形状シミュレーションにおけるプラズマのモデルとシミュレーション,および界面反応のモデルについて解説した.プラズマシミュレーションにはモンテカルロ法が精度と収束性の点で優れるが,計算時間の点で実現が困難といえる.プラズマ用の流体型シミュレーションでは,近似度の低いマクロモデルは実現されているが,低エネルギープラズマまでしか使用できない.高エネルギー領域ではエネルギー計算が必要となるが,収束させるのが困難で,実用的な計算は今のところ難しい.界面反応では,膜たい積とエッチングの物理モデルの多様性のため,解析が困難であり,シミュレーションの例は少ない.多種粒子の取り扱い,量子力学的な意味づけを含めて,モデルの解明が行われている段階である.
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