このサイズで最密記録を行うと、約100Gb/in^2の記録密度を達成することができる。モデル計算によると、この書き込みのメカニズムは、プローブから媒体への熱伝導が支配的であることがわかった。
  • 牛田 敦也, 藤原 裕司, 兪 祥游, 岩田 聡, 綱島 滋
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 35-40
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    短波長レーザに対応した光磁気記録媒体の候補の1つであるNdGd/FeCo多層膜についての磁気特性の遷移金属層厚および積層周期の依存性を調べた。さらに, 適当な構成の膜をガラス基板にスパッタし, ディスクを作製した。このディスクと比較のために作製したTbFeCo合金ディスクを波長458nmのArガスレーザーを用いて, 磁界変調方式により記録再生したところ, NdGd/FeCoディスクのCNRは, 磁気光学性能指数√R・θ_Kの差に対応してTbFeCoディスクより3〜4dB高い値となった。また, 0.4μmの微小ビットが記録できることがビットの顕微鏡写真から確認できた。
  • 小椋 和幸, 西村 孝治, 縄手 雅彦, 本多 茂男, 小松 昌生, 佐々木 謙一郎
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 41-48
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    Co/Pt人工格子膜をArスパッタ法で作製し、Arガス圧依存性、膜厚依存性等を調べた。20mTorr膜においては大きな保磁力が得られたが、磁気光学特性は低く実用には向かないことがわかった。10mTorr膜でt_<Co>=3〜5Å、t_<Pt>=10Åの膜が光磁気記録材料として最も有望であることがわかった。θ_K, H_Cの増大を目的として、NdまたはPrを不純物としてCo層に添加したが、Ndの添加によりθ_K, H_Cは減少した。しかし、780nmの値で規格化したθ_Kは、短波長においてNdを添加した方が大きくなった。このことは、NdまたはPrを添加したことによって減少した磁気モーメントを補償することよって、θ_Kを増大することができることを示唆している。
  • 石井 聡, 倉科 義昭, 藤田 直幸, 井上 光輝, 藤井 壽崇
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 49-54
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    薄膜アクチュエータ材料の開発のために、高周波マグネトロンスパッタ法によって作製される三元合金Tb_<40-x>Ho_xFe_<60>アモルファス薄膜の磁化並びに磁歪特性を調べた。この目的には、薄膜は低磁界駆動を可能にするため高磁歪を維持しながらソフトな磁気特性を備えることが必要となる。組成x=15at.%近傍で抗磁力Hc=20Oeの軟磁化特性と飽和磁歪定数λs>100×10^<-6>の大きな値をもつ薄膜が実現できることが分かった。
  • 和田 貴也, 徳永 雄一, 加島 篤, 井上 光輝, 藤井 壽崇, ジェヤデバン B., 田路 和幸
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 55-62
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    我々は以前、高周波反応性スパッタ法で成膜されるBi_2O_3-Fe_2O_3-ABO_3(ABO_3 : BaTiO_3,PbTiO_3,PbZrO_3)三元系酸化物薄膜が、Fe_2O_3-richな狭い組成領域および700℃近傍の熱処理温度でアモルファス状態を実現し、そこで明瞭な磁気ヒステリシスおよび誘電ヒステリシスを示すことを報告した。今回、ABO_3にPbTiO_3を選んだ系に対してゾル・ゲル法を用いて薄膜を作製し、磁気、銹電特性を調べた結果、ゲル・コーティング膜においてもスパッタ膜と類似の特性を実現した。またこのような顕著な物性をもつ薄膜試料の微細構造をEXAFSで調べ, これらの試料が結晶学的構造の乱れたアモルファス構造をもつことが分かった。したがってこれらの物性の発現はスピングラス状態における強いフラストレーションに起因していると推察される。
  • 鈴木 誉久, 棚瀬 健司, 山口 淳, 鷲見 聡, 村田 誠司, 虎沢 研示
    原稿種別: 本文
    1996 年 20 巻 17 号 p. 63-68
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
    レーザ波長の回折限界を超えた再生分解能を有する超解像媒体が、数多く登場している。中でも、面内超解像光磁気記録媒体は簡単な構造を有し、しかも初期化磁界が不要であるため、最も有力な高密度記録媒体の一つであるといえる。本報告では、1.4μmピッチのランド/グループ記録用ポリカーボネート基板上に成膜した面内超解像光磁気ディスクを使用し、ランド/グループ記録や高密度記録に有効であるレーザパルス磁界変調方式を用いて、(1,7)RLL codeの記録特性を評価した。その結果、0.3μm/bit(2T=0.4μm)の記録密度において10%以下のジッターを得た。これは、直径120mmディスクにおいて5Gbytesの容量に相当する。
  • 原稿種別: 付録等
    1996 年 20 巻 17 号 p. App1-
    発行日: 1996/03/01
    公開日: 2017/10/13
    研究報告書・技術報告書 フリー
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