日本接着学会誌
Online ISSN : 2187-4816
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37 巻, 11 号
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総説
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研究速報
  • 微細周期パターン上へのプラズマ重合膜の堆積特性
    磯部 亮, 河合 晃
    2001 年37 巻11 号 p. 433-436
    発行日: 2001/11/01
    公開日: 2014/10/31
    DOIhttps://doi.org/10.11618/adhesion.37.433
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    フォトレジスト材料で形成された周期パターン上へHMDSO (hexamethyldisiloxane) 重合膜をプラズマCVD法により堆積した。パターン周期は，0.39～1.5μmの範囲で変化させた。断面形状の観察から，重合膜の堆積特性を評価した。平坦性の指数として，周期パターンの凹部と凸部における，基板から重合膜表面までの高さの比を用いた。パターン周期が約0.75μmにおいて，平坦性の閾値があることが分かった。閾値以上のパターン周期では，平坦性指数は約0.5となった。また，閾値以下では良好な平坦性となったが，重合膜中にボイドが形成された。重合膜中のボイドの形成メカニズムを考察した．
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